公开(公告)号：CN118943041A

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202410348471.5

申请日：2024-03-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴柾俊 ,  高钟星 ,  金大容 ,  金东贤 ,  金志洙 ,  金平刚 ,  朴基鸿 ,  朴正濬 ,  朴柱永 ,  朴俊赫 ,  宋镐石 ,  安治昊 ,  李供雨 ,  李现英 ,  郑周泳 ,  黄政闵

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  H01J37/20 ,  H01J37/32

Abstract: 提供了腔室内维护设备。所述腔室内维护设备可以包括：载物台模块，包括：载物台主体，在具有中空内部的腔室内；XY载物台，安装在载物台主体的上表面上并且在彼此垂直的X轴和Y轴方向上可移动；以及第一驱动部，被配置为驱动XY载物台；以及夹持器模块，包括：夹持器主体，结合到XY载物台的上表面；夹持部，通过夹持器主体支撑并且被配置为相对于与X轴和Y轴垂直的Z轴上下移动和旋转以插入中空内部；以及第二驱动部，被配置为驱动夹持部。