-
-
-
公开(公告)号:CN1177112A
公开(公告)日:1998-03-25
申请号:CN97112919.3
申请日:1997-06-09
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种可变形反射镜装置的制造方法,包括:在基片上按一定图案形成电极层;在基片和电极层上形成厚膜;在厚膜上表面形成支撑板;部分腐蚀厚膜形成至少一个通孔;将支撑板分成单个部分;在通孔内表面一侧形成一柱;在支撑板上表面上形成反射板;并除去厚膜。
-
公开(公告)号:CN1172208C
公开(公告)日:2004-10-20
申请号:CN97112919.3
申请日:1997-06-09
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 一种可变形反射镜装置的制造方法,包括;在基片上按一定图案形成电极层;在基片和电极层上形成厚膜;在厚膜上表面形成支撑板;部分腐蚀厚膜形成至少一个通孔;将支撑板分成半个部分;在通孔内表面一侧形成一柱;在支撑板上表面上形成反射板;并除去厚膜。
-
-
-