公开(公告)号：CN1177112A

公开(公告)日：1998-03-25

申请号：CN97112919.3

申请日：1997-06-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔范圭 ,  金容权 ,  辛宗祐

IPC: G02B7/198 ,  G02B26/02

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: 一种可变形反射镜装置的制造方法,包括:在基片上按一定图案形成电极层;在基片和电极层上形成厚膜;在厚膜上表面形成支撑板;部分腐蚀厚膜形成至少一个通孔;将支撑板分成单个部分;在通孔内表面一侧形成一柱;在支撑板上表面上形成反射板;并除去厚膜。

公开(公告)号：CN1172208C

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：CN97112919.3

申请日：1997-06-09

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔范圭 ,  金容权 ,  辛宗祐

IPC: G02B26/08 ,  G02B7/198

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: 一种可变形反射镜装置的制造方法，包括；在基片上按一定图案形成电极层；在基片和电极层上形成厚膜；在厚膜上表面形成支撑板；部分腐蚀厚膜形成至少一个通孔；将支撑板分成半个部分；在通孔内表面一侧形成一柱；在支撑板上表面上形成反射板；并除去厚膜。

公开(公告)号：CN1160861A

公开(公告)日：1997-10-01

申请号：CN96106269.X

申请日：1996-04-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔范圭

IPC: G02F1/00

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: 提供了一种可变形反射镜器件及加工方法，它减少了带有地址扫描电路的衬底的损坏并增加了移动反射镜的光反射效率。在加工方法中，第一和第二移动反射镜，及第一和第二柱体是加工在一个衬底上。地址扫描电路(SRAM)是单独加工在另一个衬底上。最后，两个衬底结合在一起。第二柱体是在第二移动反射镜被形成后用溅射法垂直形成的。

公开(公告)号：CN1094204C

公开(公告)日：2002-11-13

申请号：CN96106269.X

申请日：1996-04-26

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔范圭

IPC: G02B26/08 ,  G02F1/00

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: 提供了一种可变形反射镜器件及加工方法，它减少了带有地址扫描电路的衬底的损坏并增加了移动反射镜的光反射效率。在加工方法中，第一和第二移动反射镜，及第一和第二柱体是加工在一个衬底上。地址扫描电路(SRAM)是单独加工在另一个衬底上。最后，两个衬底结合在一起。第二柱体是在第二移动反射镜被形成后用溅射法垂直形成的。