公开(公告)号：CN110620029B

公开(公告)日：2024-07-19

申请号：CN201910115417.5

申请日：2019-02-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金学泳 ,  申菲儿 ,  尹宝拉 ,  任埈澔

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供了等离子体处理设备的控温装置、用于等离子体处理设备的测温器以及等离子体处理设备，所述控温装置包括控温器，所述控温器包括：可移动冷却板，被构造成选择性地接触等离子体腔室上的介电窗，冷却板具有用于冷却介电窗的冷却剂可流动穿过其的至少一个冷却槽；至少一个冷却端口，包括连接到所述至少一个冷却槽的冷却通道；以及弹性构件，被构造成朝向冷却板弹性地按压冷却端口，使得冷却板关于介电窗相对可移动。

公开(公告)号：CN110620029A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201910115417.5

申请日：2019-02-14

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金学泳 ,  申菲儿 ,  尹宝拉 ,  任埈澔

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供了等离子体处理设备的控温装置、用于等离子体处理设备的测温器以及等离子体处理设备，所述控温装置包括控温器，所述控温器包括：可移动冷却板，被构造成选择性地接触等离子体腔室上的介电窗，冷却板具有用于冷却介电窗的冷却剂可流动穿过其的至少一个冷却槽；至少一个冷却端口，包括连接到所述至少一个冷却槽的冷却通道；以及弹性构件，被构造成朝向冷却板弹性地按压冷却端口，使得冷却板关于介电窗相对可移动。