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公开(公告)号:CN119521656A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202410729145.9
申请日:2024-06-06
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了半导体存储器装置,该半导体存储器装置包括:位线,其在衬底上;突出绝缘图案,其在位线上并在沟道沟槽中;第一沟道图案和第二沟道图案,其沿着沟道沟槽的侧壁延伸,并且在第一方向上彼此间隔开;沟道界面层,其沿着沟道沟槽的侧壁延伸,并且与第一沟道图案和第二沟道图案接触;第一字线,其在第一沟道图案和第二沟道图案之间;第二字线,其在第一沟道图案和第二沟道图案之间,并且在第一方向上与第一字线间隔开;以及第一电容器和第二电容器,其分别电连接到第一沟道图案和第二沟道图案。