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公开(公告)号:CN118368888A
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202311374361.8
申请日:2023-10-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H10B12/00
Abstract: 一种半导体装置包括:沿着第一方向延伸的有源图案;以及与有源图案交叉的第一字线和第二字线。有源图案包括在第一字线与第二字线之间的中心有源部分。中心有源部分包括:中心部分,其从第一字线延伸至第二字线;第一中心突起,其在与第一方向交叉的第二方向上从中心部分的一个侧表面突出;以及第二中心突起,其在第二方向的反方向上从中心部分的另一个侧表面突出。第一中心突起从第一字线沿着第一方向延伸。第二中心突起从第二字线沿着第一方向的反方向延伸。
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公开(公告)号:CN117320447A
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202310653535.8
申请日:2023-06-02
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了半导体装置。所述半导体装置包括第一有源图案,第一有源图案在存储器单元区域中包括在基底的上部中,并且具有孤立形状,第一有源图案延伸使得与第一方向倾斜的方向是第一有源图案的长轴方向。第一器件隔离图案设置在包括在基底中的第一沟槽内,并覆盖第一有源图案的侧壁。第一栅极结构在第一有源图案和第一器件隔离图案的上部上设置在沿第一方向延伸的栅极沟槽内部。阻挡杂质区域选择性地形成在仅第一有源图案的长轴的两个侧壁的表面上。第一杂质区域和第二杂质区域设置在第一有源图案的与第一栅极结构的两侧相邻的上部上。
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