公开(公告)号：CN100524702C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200610001076.1

申请日：2006-01-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 赵能镐 ,  金成昱 ,  朴龙吉 ,  郑培铉 ,  蔡东烨 ,  崔渊琇

IPC: H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  G02F1/1368

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3295 ,  H01L51/5284

Abstract: 本发明提供了一种以有成本效益的方式来制造TFT阵列面板的方法。该方法包括：形成薄膜晶体管，各薄膜晶体管具有栅电极、源电极和漏电极；在薄膜晶体管上形成绝缘层；在绝缘层上形成电连接到漏电极的第一导电层；在第一导电层上形成第二导电层；形成包括第一部分和第二部分的光致抗蚀剂层，其中第二部分比第一部分薄；通过使用光致抗蚀剂层作为刻蚀阻挡件，用第一刻蚀剂来选择性刻蚀第二导电层；通过使用光致抗蚀剂层和第二导电层作为刻蚀阻挡件，用第二刻蚀剂来选择性刻蚀第一导电层。

公开(公告)号：CN1901208A

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200610121249.3

申请日：2006-07-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李仁成 ,  赵能镐 ,  李东勋 ,  崔渊琇 ,  崔浩根 ,  崔填喆

IPC: H01L27/12 ,  H01L29/786 ,  H01L29/49 ,  H01L23/522 ,  H01L21/84 ,  H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768

Abstract: 本发明涉及一种通过降低接触电阻并消除底切而显示出提高了的显示质量的LCD显示装置的基板。显示开关器件具有三个电极，它们中的至少一个具有三个金属层，第三金属层通过氮化第二金属层而形成。像素电极通过接触孔与第二金属层电连接，接触孔穿过绝缘层与开关器件的第二金属层而形成。

公开(公告)号：CN1825571A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200610001076.1

申请日：2006-01-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 赵能镐 ,  金成昱 ,  朴龙吉 ,  郑培铉 ,  蔡东烨 ,  崔渊琇

IPC: H01L21/84 ,  H01L27/12 ,  G02F1/1368

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3295 ,  H01L51/5284

Abstract: 本发明提供了一种以有成本效益的方式来制造TFT阵列面板的方法。该方法包括：形成薄膜晶体管，各薄膜晶体管具有栅电极、源电极和漏电极；在薄膜晶体管上形成绝缘层；在绝缘层上形成电连接到漏电极的第一导电层；在第一导电层上形成第二导电层；形成包括第一部分和第二部分的光致抗蚀剂层，其中第二部分比第一部分薄；通过使用光致抗蚀剂层作为刻蚀阻挡件，用第一刻蚀剂来选择性刻蚀第二导电层；通过使用光致抗蚀剂层和第二导电层作为刻蚀阻挡件，用第二刻蚀剂来选择性刻蚀第一导电层。

公开(公告)号：CN1901208B

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN200610121249.3

申请日：2006-07-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李仁成 ,  赵能镐 ,  李东勋 ,  崔渊琇 ,  崔浩根 ,  崔填喆

IPC: H01L27/12 ,  H01L29/786 ,  H01L29/49 ,  H01L23/522 ,  H01L21/84 ,  H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768

Abstract: 本发明涉及一种通过降低接触电阻并消除底切而显示出提高了的显示质量的LCD显示装置的基板。显示开关器件具有三个电极，它们中的至少一个具有三个金属层，第三金属层通过氮化第二金属层而形成。像素电极通过接触孔与第二金属层电连接，接触孔穿过绝缘层与开关器件的第二金属层而形成。

公开(公告)号：CN1901169A

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN200610106018.5

申请日：2006-07-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 文东元 ,  林得洙 ,  崔渊琇 ,  崔浩根

IPC: H01L21/84 ,  H01L21/768

CPC classification number: H01L27/124

Abstract: 一种制造TFT基板的方法，包括：在绝缘基板上形成栅极金属层；在栅极金属层上形成光敏层图案；使用光敏层图案；通过蚀刻栅极金属层来形成栅极布线；通过剥去光敏层图案来暴露栅极布线；以及使用包含硝酸的清洗剂来清洗暴露的栅极布线。因而，本发明提供了一种制造TFT基板的方法，该方法通过有效地去除微粒，提高了薄金属层的质量。

公开(公告)号：CN102097369A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201010546290.1

申请日：2006-07-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李仁成 ,  赵能镐 ,  李东勋 ,  崔渊琇 ,  崔浩根 ,  崔填喆

IPC: H01L21/77 ,  H01L29/45 ,  H01L29/49 ,  G02F1/1368

CPC classification number: G02F1/1368 ,  H01L27/124 ,  H01L29/458 ,  H01L29/4908

Abstract: 本发明涉及一种通过降低接触电阻并消除底切而显示出提高了的显示质量的LCD显示装置的基板。显示开关器件具有三个电极，它们中的至少一个具有三个金属层，第三金属层通过氮化第二金属层而形成。像素电极通过接触孔与第二金属层电连接，接触孔穿过绝缘层与开关器件的第二金属层而形成。

公开(公告)号：CN101471350B

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200910003101.3

申请日：2006-01-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 赵能镐 ,  金成昱 ,  朴龙吉 ,  郑培铉 ,  蔡东烨 ,  崔渊琇

IPC: H01L27/12 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3295 ,  H01L51/5284

Abstract: 本发明提供了一种TFT阵列面板。该TFT阵列面板包括：基底；栅极线，形成在基底上；数据线，形成在栅极线上；绝缘层，形成在数据线上；透射电极，形成在绝缘层上；反射电极，形成在透射电极上，并具有与透射电极的至少一个边缘基本一致的边缘。

公开(公告)号：CN101471350A

公开(公告)日：2009-07-01

申请号：CN200910003101.3

申请日：2006-01-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 赵能镐 ,  金成昱 ,  朴龙吉 ,  郑培铉 ,  蔡东烨 ,  崔渊琇

IPC: H01L27/12 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214 ,  H01L27/124 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3295 ,  H01L51/5284

Abstract: 本发明提供了一种TFT阵列面板。该TFT阵列面板包括：基底；栅极线，形成在基底上；数据线，形成在栅极线上；绝缘层，形成在数据线上；透射电极，形成在绝缘层上；反射电极，形成在透射电极上，并具有与透射电极的至少一个边缘基本一致的边缘。