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发明公开
有机盐、包括其的光致抗蚀剂组合物和通过使用该光致抗蚀剂组合物形成图案的方法审中-公开

公开(公告)号：CN118684603A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410343961.6

申请日：2024-03-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： H·金 , 高行德 , 金惠兰 , 南煐敏 , 宋智永 , 李昶宪 , A·田 , 蔡贞厦 , 李松世 , 洪锡九

IPC: C07C311/20 , C07C311/07 , C07C311/29 , C07C381/12 , G03F7/004

Abstract: 提供有机盐、包括其的光致抗蚀剂组合物和通过使用该光致抗蚀剂组合物形成图案的方法，所述有机盐由下面的式1表示。式1的描述提供在本文中。式1#imgabs0#

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