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公开(公告)号：CN115706023A
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202210792199.0
申请日：2022-07-05
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 韩昌虎 , 任美贞 , 金允哲 , 吴光焄
IPC: H01L21/66
Abstract: 一种集成电路包括垂直堆叠在衬底上的第一金属层至第n金属层以及根据所述第一金属层至所述第n金属层中的每一者的特性来输出测试结果信号的测试电路。所述测试电路包括用于生成多个时钟信号的第一测试电路至第n测试电路。所述多个时钟信号中的每个时钟信号具有根据所述第一金属层至所述第n金属层当中的对应的金属层的特性的频率，并且n是自然数。
