公开(公告)号：CN107154345B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN201710123674.4

申请日：2017-03-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 林静范 ,  全钟律 ,  金恩娥 ,  李钟旼

IPC: H01L21/027

Abstract: 本公开提供光掩模布图以及形成精细图案的方法。一种形成精细图案的方法可以被提供，该方法包括：在目标层上形成多个第一牺牲图案，该目标层在基板上；在该多个第一牺牲图案的各自的侧壁上形成第一间隔物；去除该多个第一牺牲图案；形成多个第二牺牲图案，第二牺牲图案与第一间隔物交叉，每个第二牺牲图案包括线部分和突出部部分，突出部部分具有比线部分宽的宽度；在该多个第二牺牲图案的各自的侧壁上形成第二间隔物；去除第二牺牲图案；以及通过孔区域蚀刻目标层以暴露基板，孔区域由第一间隔物和第二间隔物限定。

公开(公告)号：CN107154345A

公开(公告)日：2017-09-12

申请号：CN201710123674.4

申请日：2017-03-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 林静范 ,  全钟律 ,  金恩娥 ,  李钟旼

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L29/66795 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/76895 ,  H01L28/00 ,  H01L29/66621 ,  H01L21/027

Abstract: 本公开提供光掩模布图以及形成精细图案的方法。一种形成精细图案的方法可以被提供，该方法包括：在目标层上形成多个第一牺牲图案，该目标层在基板上；在该多个第一牺牲图案的各自的侧壁上形成第一间隔物；去除该多个第一牺牲图案；形成多个第二牺牲图案，第二牺牲图案与第一间隔物交叉，每个第二牺牲图案包括线部分和突出部部分，突出部部分具有比线部分宽的宽度；在该多个第二牺牲图案的各自的侧壁上形成第二间隔物；去除第二牺牲图案；以及通过孔区域蚀刻目标层以暴露基板，孔区域由第一间隔物和第二间隔物限定。