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公开(公告)号：CN101446738A
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200810133976.0
申请日：2008-07-18
CPC classification number: G03B9/28
Abstract: 本发明公开了一种具有可变光阑功能的微型快门、制造方法及微型相机模块，具有可变光阑功能的微型快门包括：底座，具有按照与图像传感器相应的圆形形状形成的透明部分，透明部分允许光穿过；多个卷起叶片，这些卷起叶片阻挡光，按照规则的多边形被布置在底座上的透明部分的圆周上，以遮盖透明部分，并且所述多个卷起叶片的每个具有被固定到底座上的固定部分以及朝着固定部分卷起的运动部分；控制器，与底座和所述多个卷起叶片电连接，控制所述多个卷起叶片的打开程度。
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公开(公告)号：CN102998790B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210142509.0
申请日：2012-05-10
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61B5/0066 , A61B5/444 , G01B9/02063 , G01B9/02091 , G01B11/22 , G02B3/14 , G02B5/005 , G02B21/006 , G02B26/005 , G02B26/101
Abstract: 本发明提供了数值孔径（NA）控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法。该NA控制单元包括：孔径调节单元，控制光透射穿过的孔径；以及聚焦控制单元，设置在关于孔径调节单元的预定位置、聚焦透射穿过孔径的光并具有可调节的焦距。该可变光学探测器包括：光透射单元；准直器，将透射穿过光透射单元的光准直为平行光；NA控制单元，将光聚焦在要被检查的样品上；以及扫描器，改变透射穿过光透射单元的光的路径，使得样品的预定区域被经过NA控制单元的光来扫描。
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公开(公告)号：CN105448789A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510589858.0
申请日：2015-09-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/677
CPC classification number: B24B37/32 , H01L21/67766
Abstract: 提供一种保持器和包括该保持器的晶圆载具。一种用于晶圆载具的保持器，包括：主体，包括多个槽，所述多个槽被配置为接收晶圆的侧面；针对所述多个槽中的每个槽，支撑结构形成在槽的侧壁上并被配置为与相应晶圆的侧面接触，支撑结构与相应晶圆的侧面的上拐角隔开。
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公开(公告)号：CN1496951A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN200310102403.9
申请日：2003-10-17
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种用于在MEMS封装工艺中的底切的金属布线方法，该方法包括：在硅衬底上设置MEMS元件；将玻璃晶片焊接至具有设置在其上的MEMS元件的硅衬底的上部，该玻璃晶片具有形成于其中用于连接金属布线的孔洞；在该孔洞中沉积用于该金属布线的薄金属膜；以及离子研磨该沉积的薄金属膜。通过离子研磨，该方法能够将金属布线连接至具有底切的通路孔。
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公开(公告)号：CN102466828B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201110335853.7
申请日：2011-10-31
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学装置，诸如变焦流体透镜。光学装置包括间隔物框架、光学流体、弹性膜、致动器、致动器框架以及热变形板。间隔物框架限定内部空间，该内部空间包括彼此连通的透镜部分和驱动部分，该驱动部分设置为围绕设置在内部空间的中心区域中的透镜部分。光学流体填充在间隔物框架限定的内部空间中。弹性膜附接在间隔物框架的表面上以覆盖内部空间的一侧，热变形板附接在间隔物框架的另一表面上以覆盖内部空间的另一侧。热变形板随着温度的改变变形从而增大或减小内部空间的体积。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102565892A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110423374.0
申请日：2011-12-16
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明提供了变焦透镜结构及其制造方法。该变焦透镜结构包括：框架，具有用光学流体填充的流体腔室并由含有预定流体的聚二甲基硅氧烷(PDMS)形成；透明盖，设置在框架的顶表面上以覆盖流体腔室；透明弹性膜，设置在框架的底表面上以形成流体腔室的下盖；以及致动器，设置在弹性膜上。
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公开(公告)号：CN101446738B
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN200810133976.0
申请日：2008-07-18
CPC classification number: G03B9/28
Abstract: 本发明公开了一种具有可变光阑功能的微型快门、制造方法及微型相机模块，具有可变光阑功能的微型快门包括：底座，具有按照与图像传感器相应的圆形形状形成的透明部分，透明部分允许光穿过；多个卷起叶片，这些卷起叶片阻挡光，按照规则的多边形被布置在底座上的透明部分的圆周上，以遮盖透明部分，并且所述多个卷起叶片的每个具有被固定到底座上的固定部分以及朝着固定部分卷起的运动部分；控制器，与底座和所述多个卷起叶片电连接，控制所述多个卷起叶片的打开程度。
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公开(公告)号：CN102565892B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201110423374.0
申请日：2011-12-16
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明提供了变焦透镜结构及其制造方法。该变焦透镜结构包括：框架，具有用光学流体填充的流体腔室并由含有预定流体的聚二甲基硅氧烷(PDMS)形成；透明盖，设置在框架的顶表面上以覆盖流体腔室；透明弹性膜，设置在框架的底表面上以形成流体腔室的下盖；以及致动器，设置在弹性膜上。
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公开(公告)号：CN102998790A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210142509.0
申请日：2012-05-10
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: A61B5/0066 , A61B5/444 , G01B9/02063 , G01B9/02091 , G01B11/22 , G02B3/14 , G02B5/005 , G02B21/006 , G02B26/005 , G02B26/101
Abstract: 本发明提供了数值孔径（NA）控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法。该NA控制单元包括：孔径调节单元，控制光透射穿过的孔径；以及聚焦控制单元，设置在关于孔径调节单元的预定位置、聚焦透射穿过孔径的光并具有可调节的焦距。该可变光学探测器包括：光透射单元；准直器，将透射穿过光透射单元的光准直为平行光；NA控制单元，将光聚焦在要被检查的样品上；以及扫描器，改变透射穿过光透射单元的光的路径，使得样品的预定区域被经过NA控制单元的光来扫描。
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公开(公告)号：CN102466828A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110335853.7
申请日：2011-10-31
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学装置，诸如变焦流体透镜。光学装置包括间隔物框架、光学流体、弹性膜、致动器、致动器框架以及热变形板。间隔物框架限定内部空间，该内部空间包括彼此连通的透镜部分和驱动部分，该驱动部分设置为围绕设置在内部空间的中心区域中的透镜部分。光学流体填充在间隔物框架限定的内部空间中。弹性膜附接在间隔物框架的表面上以覆盖内部空间的一侧，热变形板附接在间隔物框架的另一表面上以覆盖内部空间的另一侧。热变形板随着温度的改变变形从而增大或减小内部空间的体积。
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