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公开(公告)号：CN113463028A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110337807.4
申请日：2021-03-30
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本发明公开了一种显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法。本发明包括：传感器部，包括测量从沉积源喷射的沉积物质的沉积厚度的多个传感器；第一加热器部，布置于第一区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第一区域的第一传感器；以及第二加热器部，布置于与所述第一区域不同的第二区域而加热所述多个传感器中的布置于所述第二区域的第二传感器。
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公开(公告)号：CN106560525B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201610247838.X
申请日：2016-04-20
Applicant: 三星显示有限公司
Inventor： 薛在完
Abstract: 提供了薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置。作为示例，薄膜厚度测量单元包括：第一驱动电机；第一旋转轴，连接至所述第一驱动电机；第二旋转轴，倾斜地布置以与第一旋转轴形成预定角度；第一驱动力传递连结件，连接在所述第一旋转轴与所述第二旋转轴之间，并且随着所述第一旋转轴被驱动而驱动以使所述第二旋转轴一同被驱动；支承板，与所述第二旋转轴垂直地连接至所述第二旋转轴端部并且随着所述第二旋转轴的驱动而旋转；以及多个感测器，布置在所述支承板的一表面处并且测量由沉积源蒸发的沉积物质的量。
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公开(公告)号：CN117947387A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311394757.9
申请日：2023-10-26
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/24
Abstract: 提供了沉积源和沉积装置。沉积源包括喷嘴构件、蒸发构件和连接构件。喷嘴构件包括本体部分、多个喷嘴和坩埚，本体部分包括形成为槽孔的至少一个第一孔，多个喷嘴联接到本体部分的第一表面并且将沉积材料喷射到外部，坩埚包括与至少一个第一孔重叠的至少一个第二孔并且通过插入至少一个第一孔和至少一个第二孔中的紧固构件联接到本体部分的第二表面。紧固构件包括螺栓、螺母和垫圈。蒸发构件与喷嘴构件间隔开并且存储沉积材料，并且连接构件连接喷嘴构件和蒸发构件。沉积材料通过连接构件移动。
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公开(公告)号：CN106560525A
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201610247838.X
申请日：2016-04-20
Applicant: 三星显示有限公司
Inventor： 薛在完
Abstract: 提供了薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置。作为示例，薄膜厚度测量单元包括：第一驱动电机；第一旋转轴，连接至所述第一驱动电机；第二旋转轴，倾斜地布置以与第一旋转轴形成预定角度；第一驱动力传递连结件，连接在所述第一旋转轴与所述第二旋转轴之间，并且随着所述第一旋转轴被驱动而驱动以使所述第二旋转轴一同被驱动；支承板，与所述第二旋转轴垂直地连接至所述第二旋转轴端部并且随着所述第二旋转轴的驱动而旋转；以及多个感测器，布置在所述支承板的一表面处并且测量由沉积源蒸发的沉积物质的量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117926190A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311400600.2
申请日：2023-10-26
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 一种沉积设备包括：汽化部，所述汽化部包括容器、加热部、冷却罩和防附着部，所述容器容纳沉积初步材料，所述加热部围绕所述容器并加热所述沉积初步材料以汽化成沉积材料，所述冷却罩围绕所述加热部并冷却所述加热部，所述防附着部位于所述冷却罩与所述加热部之间以防止所述沉积材料附着到所述冷却罩；以及喷嘴部，喷射在所述汽化部中汽化的所述沉积材料，其中所述防附着部包括覆盖所述冷却罩的防附着板和被配置以将所述防附着板紧固到所述冷却罩的紧固部。
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公开(公告)号：CN107164733A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201611076642.5
申请日：2016-11-29
Applicant: 三星显示有限公司
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , G06F3/00 , H01L51/001 , C23C14/24
Abstract: 提供了制造显示设备的方法和薄膜形成装置。制造显示设备的方法包括：制备包括炉缸和前散热器的薄膜形成装置，炉缸存储用于形成薄膜的源材料，前散热器布置在炉缸上并且包括反射板，其中，反射板包括具有第一反射率的第一表面和具有第二反射率的第二表面，第二反射率与第一反射率不同；以及通过蒸发薄膜形成装置的源材料，在衬底上形成薄膜。
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公开(公告)号：CN118726914A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410774617.2
申请日：2019-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。
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公开(公告)号：CN110783225A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201910669080.2
申请日：2019-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。
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公开(公告)号：CN106399943A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610080804.6
申请日：2016-02-05
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。
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