公开(公告)号：CN104141114A

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201310659801.4

申请日：2013-12-09

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 车龙俊

IPC: C23C16/44 ,  C23C14/22 ,  H01L51/56

CPC classification number: C23C14/24

Abstract: 一种用于将沉积材料沉积在配置在腔中的衬底上的沉积源组件，沉积源组件包括：配置在腔中的沉积源，沉积源被配置成将沉积材料沉积在衬底上；穿过腔的至少一个壁的电极，电极被配置成向沉积源提供电力；配置在电极与腔的壁之间的绝缘部件；以及配置在绝缘部件上从而至少覆盖绝缘部件的一部分的绝缘部件盖。

公开(公告)号：CN106399943B

公开(公告)日：2020-08-14

申请号：CN201610080804.6

申请日：2016-02-05

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 薛在完 ,  姜有珍 ,  金东昱 ,  尹日燮 ,  车龙俊

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  H01L51/52

Abstract: 本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。

公开(公告)号：CN104141114B

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201310659801.4

申请日：2013-12-09

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 车龙俊

IPC: C23C16/44 ,  C23C14/22 ,  H01L51/56

Abstract: 一种用于将沉积材料沉积在配置在腔中的衬底上的沉积源组件，沉积源组件包括：配置在腔中的沉积源，沉积源被配置成将沉积材料沉积在衬底上；穿过腔的至少一个壁的电极，电极被配置成向沉积源提供电力；配置在电极与腔的壁之间的绝缘部件；以及配置在绝缘部件上从而至少覆盖绝缘部件的一部分的绝缘部件盖。

公开(公告)号：CN106399943A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610080804.6

申请日：2016-02-05

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 薛在完 ,  姜有珍 ,  金东昱 ,  尹日燮 ,  车龙俊

IPC: C23C14/24 ,  H01L51/56 ,  H01L51/52

Abstract: 本发明提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。