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公开(公告)号：CN119465039A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202410990632.0
申请日：2024-07-23
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本申请涉及显示设备制造装置和沉积模块。显示设备制造装置包括：掩模组件；以及沉积模块，配置为朝向掩模组件提供沉积材料。沉积模块包括沉积框架、喷射部分、加热器和紧密接触部分。沉积框架具有内部空间。喷射部分包括坩埚部分和喷嘴部分。加热器加热喷嘴部分，并且配置为能够在第一状态和第二状态之间切换，第二状态的热值高于第一状态的热值。紧密接触部分使坩埚部分和喷嘴部分彼此紧密接触，并且紧密接触部分包括在第一状态中与喷射部分间隔开并且配置为在第二状态中按压在喷射部分上的按压表面。
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公开(公告)号：CN119433450A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411020347.2
申请日：2024-07-29
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 一种沉积设备包括：掩模框架；掩模，设置在所述掩模框架上；坩埚，设置在所述掩模框架下方；以及喷嘴，联接到所述坩埚并且设置在所述坩埚和所述掩模框架之间。所述喷嘴包括：主体部，包括联接开口；和喷射部，设置在所述联接开口中并且包括与所述联接开口重叠的孔。所述喷射部的热膨胀系数大于所述主体部的热膨胀系数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118685737A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202311141413.7
申请日：2023-09-06
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本公开的实施例可以提供沉积装置和隔热板，沉积装置包括：喷嘴，用于排出沉积物质；下部壳体，喷嘴安装在下部壳体上，并且沉积物质容纳在下部壳体中；上部壳体，覆盖下部壳体，暴露喷嘴的至少一部分，并且设置有暴露于外部的槽。根据本公开的实施例的隔热板及包括其的沉积装置可以提供均匀的沉积品质。
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公开(公告)号：CN104109845A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410150441.X
申请日：2014-04-15
Applicant: 三星显示有限公司
CPC classification number: B05D1/32 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/50
Abstract: 本发明公开了一种沉积设备，该沉积设备包括：沉积室；沉积源，在沉积室中；膜固定部，被构造为固定膜，膜设置有沉积材料沉积到的沉积表面；以及保护板，在沉积室中，以防止沉积材料沉积到沉积室中的侧壁和上壁，从而控制沉积材料仅沉积到有效膜形成区域。尺寸与沉积表面的有效膜形成区域对应的第一开口以及形成在有效膜形成区域的外部区域中的至少一个第二开口形成在保护板上，并且当沉积材料通过沉积源沉积到沉积表面时，通过第二开口的沉积材料在沉积表面上形成对准标记。
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公开(公告)号：CN118932297A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410572172.X
申请日：2024-05-10
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/26
Abstract: 沉积源包括坩埚、多个喷嘴、壳体、下部加热模块、上部加热模块、第一电极、第二电极以及供电器。坩埚收纳沉积物质。多个喷嘴配置在坩埚上。多个喷嘴沿着第一方向彼此间隔开。壳体收纳坩埚和多个喷嘴。下部加热模块配置在壳体的内部空间中且包围坩埚。上部加热模块在壳体的内部空间中配置在下部加热模块上。第一电极在与第一方向交叉的第二方向上延伸。第一电极与下部加热模块连接。第二电极在第二方向上延伸。第二电极与上部加热模块连接。供电器与第一电极及第二电极电连接。
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公开(公告)号：CN114293150A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202110939105.3
申请日：2021-08-16
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: C23C14/26
Abstract: 一实施例的沉积源包括沉积模块以及收纳沉积模块的壳体，沉积模块包括：第一坩埚，沿着第一方向延伸，并且在内部空间收纳沉积物质；多个喷嘴，配置在第一坩埚上，并且沿着第一方向排列多个喷嘴；发热部件，收纳第一坩埚；以及辐射热防止部件，配置在发热部件的上表面、外侧面和下表面上，辐射热防止部件包括多个反射器以及分别连接多个反射器之中的相邻的反射器之间的多个销，多个销被配置成在平面上彼此错开。本发明的沉积源防止在沉积源内产生的热朝向沉积源的外部的损失或散出，从而提供一种在高温环境下提高了可靠性的沉积源。
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