有机发光显示装置和薄膜沉积设备

    公开(公告)号:CN101930993B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201010216896.9

    申请日:2010-06-24

    Inventor: 李廷敏 李忠浩

    Abstract: 本发明提供一种有机发光显示装置和薄膜沉积设备。一种薄膜沉积设备和一种利用该薄膜沉积设备制造的有机发光显示装置,该薄膜沉积设备可以用于大规模制造大基底,并改善制造良率。该有机发光显示装置包括:基底,包括彼此平行地布置的多个子沉积区域;至少一个薄膜晶体管,形成在基底上,所述至少一个薄膜晶体管包括半导体有源层、与半导体有源层绝缘的栅电极、接触半导体有源层的源电极和漏电极;多个像素电极,形成在薄膜晶体管上;多个有机层,形成在每个像素电极上;相对电极,形成在有机层上,其中,所述多个有机层位于每个子沉积区域中,并且所述多个有机层距对应的沉积区域的中心的距离越远具有的阴影区域越大。

    薄膜沉积装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101892455B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201010189581.X

    申请日:2010-05-24

    Inventor: 李忠浩 李廷敏

    CPC classification number: C23C14/24

    Abstract: 本申请公开了一种薄膜沉积装置,该薄膜沉积装置能够简单地应用于大规模地制造大尺寸的显示装置并且提高了制造良率。所述薄膜沉积装置包括:沉积源;第一喷嘴,设置在沉积源的一侧并且包括在第一方向上布置的多个第一缝隙;第二喷嘴,与第一喷嘴相对设置并且包括在第一方向上布置的多个第二缝隙;障碍墙组件,包括在第一方向上布置的多个障碍墙,从而划分第一喷嘴和第二喷嘴之间的空间;间隔控制构件和对准控制构件中的至少一个,间隔控制构件调节第二喷嘴与基底之间的间隔,对准控制构件调节第二喷嘴和基底之间的对准。

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