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公开(公告)号:CN1649936A
公开(公告)日:2005-08-03
申请号:CN03809786.9
申请日:2003-05-29
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G73/10 , C09J179/08 , C09J7/00 , H01L21/52
CPC classification number: C09J179/08 , C08G73/1042 , C08G73/105 , C08G73/106 , C08L63/00 , C08L2666/22 , C09J7/10 , C09J2203/326 , C09J2479/08 , H01L24/83 , H01L2224/8385 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/14 , H01L2924/3512 , H01L2924/00
Abstract: 粘合性树脂,由以下述式(1)的二胺成分作为必要成分的二胺成分和四羧酸二酐成分发生反应得到的聚酰亚胺系树脂构成。各成分是,在二胺成分中含有特定结构的硅氧烷系二胺,和/或四羧酸二酐成分中含有特定结构的硅氧烷系酸二酐。使用由该粘合性树脂、以及最好是热固性树脂,还有根据需要另含的无机物填料得到的薄膜状粘合剂,兼备低温粘合性、低吸湿性、耐热性和粘合作业性,适宜于作为在支持体上粘合半导体元件的半导体封装材料。
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公开(公告)号:CN1214288C
公开(公告)日:2005-08-10
申请号:CN02153105.6
申请日:2002-11-22
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F7/027
CPC classification number: G03F7/038 , G03F7/037 , Y10S430/107 , Y10T428/24917 , Y10T428/31721
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,含有(A)由通式(1)表示的构成单元构成的聚酰胺酸,(B)具有至少2个以上可光聚合的C=C不饱和双键的(甲基)丙烯酸酯,(C)光聚合引发剂,和按必要的(D)阻燃剂,相对于上述(A)聚酰胺酸100质量份数,以10~700质量份数的比例含有上述(B)具有至少2个以上可光聚合的C=C不饱和双键的(甲基)丙烯酸酯化合物,(式中,n是1~100的整数,R1表示仅由C、H、O和N中选择的元素构成的2价有机基团,R2表示仅由C、H、O和N中选择的元素构成的4价有机基团)。
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公开(公告)号:CN1207633C
公开(公告)日:2005-06-22
申请号:CN02141379.7
申请日:2002-07-09
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明涉及一种正片型感光性抗蚀剂组合物,其特征在于,能够使用廉价的光酸发生剂,用近紫外曝光和弱碱显像的方法显示出高分辨度,也能够用于有通孔的基板,通过用近紫外光曝光并用弱碱显像液显像可以分辨率良好地进行微细图形加工,该正片型感光性抗蚀剂组合物的特征是以含有有至少一种二氯乙酰基的化合物作为酸发生剂。
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公开(公告)号:CN1309761C
公开(公告)日:2007-04-11
申请号:CN03809786.9
申请日:2003-05-29
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: C08G73/10 , C09J179/08 , C09J7/00 , H01L21/52
CPC classification number: C09J179/08 , C08G73/1042 , C08G73/105 , C08G73/106 , C08L63/00 , C08L2666/22 , C09J7/10 , C09J2203/326 , C09J2479/08 , H01L24/83 , H01L2224/8385 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/14 , H01L2924/3512 , H01L2924/00
Abstract: 粘合性树脂,由以下述式(1)的二胺成分作为必要成分的二胺成分和四羧酸二酐成分发生反应得到的聚酰亚胺系树脂构成。各成分是,在二胺成分中含有特定结构的硅氧烷系二胺,和/或四羧酸二酐成分中含有特定结构的硅氧烷系酸二酐。使用由该粘合性树脂、以及最好是热固性树脂,还有根据需要另含的无机物填料得到的薄膜状粘合剂,兼备低温粘合性、低吸湿性、耐热性和粘合作业性,适宜于作为在支持体上粘合半导体元件的半导体封装材料。
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公开(公告)号:CN1423169A
公开(公告)日:2003-06-11
申请号:CN02153105.6
申请日:2002-11-22
Applicant: 三井化学株式会社
IPC: G03F7/027
CPC classification number: G03F7/038 , G03F7/037 , Y10S430/107 , Y10T428/24917 , Y10T428/31721
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物,含有(A)由通式(1)表示的构成单元构成的聚酰胺酸,(B)具有至少2个以上可光聚合的C=C不饱和双键的(甲基)丙烯酸酯,(C)光聚合引发剂,和按必要的(D)阻燃剂,相对于上述(A)聚酰胺酸100质量份数,以10~700质量份数的比例含有上述(B)具有至少2个以上可光聚合的C=C不饱和双键的(甲基)丙烯酸酯化合物,(式中,n是1~100的整数,R1表示仅由C、H、O和N中选择的元素构成的2价有机基团,R2表示仅由C、H、O和N中选择的元素构成的4价有机基团)。
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公开(公告)号:CN1397841A
公开(公告)日:2003-02-19
申请号:CN02141379.7
申请日:2002-07-09
Applicant: 三井化学株式会社
Abstract: 本发明涉及一种正片型感光性抗蚀剂组合物,其特征在于,能够使用廉价的光酸发生剂,用近紫外曝光和弱碱显像的方法显示出高分辨度,也能够用于有通孔的基板,通过用近紫外光曝光并用弱碱显像液显像可以分辨率良好地进行微细图形加工,该正片型感光性抗蚀剂组合物的特征是以含有有至少一种二氯乙酰基的化合物作为酸发生剂。
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