耐环境涂布构件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108779039B

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN201780015168.1

    申请日:2017-02-21

    Abstract: 本公开的耐环境涂布构件(100)具备:SiC长纤维增强陶瓷基材(1);和,设置于其一面的耐环境涂布层(2)。耐环境涂布层(2)具有:层叠于SiC长纤维增强陶瓷基材(1)的SiAlON结合层(21);层叠于SiAlON结合层(21)的富铝红柱石层(22);层叠于富铝红柱石层(22)的反应抑制层(23);和,层叠于反应抑制层(23)的组成从稀土二硅酸盐向稀土单硅酸盐过渡的倾斜层(24)。另外,反应抑制层(23)为氧化铝层、石榴石层和稀土(单)硅酸盐层中的至少1层,多层的情况下,从富铝红柱石层(22)侧向倾斜层(24)侧依次层叠而成。

    带电粒子束装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111971776A

    公开(公告)日:2020-11-20

    申请号:CN201880091722.9

    申请日:2018-03-29

    Abstract: 作为校正带电粒子束用的电磁透镜所具有的正的球面像差的装置,已知组合圆孔电极和圆环电极而得的球面像差校正装置。在该球面像差校正装置中,在向圆孔电极和圆环电极之间施加了电压时,由于圆孔电极产生的凸透镜效果,带电粒子束装置的焦点发生变化。因此,在具备产生带电粒子束的带电粒子束源(101)、具有圆环形状的带电粒子束光圈(120)、向带电粒子束光圈施加电压的带电粒子束光圈电源(108)的带电粒子束装置中,带电粒子束光圈电源向带电粒子束光圈施加极性与带电粒子束的电荷相反的电压。

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