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公开(公告)号:CN105970174A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610415481.1
申请日:2016-06-14
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 苏贵方
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/568
Abstract: 本发明公开了一种快速的真空磁控溅射镀膜设备,包括上件架、前清洗机、覆膜段、烘烤箱、风干段、后清洗机和下件架,所述上件架和前清洗机连接,所述覆膜段、烘烤箱、风干段、后清洗机和下件架依次连接;还包括两套真空镀膜机构、第一平移拐弯架和第二平移拐弯架,两套所述真空镀膜机构平行设置,且两套所述真空镀膜机构的一端均通过第一平移拐弯架与前清洗机连接,两套所述真空镀膜机构的另一端均通过第二平移拐弯架与覆膜段连接。本发明公开了一种快速的真空磁控溅射镀膜设备的加工方法。本发明在一段时间内可同时对两个工件快速镀膜处理,这提高了生产效率,还提高了设备的紧凑性以减少占用厂房的使用空间,降低了生产成本,提高镀膜反射率。
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公开(公告)号:CN105970172A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610415007.9
申请日:2016-06-14
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 苏贵方
Abstract: 本发明公开了一种简易卧式磁控镀膜设备,包括第一抽真空机组、第二抽真空机组、第三抽真空机组和依次连接的上片台、前清洗机、进片过渡架、进片真空室、轰击真空室、镀膜真空室、出片真空室、出片过渡架、覆膜段、烘烤段、风干段、后清洗机和下片台;镀膜真空室与第一抽真空机组连接,进片真空室和出片真空室均与第二抽真空机组连接,轰击真空室和第三抽真空机组连接。本发明还提供了简易卧式磁控镀膜设备的镀膜方法。本发明减小了使用厂房的空间,降低了生成成本,结构简单,操控方便。
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公开(公告)号:CN107893215A
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201711441741.3
申请日:2017-12-27
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 苏贵方
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/022 , C23C14/3407
Abstract: 本发明公开了一种EMI真空磁控溅射镀膜设备及其镀膜方法,其中EMI真空磁控溅射镀膜设备包括中真空抽气机组、高真空抽气机组及依次连接的进件升降架、进件过渡架、进件粗抽室、进片轰击室、进片保持室、进片过渡室、进件缓冲室、真空镀膜室、出件缓冲室、出件过渡室、出件粗抽室、出件过渡架、出件升降架和工件托盘返回架,所述进片轰击室与中真空抽气机组连接,所述进片保持室、进片过渡室和出片过渡室均与高真空抽气机组连接。本发明可对工件进行高效、快速的净化处理,降低了功率消耗,降低了生产成本,同时还提高了生产效率。
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公开(公告)号:CN105316635B
公开(公告)日:2018-01-30
申请号:CN201510790686.3
申请日:2015-11-16
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 苏贵方
Abstract: 本发明公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线,其主要由上片架、前清洗机、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机和下片架构成,进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶;进片预抽室设有第一变换抽真空机组,出片预抽室设有第二变换抽真空机组;进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件,出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。本发明还公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法。本发明可将多种镀膜工艺集中于同一设备中,降低了生产投入,提高了经济效益。
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公开(公告)号:CN105970173A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610415443.6
申请日:2016-06-14
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 苏贵方
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/56 , C23C14/566 , C23C14/568
Abstract: 本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜设备,包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室和出片过渡架、依次连接的底漆淋漆段、底漆烧烤箱和面漆淋漆段及依次连接的面漆烘烤箱、面漆风干段、后清洗机、纠偏架和下片架;其特征在于:所述出片过渡架和底漆淋漆段之间及面漆淋漆段和面漆烘烤箱之间均设有玻璃工件旋转台;所述出片过渡架和底漆淋漆段通过其中一个玻璃工件旋转台连接,所述面漆淋漆段和面漆烘烤箱通过另一个玻璃工件旋转台连接。本发明减少了真空磁控镀膜设备的直线长度,提高了整个设备的紧凑性,降低生产成本。
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公开(公告)号:CN104455186A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201410692216.9
申请日:2014-11-27
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 俞忠全
IPC: F16F13/00
CPC classification number: F16F13/00
Abstract: 本发明涉及弹簧液压式缓冲拦阻装置,用于移动物体拦阻,它公开了在液压缸的内缸上安装有单向阀和电磁阀,电磁阀通过管道串接液能转换器后与液压缸的外缸相连通;在液压缸的内缸里安装有活塞,活塞的连杆与压簧板相连接,压簧板设置弹簧支架上,压簧板的两端分别安装有导向轮,弹簧套在弹簧支架上;在弹簧支架周边设置有两组导向轮,拦阻索两端固定在安装场地上,然后绕过所有导向轮。本发明的优点是压缩弹簧与油缸的有效结合,能方便地根据缓冲对象的需求进行单组或多组合并进行拦阻调节,对缓冲时产生的能量作临时储存或直接输出转换成电能、气能等能量形式,而且使用时无需冷却,重复使用周期短,结构合理,制造成本低,使用安全可能。
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公开(公告)号:CN105316635A
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201510790686.3
申请日:2015-11-16
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 苏贵方
Abstract: 本发明公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线,其主要由上片架、前清洗机、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机和下片架构成,进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶;进片预抽室设有第一变换抽真空机组,出片预抽室设有第二变换抽真空机组;进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件,出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。本发明还公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线的镀膜方法。本发明可将多种镀膜工艺集中于同一设备中,降低了生产投入,提高了经济效益。
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公开(公告)号:CN105970174B
公开(公告)日:2019-06-21
申请号:CN201610415481.1
申请日:2016-06-14
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 苏贵方
Abstract: 本发明公开了一种快速的真空磁控溅射镀膜设备,包括上件架、前清洗机、覆膜段、烘烤箱、风干段、后清洗机和下件架,所述上件架和前清洗机连接,所述覆膜段、烘烤箱、风干段、后清洗机和下件架依次连接;还包括两套真空镀膜机构、第一平移拐弯架和第二平移拐弯架,两套所述真空镀膜机构平行设置,且两套所述真空镀膜机构的一端均通过第一平移拐弯架与前清洗机连接,两套所述真空镀膜机构的另一端均通过第二平移拐弯架与覆膜段连接。本发明公开了一种快速的真空磁控溅射镀膜设备的加工方法。本发明在一段时间内可同时对两个工件快速镀膜处理,这提高了生产效率,还提高了设备的紧凑性以减少占用厂房的使用空间,降低了生产成本,提高镀膜反射率。
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公开(公告)号:CN104455186B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201410692216.9
申请日:2014-11-27
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 俞忠全
IPC: F16F13/00
Abstract: 本发明涉及弹簧液压式缓冲拦阻装置,用于移动物体拦阻,它公开了在液压缸的内缸上安装有单向阀和电磁阀,电磁阀通过管道串接液能转换器后与液压缸的外缸相连通;在液压缸的内缸里安装有活塞,活塞的连杆与压簧板相连接,压簧板设置弹簧支架上,压簧板的两端分别安装有导向轮,弹簧套在弹簧支架上;在弹簧支架周边设置有两组导向轮,拦阻索两端固定在安装场地上,然后绕过所有导向轮。本发明的优点是压缩弹簧与油缸的有效结合,能方便地根据缓冲对象的需求进行单组或多组合并进行拦阻调节,对缓冲时产生的能量作临时储存或直接输出转换成电能、气能等能量形式,而且使用时无需冷却,重复使用周期短,结构合理,制造成本低,使用安全可能。
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公开(公告)号:CN104454363A
公开(公告)日:2015-03-25
申请号:CN201410692190.8
申请日:2014-11-27
Applicant: 肇庆市大力真空设备有限公司
Inventor: 俞忠全
CPC classification number: Y02E10/223 , Y02E10/226 , Y02E10/74
Abstract: 本发明涉及一种新型风车,用于风能转换,它公开了在由固定支柱、承重底板、连接支架,上固定板、承重轴承,也可以装配磁悬浮,风速控制器,风叶,电机,主轴组成的基础上,其特点是有风速控制叶,主轴安装在支架内的中间处,风叶与主轴相切地连接固定,风叶的形状是弧形;在支架上围绕着风叶铰接地安装有风速控制叶,并且由风速感应器自动控制,风速控制叶能顺时针或逆时针地摆动。平时风速控制叶片是打开的,只有当风速达到超过额定风速时才会自动关小。从而达到提高风能利用率的目的。本发明的优点是结构合理,高效,安全,占用面积小,使用时无需配置尾翼和风向定向设备,能适应各种安装环境,而且电能输出稳定。
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