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公开(公告)号:CN105209877B
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201380073667.8
申请日:2013-12-20
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: M.莫尼奇诺
CPC classification number: G01L9/0051 , G01K13/02 , G01L9/0052 , G01L19/148
Abstract: 压力传感器具有至少部分地由电绝缘材料制成的传感器主体(2),所述传感器主体(2)具有彼此相对的第一面(2a)和第二面(2b)以及腔(3),所述腔(3)在其至少一个轴向端部处通过膜片部关闭。所述压力传感器(1)包括电路结构(5),所述电路结构(5)通过所述传感器主体(2)支承并且包括:第一电路图案,所述第一电路图案包括沉积在所述第一面的在所述腔外部的一侧上的、由导电材料制成的相应轨迹,存在连接至所述第一电路图案的多个第一电路部件,在所述多个第一电路部件之间是用于检测所述膜片部的弯曲或者变形的检测装置;第二电路图案(7),所述第二电路图案(7)包括沉积在所述第二面(2b)的区域上的、由导电材料(10、11)制成的相应轨迹,所述第二电路图案(7)包括至少一个第二电路部件(8;8'),所述第二电路部件(8;8')具有设计成暴露于流体的有源部分(8a)以及至少一个第一连接端子(8b)和至少一个第二连接端子(8b);以及连接装置,所述连接装置将所述第一电路图案电连接至所述第二电路图案(7),并且至少在所述传感器主体(2)的轴向方向上延伸。所述第二电路图案(7)的所述轨迹(10、11)包括限定多个第一焊盘(10a)的至少一个第一轨迹(10)和限定多个第二焊盘(11a)的至少一个第二轨迹(11),分别用于所述第二电路部件(8;8')的所述第一端子(8b)的连接和所述第二端子(8b)的连接。所述第一和第二轨迹(10、11)按照所述第二电路部件(8;8')的所述第一端子(8b)和所述第二端子(8b)分别可连接至所述第一焊盘(10a)中的任何第一焊盘(10a)和所述第二焊盘(11a)中的任何第二焊盘(11a),和/或分别可连接至多对第一和第二焊盘(10a、11a)中的任何一对的所述第一焊盘(10a)和所述第二焊盘(11a)的方式预先布置。
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公开(公告)号:CN104620089A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201380029201.8
申请日:2013-03-29
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: M.克罗西
CPC classification number: H01C17/24 , G01L9/0052 , G01L9/04 , G01L25/00 , G01L27/002 , H01C10/00 , H01C17/23 , H01C17/242 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49083
Abstract: 一种用于调整校准元件(30)的电气行为或特征的方法,包括通过在前述校准元件(30)中产生一个或更多个切口或切割部(32)来调整前述校准元件(30)的电气行为或特征。具体而言,校准元件(30)包括多个孔口(340),并且该方法包括在其边缘与前述孔口(340)中的至少一个之间产生校准元件(30)中的切口或切割部,以及/或者在前述孔口(340)中的至少两个之间产生校准元件(30)中的切口或切割部。
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公开(公告)号:CN102460101B
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201080022596.5
申请日:2010-05-20
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: L·萨尔马索
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0042 , G01L19/0076 , H01L2224/48091 , H01L2224/49171 , H01L2924/19105 , H01L2924/00014
Abstract: 一种压力传感器(1),其具有传感器主体(2,20),所述传感器主体(2,20)至少部分地由特别是陶瓷材料的电绝缘材料形成并且限定腔体(3),隔膜(20)面向所述腔体(3)并且设置有被构造为用于检测所述隔膜(20)的弯曲的电检测器元件。所述传感器主体(2,20)支撑电路布置(6),所述电路布置(6)包括其中之一为集成电路(15)的多个电路部件(7,15)并且用于处理由所述检测元件生成的信号。所述电路布置(6)包括用直接沉积在用电绝缘材料制成的所述传感器主体(2,20)的表面上的导电材料制成的迹线,所述集成电路由用半导体材料制成的小片(15)构成,所述小片(15)被直接接合到所述传感器主体的表面上,并且借助于丝线接合,即借助于用导电材料制成的细连接丝线(16)将所述小片(15)连接至相应的迹线(9)。
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公开(公告)号:CN107548452B
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201680022106.9
申请日:2016-04-15
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Abstract: 一种传感器具有带彼此相对的第一面(2b)和第二面(2a)的传感器本体(2),以及由传感器本体(2)支撑的电路布置(5),电路布置(5)包括:‑第一面(2b)上的第一电路图案(6);‑第二面(2a)上的第二电路图案(7);‑连接器件(14‑14a,15‑15a),其将第一电路图案(6)电连接到第二电路图案(7)上,且包括沿轴向在传感器本体(2)的两个面(2a,2b)之间延伸的至少一个通孔(14‑14a,15‑15a),其中导电材料层(14a,15a)在至少一个通孔(14‑14a,15‑15a)的内表面上延伸;‑多个端子(10),其用于将电路布置(5)连接到外部系统上,端子(10)电连接到第一电路图案(6)和第二电路图案(7)中的至少一者上。至少一个通孔(14‑14a,15‑15a)优选经由具有至少部分预成形的本体(30a)的封闭部件(30)在传感器本体(2)的第二面(2a)处封闭。封闭部件(30)的预成形本体(30a)具有封闭部分(31),其具有比传感器本体(2)的第二面(2a)处的通孔(14‑14a,15‑15a)的开口的外周或截面大小(具体是直径)较大的外周或截面大小(具体是直径)。封闭部件(30)的预成形本体(30a)的至少一部分(31,32)相对于对应的孔(14‑14a,15‑15a)以不透流体的方式固定就位。
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公开(公告)号:CN103229033A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201180044665.7
申请日:2011-07-14
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: M.莫尼基诺
IPC: G01L9/00
CPC classification number: H01L29/66007 , G01L9/0052 , G01L19/147 , G01L19/148 , H01L29/84
Abstract: 一种传感器,尤其是压力传感器,具有:结构,其包括支撑体(10);电路装置(4),包括电路部件(3a、3b、3c、3d),在其中检测装置(3c)用于生成表示要被检测的量的电信号;以及至少一个电路支撑件(4a),其被连接到所述支撑体(10)并且具有表面,在所述表面上形成多个所述电路部件(3a、3b、3c、3d),在其中导电路径(3a、3b),其中所述电路支撑件(4a)被层压在所述支撑体(10)的所述第一面(10a)上。
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公开(公告)号:CN114787603B
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202080087884.2
申请日:2020-10-15
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: M·莫尼奇诺
Abstract: 一种用于检测流体的压力的传感器(1),其具有传感器主体(2),该传感器主体包括至少一个第一主体部分(3)和一个第二主体部分(4),每一个主体部分具有彼此相对的第一面和第二面。第一主体部分(3)和第二主体部分(4)以这样的方式连结在一起,使得第一主体部分(3)的第一面面向第二主体部分(4)的第一面并与其相距一定距离。第一主体部分(3)和第二主体部分(4)中的至少一个包括膜片部分(7),该膜片部分由于流体的压力而受到朝向第一部分主体(3)和第二主体部分(4)中的另一个的弹性挠曲或变形,膜片部分(7)限定第一主体部分(3)或第二主体部分(4)的第一面。压力传感器(1)具有由传感器主体(2)支承的电路布置结构(8,10),该电路布置结构包括至少一个第一电气电路(10),该第一电气电路至少部分地在对应于膜片部分(7)的区域中延伸,并且配置用于通过至少一个相应的检测构件(R1,R2,R4)来检测其弹性挠曲或变形。第一电气电路(10)与第一主体部分(3)和第二主体部分(4)中的一个的第一面相关联,并且第一主体部分(3)和第二主体部分(4)中的另一个的第一面形成或具有与其相关联的至少一个电路元件(20),该电路元件预先布置用于当膜片部分(7)的弹性挠曲或变形的程度至少等于基本上预定极限时与第一电气电路(10)相互作用,以由此生成代表流体的过大压力、不正确的压力测量和装置的异常状态中的至少一个的信息或警告。
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公开(公告)号:CN104620089B
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201380029201.8
申请日:2013-03-29
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: M.克罗西
CPC classification number: H01C17/24 , G01L9/0052 , G01L9/04 , G01L25/00 , G01L27/002 , H01C10/00 , H01C17/23 , H01C17/242 , Y10T29/49004 , Y10T29/49005 , Y10T29/49083
Abstract: 一种用于调整校准元件(30)的电气行为或特征的方法,包括通过在前述校准元件(30)中产生一个或更多个切口或切割部(32)来调整前述校准元件(30)的电气行为或特征。具体而言,校准元件(30)包括多个孔口(340),并且该方法包括在其边缘与前述孔口(340)中的至少一个之间产生校准元件(30)中的切口或切割部,以及/或者在前述孔口(340)中的至少两个之间产生校准元件(30)中的切口或切割部。
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公开(公告)号:CN105209877A
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:CN201380073667.8
申请日:2013-12-20
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: M.莫尼奇诺
CPC classification number: G01L9/0051 , G01K13/02 , G01L9/0052 , G01L19/148
Abstract: 压力传感器具有至少部分地由电绝缘材料制成的传感器主体(2),所述传感器主体(2)具有彼此相对的第一面(2a)和第二面(2b)以及腔(3),所述腔(3)在其至少一个轴向端部处通过膜片部关闭。所述压力传感器(1)包括电路结构(5),所述电路结构(5)通过所述传感器主体(2)支承并且包括:第一电路图案,所述第一电路图案包括沉积在所述第一面的在所述腔外部的一侧上的、由导电材料制成的相应轨迹,存在连接至所述第一电路图案的多个第一电路部件,在所述多个第一电路部件之间是用于检测所述膜片部的弯曲或者变形的检测装置;第二电路图案(7),所述第二电路图案(7)包括沉积在所述第二面(2b)的区域上的、由导电材料(10、11)制成的相应轨迹,所述第二电路图案(7)包括至少一个第二电路部件(8;8'),所述第二电路部件(8;8')具有设计成暴露于流体的有源部分(8a)以及至少一个第一连接端子(8b)和至少一个第二连接端子(8b);以及连接装置,所述连接装置将所述第一电路图案电连接至所述第二电路图案(7),并且至少在所述传感器主体(2)的轴向方向上延伸。所述第二电路图案(7)的所述轨迹(10、11)包括限定多个第一焊盘(10a)的至少一个第一轨迹(10)和限定多个第二焊盘(11a)的至少一个第二轨迹(11),分别用于所述第二电路部件(8;8')的所述第一端子(8b)的连接和所述第二端子(8b)的连接。所述第一和第二轨迹(10、11)按照所述第二电路部件(8;8')的所述第一端子(8b)和所述第二端子(8b)分别可连接至所述第一焊盘(10a)中的任何第一焊盘(10a)和所述第二焊盘(11a)中的任何第二焊盘(11a),和/或分别可连接至多对第一和第二焊盘(10a、11a)中的任何一对的所述第一焊盘(10a)和所述第二焊盘(11a)的方式预先布置。
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公开(公告)号:CN102460101A
公开(公告)日:2012-05-16
申请号:CN201080022596.5
申请日:2010-05-20
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: L·萨尔马索
IPC: G01L9/00
CPC classification number: G01L9/0042 , G01L19/0076 , H01L2224/48091 , H01L2224/49171 , H01L2924/19105 , H01L2924/00014
Abstract: 一种压力传感器(1),其具有传感器主体(2,20),所述传感器主体(2,20)至少部分地由特别是陶瓷材料的电绝缘材料形成并且限定腔体(3),隔膜(20)面向所述腔体(3)并且设置有被构造为用于检测所述隔膜(20)的弯曲的电检测器元件。所述传感器主体(2,20)支撑电路布置(6),所述电路布置(6)包括其中之一为集成电路(15)的多个电路部件(7,15)并且用于处理由所述检测元件生成的信号。所述电路布置(6)包括用直接沉积在用电绝缘材料制成的所述传感器主体(2,20)的表面上的导电材料制成的迹线,所述集成电路由用半导体材料制成的小片(15)构成,所述小片(15)被直接接合到所述传感器主体的表面上,并且借助于丝线接合,即借助于用导电材料制成的细连接丝线(16)将所述小片(15)连接至相应的迹线(9)。
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公开(公告)号:CN114787603A
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202080087884.2
申请日:2020-10-15
Applicant: 微型金属薄膜电阻器有限公司
Inventor: M·莫尼奇诺
Abstract: 一种用于检测流体的压力的传感器(1),其具有传感器主体(2),该传感器主体包括至少一个第一主体部分(3)和一个第二主体部分(4),每一个主体部分具有彼此相对的第一面和第二面。第一主体部分(3)和第二主体部分(4)以这样的方式连结在一起,使得第一主体部分(3)的第一面面向第二主体部分(4)的第一面并与其相距一定距离。第一主体部分(3)和第二主体部分(4)中的至少一个包括膜片部分(7),该膜片部分由于流体的压力而受到朝向第一部分主体(3)和第二主体部分(4)中的另一个的弹性挠曲或变形,膜片部分(7)限定第一主体部分(3)或第二主体部分(4)的第一面。压力传感器(1)具有由传感器主体(2)支承的电路布置结构(8,10),该电路布置结构包括至少一个第一电气电路(10),该第一电气电路至少部分地在对应于膜片部分(7)的区域中延伸,并且配置用于通过至少一个相应的检测构件(R1,R2,R4)来检测其弹性挠曲或变形。第一电气电路(10)与第一主体部分(3)和第二主体部分(4)中的一个的第一面相关联,并且第一主体部分(3)和第二主体部分(4)中的另一个的第一面形成或具有与其相关联的至少一个电路元件(20),该电路元件预先布置用于当膜片部分(7)的弹性挠曲或变形的程度至少等于基本上预定极限时与第一电气电路(10)相互作用,以由此生成代表流体的过大压力、不正确的压力测量和装置的异常状态中的至少一个的信息或警告。
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