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公开(公告)号:CN101529922B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN200780031206.9
申请日:2007-07-24
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H04N9/3111 , G02B7/006 , G02B7/008 , G02B26/008 , H04N9/3114
Abstract: 本发明涉及一种用于色序投影机的彩色轮。按本发明的彩色轮能够在不受损坏的情况下经受从-20℃到+80℃的温度波动。为此,没有将具有一种热膨胀系数的滤光扇形段直接粘贴在具有极为不同的热膨胀系数的支座上而是粘贴在盘片上,该盘片拥有与所述滤光扇形段相类似的热膨胀系数。因此与所述盘片的连接可以具有非常大的刚度并且具有相应的强度。然后才将所述盘片与所述支座相连接。在这里不需要如此刚性的和强力的连接,因为不承受任何离心力。
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公开(公告)号:CN101175867B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN200680009395.5
申请日:2006-01-19
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及用电弧PVD方法在工件(30)上沉积的作为功能层(32)的一种硬材料层,其中该功能层主要构成为由元素周期表的副族IV、V、VI的过渡金属和Al、Cr、Fe、Ni、Co、Y中至少一种金属(Me)组成的电绝缘的氧化物,并且功能层(32)不含有惰性气体也不含有卤素。
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公开(公告)号:CN1714422B
公开(公告)日:2010-09-01
申请号:CN200380101355.X
申请日:2003-10-15
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
Inventor: O·齐格尔
CPC classification number: H01J37/347 , C23C14/04 , C23C14/35 , C23C14/542 , H01J37/3408 , H01J37/3455
Abstract: 为了在磁控管溅射涂层时使沉积到基底上的材料量分布最佳化,在磁控管溅射涂层时,一个磁控管磁场图样(9)沿着溅射面(7)循环地运动(My),并且一个基底(11)在溅射面(7)旁边运动,为了锁相地随着循环的磁场图样(9)的运动(My),借助于一个调整系统(3)调整溅射率。
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公开(公告)号:CN100592112C
公开(公告)日:2010-02-24
申请号:CN03803717.3
申请日:2003-02-12
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: G02B5/18 , G02B5/30 , C03B37/012 , B01L3/00 , B01D21/00
CPC classification number: G02B1/118 , B01D21/0012 , B01D39/2051 , B01L3/502707 , B01L3/50273 , B01L3/502753 , B01L3/502761 , B01L3/502792 , B01L2200/0647 , B01L2200/0668 , B01L2200/141 , B01L2300/0681 , B01L2300/0816 , B01L2300/0825 , B01L2300/16 , B01L2400/0406 , B01L2400/0409 , B01L2400/086 , B81B1/002 , B81B2201/047 , B81B2201/10 , B81B2203/0338 , B81C1/00119 , C23C14/04 , C23C14/046 , G02B5/1809 , G02B5/1847 , G02B5/3058 , G02B5/3083 , G02B2006/12097 , Y10S428/913 , Y10T428/24612 , Y10T428/24942 , Y10T428/249953 , Y10T428/249961 , Y10T428/249975 , Y10T428/249977 , Y10T428/249979 , Y10T428/24998 , Y10T428/31678 , Y10T436/111666 , Y10T436/112499 , Y10T436/25375 , Y10T436/255
Abstract: 一种光学部件或一种分析平台,包括一个衬底、一个在衬底(3)上的微结构阵列和由相邻微结构的侧壁形成的微通道(15,15’),微通道的宽度作为离衬底的距离的函数而变化,在至少一个距离间隔内,该宽度随离衬底的距离的增大而连续地减小。在一个用于产生这样一种部件或这样一种平台的方法中,一个具有表面微结构阵列的衬底在蒸汽处理中这样涂层,使得涂层机构的遮蔽影响使微结构侧壁上部的至少一部分宽度变窄,由此形成至少部分埋置的微通道。
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公开(公告)号:CN101528369A
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200680056235.6
申请日:2006-10-27
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: B08B7/00 , H01J37/32 , H01L21/306 , H01L21/00
CPC classification number: B08B7/0035 , H01J37/32568 , H01J37/32623 , H01J37/32633 , H01J2237/335 , H01L21/67028 , H01L21/67069
Abstract: 基体的等离子体腐蚀清洁通过包括电子源阴极(5)和阳极装置(7)的等离子体放电装置实施。阳极装置(7)包括一方面的阳极电极(9)以及另一方面的以及与其电绝缘的限制装置(11)。限制装置(11)具有朝向待清洁的基体(21)的区域(S)的开口(13)。电子源阴极(5)和阳极电极(9)由具有电源(19)的供电电路供电。电路电浮动式操作。
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公开(公告)号:CN101512050A
公开(公告)日:2009-08-19
申请号:CN200780033018.X
申请日:2007-09-04
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: C25F7/00
CPC classification number: C25F7/00 , C23C14/021 , C23C14/5873
Abstract: 联接件(7)布置在位于装有电解液的槽(2)的上方的可移动支架(5)中,其可以围绕竖向旋转轴旋转,用于安装工件支座(15),该工件支座(15)例如可以装载已磨损或涂覆不适当的工件。工件支座通过联接件(7)连接到电源供应装置上,反电极(12)连接到该电源供应装置的相反的接线端上。在槽(2)中还布置有加热和冷却装置(13)和超声波发生器(14)。通过电流供应和同时旋转,涂层被从工件支座(15)和/或工件(18)上除去。在错误涂覆后,工件(18)可以连同工件支座(15)一起,以及在某些情况下还有支架(5),被直接从涂覆装置中取出,还可以在去除涂层之后将它们直接送至涂覆装置以重新涂覆。
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公开(公告)号:CN101490305A
公开(公告)日:2009-07-22
申请号:CN200780027414.1
申请日:2007-07-12
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/081 , H01J37/32055 , H01J37/3405 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J37/345 , H01J37/3467
Abstract: 一种借助于真空涂覆在至少一个工件上制备导电性差的层特别是绝缘层的方法,其中电弧放电在电弧源的至少一个阳极和至少一个阴极之间于含反应性气体的气氛中运行,在与阴极电连接的靶表面上不产生或仅产生小的基本上垂直于靶表面的外磁场以辅助蒸发过程,通过另外的涂覆源的表面的再涂覆度小于10%,或该磁场由包括至少一个具有类似于靶周边的几何形状的轴向极化线圈的磁体系产生。
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公开(公告)号:CN101151701A
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200680009516.6
申请日:2006-03-01
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及一种用于对工件(3)进行表面处理的真空处理设备,具有一个电弧蒸发源(5),所述电弧蒸发源包含与一个DC电源(13)连接的第一电极(5`),还具有与所述电弧蒸发源(5)分开安放的第二电极(3、18、20)。这两个电极(5`、3、18、20)都与一个脉冲电源(16)连接地运行。
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公开(公告)号:CN104201082A
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201410309313.5
申请日:2006-03-01
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
CPC classification number: H01J37/3444 , C23C14/024 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/081 , C23C14/083 , C23C14/325 , F01D5/288 , F05D2230/313 , H01J37/32055 , H01J37/34
Abstract: 本发明涉及运行脉冲式电弧源的方法。公开了一种用于沉积绝缘层的电弧方法以及用于低温涂层的电弧方法,其中引起或运行在电弧源的靶表面上的电火花放电,其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电。此外本发明还涉及一种电弧源,其中靶与供电单元连接,该供电单元或者是至少一个第一脉冲式高电流电源18,18’以及另一个电源13’,18”,或者是用开关网络分配技术实施的电源21,21’,22。
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公开(公告)号:CN101528369B
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN200680056235.6
申请日:2006-10-27
Applicant: 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
IPC: B08B7/00 , H01J37/32 , H01L21/306 , H01L21/00
CPC classification number: B08B7/0035 , H01J37/32568 , H01J37/32623 , H01J37/32633 , H01J2237/335 , H01L21/67028 , H01L21/67069
Abstract: 基体的等离子体腐蚀清洁通过包括电子源阴极(5)和阳极装置(7)的等离子体放电装置实施。阳极装置(7)包括一方面的阳极电极(9)以及另一方面的以及与其电绝缘的限制装置(11)。限制装置(11)具有朝向待清洁的基体(21)的区域(S)的开口(13)。电子源阴极(5)和阳极电极(9)由具有电源(19)的供电电路供电。电路电浮动式操作。
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