脆性材料基板的划线方法及划线装置

    公开(公告)号:CN1541155A

    公开(公告)日:2004-10-27

    申请号:CN02815702.8

    申请日:2002-08-08

    Inventor: 若山治雄

    Abstract: 本发明提供一种脆性材料基板的划线方法及其装置。将从激光振荡装置(34)发射的激光束,沿着在母玻璃基板(50)表面所设置的划痕预定线进行照射。由此,在母玻璃基板(50)上形成激光光斑。并向靠近激光光斑处从冷却喷嘴(37)喷射冷却液。激光光斑只在靠近被喷射冷却液的区域附近的端部具有最大热能强度,因此,与被喷射冷却液的区域之间形成较大的应力梯度。由此,在母玻璃基板(50)上可充分形成沿着垂直方向的裂纹。因此,对于母玻璃基板可以充分且高效地形成划线。

    划线装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102083760B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN200980124471.0

    申请日:2009-06-23

    Abstract: 本发明提供一种划线装置(1000),其能够在将脆性基板贴合而成贴合基板的表面及背面且分别在两个部位同时形成划线,由此,能够缩短从液晶母基板等贴合基板切出规定数的面板基板所需要的加工时间。该划线装置(1000)具备:固定划线机构,其固定设置于基座(301)上,在贴合基板的表面及背面同时形成第一划线;可动划线机构,其可移动地设置于基座(401)上,在该贴合基板的表面及背面同时形成与该第一划线平行的第二划线,该固定划线机构及可动划线机构构成为,同时形成该第一及第二划线,且通过该两机构的离开距离来调节该第一及第二划线的间隔。

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