直写光刻系统和直写光刻方法

    公开(公告)号:CN112987501A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201911303595.7

    申请日:2019-12-17

    Abstract: 一种直写光刻系统和直写光刻方法,其中直写光刻系统包括直写光源、运动机构、中央控制器、光斑图形输入装置以及投影光学装置;运动机构用于带动投影光学装置沿预设路径扫描,并用于发出参考点的位置数据;中央控制器用于根据位置数据读取光斑图形文件序列中对应的光斑图像数据;光斑图形输入装置用于根据光斑图像数据将直写光源提供的起始光束调制生成图形光;投影光学装置用于根据图形光向光刻件的表面投影出变形光斑,并在运动机构的带动下沿预设路径扫描,在扫描过程中光斑图像数据随位置数据而变化,形成预设的可控变形光斑。本发明的直写光刻系统和直写光刻方法实现了复杂表面三维形貌结构的无掩模灰度光刻,并提高了光刻精度和光刻效率。

    一种微透镜阵列制备方法
    83.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112859210A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201911181581.2

    申请日:2019-11-27

    Abstract: 本发明涉及一种微透镜阵列制备方法,其包括以下步骤:S1、提供已涂布有光刻胶的基板,在基板上调用预置的直写光刻程序以对其进行数字掩模激光直写光刻,以制备获得N台阶柱体光刻胶阵列;S2、将步骤S1得到的N台阶柱体光刻胶阵列依次进行后烘、显影、烘干;S3、将步骤S2得到的N台阶柱体光刻胶阵列进行热熔,制备获得微透镜阵列。该制备方法采用数字掩模激光直写光刻方法和光刻胶热熔法相结合的加工技术,无需制备实体掩模版,通过增多可控参量数目来提高对得到的微透镜表面可控性,可制备微透镜阵列,该方法工艺简单、加工效率高、制备成功率高、加工成本更低、设计更加灵活以及对微透镜表面可控性强。

    电致变色显示面板及电子纸
    85.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111123612A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201811297770.1

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本发明涉及一种电致变色显示面板及电子纸,该电致变色显示面板包括依次设置的第一基板、电致变色像素阵列和第二基板,电致变色像素阵列包括若干阵列排布,独立控制的电致变色单元所述电致变色单元包括黑色结构层和彩色结构层,黑色结构层包括依次设置的第一电极、黑色电致变色像素层和第二电极,彩色结构层设置在黑色结构层一侧,彩色结构层包括横向排布的RGB结构单元或RGBW结构单元;第一电极具有与第二电极相对的第一相对面,第二电极具有与第一电极相对的第二相对面,第一相对面和/或第二相对面上设有若干微纳结构。该电致变色显示面板及电子纸既能显示黑色,又能显示其他颜色,且其透明电极之间电场分布均匀,具有较佳的显示效果。

    电致变色显示面板及电子纸
    86.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111123610A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201811292820.7

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本发明涉及一种电致变色显示面板及电子纸,该电致变色显示面板包括依次设置的第一基板、电致变色像素阵列和第二基板,电致变色像素阵列包括若干阵列排布,独立控制的电致变色单元,电致变色单元包括黑色结构层和彩色结构层,黑色结构层包括设置在第一基板上的第一电极、黑色电致变色像素层和第二电极,彩色结构层包括若干纵向叠加排布的青色结构单元、黄色结构单元及品红色结构单元,彩色结构层设置在黑色结构层一侧。该电致变色显示面板及电子纸既能显示黑色,又能显示其他颜色,其显示颜色丰富,并在电极上设有不平整面,使两电极之间的电场的分布更均匀,从而加强其导电性效果、加快变色层的变色效果,且结构简单,易于制备。

    电致变色显示面板及电子纸
    87.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111123605A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201811292789.7

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本发明涉及一种电致变色显示面板及电子纸,该电致变色显示面板包括依次设置的第一基板、电致变色像素阵列层和第二基板,所述电致变色像素阵列层包括若干阵列排布,独立控制的电致变色单元,所述电致变色单元包括依次设置的第一电极、黑色电致变色像素层以及第二电极。该电致变色显示面板及电子纸将黑色电致变色像素层设置在第一电极和第二电极之间形成若干独立的电致变色单元,再将若干电致变色单元设置在第一基板和第二基板之间。该电致变色显示面板及电子纸以黑色电致变色像素层形成电致变色单元,能实现黑色、灰色和白色显示,且结构简单,易于制备,同时具有较佳的显示效果。

    电致变色显示面板及电子纸

    公开(公告)号:CN212391694U

    公开(公告)日:2021-01-22

    申请号:CN201821788646.0

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本实用新型涉及一种电致变色显示面板及电子纸,该电致变色显示面板包括依次设置的第一基板、电致变色像素阵列层和第二基板,所述电致变色像素阵列层包括若干阵列排布,独立控制的电致变色单元,所述电致变色单元包括依次设置的第一电极、黑色电致变色像素层以及第二电极。该电致变色显示面板及电子纸将黑色电致变色像素层设置在第一电极和第二电极之间形成若干独立的电致变色单元,再将若干电致变色单元设置在第一基板和第二基板之间。该电致变色显示面板及电子纸以黑色电致变色像素层形成电致变色单元,能实现黑色、灰色和白色显示,且结构简单,易于制备,同时具有较佳的显示效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    电致变色显示面板及电子纸

    公开(公告)号:CN212060828U

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201821788474.7

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本实用新型涉及一种电致变色显示面板及电子纸,包括依次设置的第一基板、电致变色像素阵列层和第二基板,电致变色像素阵列层包括若干阵列排布,独立控制的电致变色单元,电致变色单元包括依次设置的第一电极、黑色电致变色像素层以及第二电极;第一电极具有与第二电极相对的第一相对面,第二电极具有与第一电极相对的第二相对面,第一相对面和/或第二相对面上设有不平整面。本实用新型以黑色电致变色像素层形成电致变色单元,能实现黑色、灰色和白色显示,在电致变色像素阵列中的电极上设有不平整面,使两电极之间的电场的分布更均匀,从而加强其导电性效果、加快变色层的变色效果,且结构简单,易于制备,同时具有较佳的显示效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    电致变色显示面板及电子纸

    公开(公告)号:CN211826842U

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201821788484.0

    申请日:2018-11-01

    Abstract: 本实用新型涉及一种电致变色显示面板及电子纸,该电致变色显示面板包括依次设置的第一基板、电致变色像素阵列和第二基板,电致变色像素阵列包括若干阵列排布,独立控制的电致变色单元所述电致变色单元包括黑色结构层和彩色结构层,黑色结构层包括依次设置的第一电极、黑色电致变色像素层和第二电极,彩色结构层设置在黑色结构层一侧,彩色结构层包括横向排布的RGB结构单元或RGBW结构单元;第一电极具有与第二电极相对的第一相对面,第二电极具有与第一电极相对的第二相对面,第一相对面和/或第二相对面上设有若干微纳结构。该电致变色显示面板及电子纸既能显示黑色,又能显示其他颜色,且其透明电极之间电场分布均匀,具有较佳的显示效果。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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