光刻控制方法、装置及存储介质

    公开(公告)号:CN113296364B

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202010113358.0

    申请日:2020-02-24

    Abstract: 本发明涉及一种光刻控制方法、装置及存储介质,属于微纳加工技术领域,该方法包括:获取光刻任务;对光刻任务中的所有光刻网点进行分层处理得到n层光刻网点;对每层光刻网点进行区域划分,得到区域内的光刻网点数据;按照每层每个区域内的光刻网点数据进行光刻,直至完成光刻任务;判断是否还有下一个光刻任务,若无,则结束;若有则再次执行光刻任务;可以解决拼接平台自身的定位精度误差无法消除,导致光刻后的目标出现周期暗纹、区域不均的现象的问题;由于不同层光刻网点所属的层区域存在交集,因此,对于需要拼接光刻的部分通过不同层的交集部分可以重新进行振镜扫描,实现拼接部分的过渡,减少平台自身定位精度带来的误差影响。

    一种环境地图的构建方法及相关装置

    公开(公告)号:CN110516641B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN201910818289.0

    申请日:2019-08-30

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本申请公开了一种环境地图的构建方法,包括:对深度图像进行几何特征提取处理,得到几何特征信息,并根据几何特征信息构建几何误差模型;对深度图像进行语义信息提取处理,得到语义特征信息,并根据语义特征信息构建语义误差模型;根据几何误差模型和语义误差模型构建总误差模型;对总误差模型进行极值计算得到旋转平移矩阵,根据旋转平移矩阵对深度图像进行旋转平移处理,得到环境地图。通过几何误差模型和语义误差模型进行极值计算得到旋转平移矩阵,避免了几何特征信息在机器人运动过程中容易丢失的情况,提高环境地图的精度和准确性。本申请还公开了一种环境地图的构建装置、计算机设备以及计算机可读存储介质,具有以上有益效果。

    光刻控制方法、装置及存储介质

    公开(公告)号:CN113296364A

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN202010113358.0

    申请日:2020-02-24

    Abstract: 本发明涉及一种光刻控制方法、装置及存储介质,属于微纳加工技术领域,该方法包括:获取光刻任务;对光刻任务中的所有光刻网点进行分层处理得到n层光刻网点;对每层光刻网点进行区域划分,得到区域内的光刻网点数据;按照每层每个区域内的光刻网点数据进行光刻,直至完成光刻任务;判断是否还有下一个光刻任务,若无,则结束;若有则再次执行光刻任务;可以解决拼接平台自身的定位精度误差无法消除,导致光刻后的目标出现周期暗纹、区域不均的现象的问题;由于不同层光刻网点所属的层区域存在交集,因此,对于需要拼接光刻的部分通过不同层的交集部分可以重新进行振镜扫描,实现拼接部分的过渡,减少平台自身定位精度带来的误差影响。

    一种取料装置和撕膜设备
    84.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111807099A

    公开(公告)日:2020-10-23

    申请号:CN201910293662.5

    申请日:2019-04-12

    Abstract: 本发明公开了一种取料装置和撕膜设备,所述取料装置用于从储料架中取出一片板材,并将板材运送到待处理工位,所述储料架用于存放片状的板材,所述取料装置包括第一机械臂和与第一机械臂末端固定相连的第一固持部,该第一机械臂能够带动第一固持部在所述储料架处和待处理工位之间往复运动,所述第一固持部能够吸附和释放所述板材的一个表面。与现有技术相比,本发明提出的一种取料装置和撕膜设备,所述取料装置设置起料吸盘,能够提高取料装置每次只取一片板材的概率,保证撕膜设备的正常工作,从而提高撕膜设备的撕膜效率,降低人工成本。

    导光板及背光模组
    85.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110275240A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201810215515.1

    申请日:2018-03-15

    Abstract: 本发明公开了一种导光板及背光模组,包括侧面、底面、与所述底面相对的顶面以及形成在所述底面上的多个凹陷网点,所述侧面为入光面,所述顶面为出光面,每个凹陷网点为从所述底面朝向所述顶面凹陷形成的C型凹槽、环形凹槽或球形凹坑,每个凹陷网点具有靠近光源的前端和远离光源的后端,每个凹陷网点的凹陷深度从所述前端至所述后端的方向上逐渐增加。

    一种多羧酸钠盐基团的荧光共轭高分子、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN107141448B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201710453966.4

    申请日:2017-06-15

    Applicant: 苏州大学

    Inventor: 范丽娟 张恒

    Abstract: 本发明公开了一种多羧酸钠盐基团的荧光共轭高分子、制备方法及应用。将苝酯单体引入到荧光共轭高分子主链中,再通过两步水解得到一种侧链带多个羧酸钠盐的荧光共轭高分子;经与聚乙烯醇混合,采用静电纺丝工艺,得到纤维膜,经在戊二醛/HCl的丙酮溶液交联处理后,再在NaOH的水溶液中浸泡,真空干燥后即可得到一种荧光纤维膜。本发明提供的荧光纤维膜由于含有多羧酸钠盐基团的荧光共轭高分子,其羧基或羧酸钠盐基团可以通过与酸碱反应相互转换,使荧光共轭聚合物的结构发生变化,仅通过纤维膜表观颜色的变化和荧光颜色的变化,就能判断溶液pH的范围,因此,荧光纤维膜可采用荧光比色法实现对酸雨pH的检测。

    一种定位测量装置和定位测量方法

    公开(公告)号:CN108459558A

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201810235117.6

    申请日:2018-03-21

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本申请公开了一种定位测量装置和定位测量方法,该定位测量装置位于数控机床上,包括:用于放置待测工件的运动工作台;固定在运动工作台上方的线阵相机;用于将线阵相机拍摄的图像进行处理,获取待测工件的圆孔直径,确定圆孔孔心在待测工件坐标系中的坐标信息的处理器;用于根据圆孔孔心在待测工件坐标系中的坐标信息和待测工件在数控机床坐标系中的坐标信息,确定圆孔孔心在数控机床坐标系中的坐标信息并对待测工件进行加工的工件加工部件。本申请提供的上述定位测量装置克服了传统人工操作的不足,采用线阵相机获取图像在扫描方向上的精度高,能够真实反馈工业生产上的工件图片,提高测量与定位精度,并且结构简单、定位速度快。

    用于按键背光的导光膜及背光组件

    公开(公告)号:CN101526194A

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200910029411.2

    申请日:2009-04-13

    Abstract: 本发明公开了一种用于按键背光的导光膜及背光组件,所述导光膜包括一透明导光膜层,在所述导光膜层上分布有导光网点,其特征在于:在所述导光膜上开设有1至2个导光孔。所述背光组件采用该导光膜配合顶发光LED构成,每一导光孔的中心位置与对应的顶发光LED的中心位置一致。本发明通过在导光膜上开设导光孔,可以采用1~2颗顶发光LED配合导光膜实现背光组件,符合手机等电子产品的按键背光均匀性要求,为手机等中小尺寸电子产品的按键背光提供了一种低成本的方案,同时也能够实现产品的超薄与低能耗。

    导光板、前置光源及显示装置

    公开(公告)号:CN219085170U

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202223149560.2

    申请日:2022-11-25

    Abstract: 本申请涉及显示技术领域,具体公开一种导光板、前置光源及显示装置。导光板包括导光基板,包括反射面、出光面以及至少一组相对设置的两个入光面,其中,所述反射面和所述出光面相对设置,所述反射面和所述出光面分别与所述入光面相接;在所述反射面上,多个对称式导光微结构以所述反射面的几何中心对称设置,多个非对称式导光微结构以所述反射面的几何中心为对称中心对称设置;所述多个对称式导光微结构和所述多个非对称式导光微结构的分布密度之和从所述对称中心分别向一组相对设置的两个入光面方向对称地递减。在保证导光板画面对比度和视角均匀性的同时,满足出光均匀性和亮度需求,进而满足大幅面反射式显示设备的照明需求。

    一种超宽带吸收器
    90.
    实用新型

    公开(公告)号:CN215728915U

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN202121139147.0

    申请日:2021-05-25

    Abstract: 本申请涉及制备技术领域,具体而言,公开了一种超宽带吸收器,该超宽带吸收器包括基底,基底上设置有第一介质层,第一介质层背离基底的一侧形成凸起结构阵列,凸起结构阵列背离基底的一侧依次设置有第一金属层、第二介质层和第二金属层。实现可见光至红外波段超宽带的双向广角高效吸收,在400nm‑4000nm波段范围内,电磁波吸收结构上表面平均吸收效率大于92%,下表面平均吸收接近85%;在入射角为60°时,上表面平均吸收大于92%,下表面平均吸收大于80%,双向吸收性能良好。该装置结构简单,便于批量化生产,易与光电子器件集成,在显示、太阳能电池、热光伏等领域有广泛应用。

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