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公开(公告)号：CN100406854C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200480009852.1
申请日：2004-02-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/6845
Abstract: 本发明旨在提供提高热式质量流量传感器的耐蚀性，同时能够提高响应性、除颗粒以及防止产品质量上的偏差等的耐蚀金属制热式质量流量传感器和采用该传感器的流体供给设备。具体说，热式质量流量传感器由传感器部1和传感器底座13构成，该传感器部1由电解蚀刻耐蚀性金属材料W背面侧而形成为薄片的耐蚀性金属基片2以及形成设于该耐蚀性金属基片2的背面侧的温度传感器3和加热器4的薄膜F构成；在所述传感器底座13上，通过激光焊接密封固定嵌入安装沟13a内的所述传感器部1的耐蚀性金属基片2的外周缘。
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公开(公告)号：CN109074104B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201780005089.2
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
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公开(公告)号：CN112272809A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201980032448.2
申请日：2019-06-19
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种使用流量控制装置(100)进行的在流量上升时的流量控制方法，流量控制装置(100)具备：设置于流路第一控制阀(6)；设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)；和对第一控制阀的下游侧且第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)，流量控制方法包含：(a)在将第二控制阀关闭的状态下，使用压力传感器求出在第一控制阀的下游残留的压力的步骤；和(b)通过基于压力传感器的输出调整第二控制阀的开度，对在第一控制阀下游残留的压力进行控制，在第二控制阀的下游侧以第一流量流动流体的步骤。
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公开(公告)号：CN110114601B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201780080823.1
申请日：2017-12-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111406243A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201880071834.8
申请日：2018-11-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流量控制装置(100)，具备：压力控制阀(6)，其设置于流路；流量控制阀(8)，其设置在压力控制阀的下游侧；以及第一压力传感器(3)，其对压力控制阀的下游侧且流量控制阀的上游侧的压力进行测定，流量控制阀具有：离接于阀座(12)的阀体(13)；用于使阀体移动以使阀体离接于阀座的压电元件(10b)；以及设置于压电元件的侧面的应变传感器(20)，其构成为基于从第一压力传感器(3)输出的信号控制压力控制阀(6)，基于从应变传感器(20)输出的信号控制流量控制阀(8)的压电元件的驱动。
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公开(公告)号：CN111373340A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201880074626.3
申请日：2018-11-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明涉及一种流量控制装置的自我诊断方法，包括：工序(a)，从流量控制阀(8)的开度为节流部以上的开度且流体从压力控制阀(6)的上游侧流动的状态，使压力控制阀变化为闭状态，测定变化之后的压力下降特性；工序(b)，从流量控制阀的开度为小于节流部的开度且流体从压力控制阀的上游侧流向下游侧的状态，使压力控制阀变化为闭状态，测定变化之后的压力下降特性；工序(c)，对在工序(a)测定的压力下降特性和对应的基准压力下降特性进行比较，判断有无异常；工序(d)，对在工序(b)测定的压力下降特性和对应的基准压力下降特性进行比较，判断有无异常；和工序(e)，仅只在工序(d)判断存在异常的情况下，判断流量控制阀存在异常。
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公开(公告)号：CN109477586B
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201780021785.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流孔内置阀(10)，其具备：基部(2)，其具有收容凹部(2A)、第一气体流路(21)以及第二气体流路(22)；阀座体(12)，其具有环状的阀座(12b)以及贯通孔(12a)；内盘(13)，其保持阀座体；阀体(11a)，其能够抵接于阀座；以及流孔体(14)，其包括流孔(18)；收容凹部为具有扩径部(2W)和狭径部(2N)的阶梯状的凹部，阀座体(12)通过被内盘(13)按压而保持固定在流孔体上，第一气体流路(21)通过狭径部的壁面和流孔体之间与阀室(10a)连通，第二气体流路(22)经由流孔体的贯通孔以及阀座体的贯通孔与阀室(10a)连通。
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公开(公告)号：CN110178002A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201780080827.X
申请日：2017-12-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22 , B01J4/00 , C23C16/448 , G05D9/12 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。
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公开(公告)号：CN106537275B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201580020604.5
申请日：2015-07-09
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/776
Abstract: 本发明提供了一种压力式流量控制装置，其能够在流体流量控制中，实现缩短切换流量时的降落响应时间，提高降落响应特性。压力式流量控制装置具有：主体(4)，其设置有连通流体入口(1)和流体出口(2)之间的流体通路(3)；压力控制用控制阀(5)，其以水平姿势固定于主体(4)并对流体通路(3)进行开关；开关阀(6)，其以垂直姿势固定于主体(4)并对压力控制用控制阀(5)的下游侧的流体通路(3)进行开关；流孔(7)，其设置于开关阀(6)的上游侧的流体通路(3)；以及压力传感器(8)，其固定于主体(4)并检测压力控制用控制阀(5)和流孔(7)之间的流体通路(3)的内压，所述流体通路(3)具有：与压力控制用控制阀(5)连接的水平姿势的第一通路部(3a)、连接第一通路部(3a)和流孔(7)的垂直姿势的第二通路部(3b)、以及连接第二通路部(3b)和压力传感器(8)的水平姿势的第三通路部(3c)。
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