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公开(公告)号：CN114269966A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080059115.1
申请日：2020-09-03
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供一种气化供给装置(1)，具备：预加热部(2)，其对液体原料(L)进行预加热；气化部(3)，其配置于所述预加热部(2)的上部，且对从所述预加热部(2)送出的已被预加热的所述液体原料(L)进行加热并使其气化；流量控制装置(4)，其配置于所述气化部(3)的上部，用于对从所述气化部(3)所送出的气体(G)的流量进行控制；以及加热器(5)，其对所述预加热部(2)、所述气化部(3)以及所述流量控制装置(4)进行加热。
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公开(公告)号：CN113647008A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025996.5
申请日：2020-04-20
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种具备不停止驱动装置的通常动作，就能够检测在驱动装置中使用的压电元件的劣化的压电元件的劣化检测电路的驱动装置以及劣化检测方法。驱动装置(1)具备：压电元件(2)、电源部(3)、第一电阻(11)、第二电阻(12)、测定部以及控制部，第一电阻以及第二电阻的电阻值比压电元件的绝缘电阻值小，测定部在从电源部供给规定电压的状态下，测定第一电阻的两端的电压(第一端子(13)以及第二端子(14)之间的电压)，控制部(3)根据通过测定部的测定而得到的电压值计算压电元件的电阻值，基于所计算出的电阻值，判定压电元件是否发生了劣化。
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公开(公告)号：CN110914470A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201880046476.5
申请日：2018-07-20
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种为了对保持在不同温度的流体加热部适当地进行温度控制的流体控制装置(100)，其具备：在内部设置有流路或流体容纳部且相互连接的多个流体加热部(1)；以将多个流体加热部加热到不同温度的方式构成的加热器(10)；以及配置在邻接的流体加热部之间隔热部件(13、13’)。
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公开(公告)号：CN107532298B
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201680007156.X
申请日：2016-04-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/52 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。
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公开(公告)号：CN116348750A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202180064327.3
申请日：2021-11-02
Applicant: 株式会社富士金 , 日本电产科宝电子株式会社
IPC: G01L19/06
Abstract: 本发明提供一种压力传感器(10)，其具备：在内侧具有与流路连通的受压室(C1)的有底筒状的传感器模块(11)，该传感器模块(11)包括与受压室接触的隔膜(11a)；将隔膜(11a)的形变作为压力而输出的压力检测元件(12)；固定于传感器模块的开放侧端部(11c)的外缘并配置在传感器模块(11)的外周侧的基座环(14)；固定于基座环(14)，用于形成隔着隔膜(11a)而与受压室(C1)相向的密封真空室(C2)的密封部件(13)；夹持在基座环(14)与主体(5)之间的衬垫(18)；以及经由衬垫(18)将基座环(14)按压到主体(5)上的按压凸缘(19)。
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公开(公告)号：CN112771359A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201980059797.3
申请日：2019-10-02
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，其具备：以与流体通路(3)连通的状态而气密地安装于形成流体通路(3)的主体(4)上的筒状部件(5)；以及与筒状部件(5)连接并且对在主体(4)的流体通路(3)内流动的流体的压力进行检测的压力传感器部(6)，筒状部件(5)由镍钼铬合金材料或不锈钢材料所形成，压力传感器部(6)具备：具有流体流入的受压室(7)以及与流入受压室(7)的流体接触的隔膜(8a)，并且一端被隔膜(8a)闭塞的传感器主体(8)；以及将隔膜(8a)的位移作为压力而输出的压力检测元件(2)，传感器主体(8)由钴镍合金材料所形成，开口侧端部与筒状部件(5)的一端部气密地连接。
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公开(公告)号：CN110178002B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201780080827.X
申请日：2017-12-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G01F23/22 , B01J4/00 , C23C16/448 , G05D9/12 , H01L21/205 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种液面计(20)，具备：测温电阻体(R11)；位于其上方的温度测定体(R12)；检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27)；以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式，确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28)；使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22)；以及检测液面的位置的液面检测部(29)，液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上，从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此，能够高精度地检测液面的位置，而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。
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公开(公告)号：CN107532298A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680007156.X
申请日：2016-04-11
Applicant: 株式会社富士金
IPC: C23C16/448 , B01J4/00 , B01J7/02 , C23C16/52 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种可解除从气化器内通往流量控制装置的气体流路内被液体充满的不当情况的气化供给装置。该气化供给装置具备：气化器(2)，其将液体(L)加热而使其气化；流量控制装置(3)，其控制从气化器送出的气体的流量；第一控制阀(5)，其介入设置于液体向气化器(2)的供给路径(4)中；压力检测器(6)，其用于检测出在气化器(2)被气化并送往流量控制装置(3)的气体的压力；液体检测部(7A)，其测定气化器(2)内的超过预定量的液体的参数；以及控制装置(8)，其按照如下方式进行控制：以能够根据压力检测器(6)检测出的压力值向气化器(2)供给预定量的液体(L)的方式控制第一控制阀(5)，且在液体检测部(7A)检测到液体时，关闭第一控制阀(5)。
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公开(公告)号：CN102016740A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200980114746.2
申请日：2009-02-18
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7762
Abstract: 本发明提供一种具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路。在具备流量自身诊断功能的压力式流量控制装置的压力控制阀用压电元件驱动电路(5)中，与控制部的驱动电路并联地设置用于使控制阀高速关闭的关闭电路(8)，通过使流量自身诊断时的阀的关闭时间延迟减少，在流量自身诊断时获得高精度的诊断结果。
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公开(公告)号：CN110914959A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201880045775.7
申请日：2018-07-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/31 , C23C16/448 , H05B3/00
Abstract: 本发明提供一种为了使用加热器适当地进行原料的供给的流体控制装置(100)，其具备：在内部设置有流路或流体容纳部的流体加热部(1)；以及对流体加热部进行加热的加热器(10)，加热器具有发热体(10a)和金属制的传热部件(10b)，传热部件(10b)与发热体热连接，并以包围流体加热部的方式配置，传热部件的与流体加热部对向的面包含为了提高散热性而被表面处理了的面(S1)。
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