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公开(公告)号：CN110431508A
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201880018971.5
申请日：2018-03-20
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，具备：节流部；设置于节流部的上游侧的控制阀；检测节流部与控制阀之间的压力的上游压力传感器；以及与控制阀以及上游压力传感器连接的运算处理电路，压力式流量控制装置以如下方式构成：基于上游压力传感器的输出来进行控制阀的控制，由此进行流量控制，运算处理电路以如下方式构成：在为了使流过节流部的流体的流量降低而进行将控制阀关闭的动作时，通过反馈控制来进行将控制阀关闭的动作，反馈控制是将比气体从节流部流出时的压力下降特性数据还平缓的指数函数作为目标值。
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公开(公告)号：CN108027618A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680027495.4
申请日：2016-09-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
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公开(公告)号：CN113646620A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080023287.3
申请日：2020-03-31
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20)；具有测定单元(1)的流体单元(10)；以及连接电气单元(20)和流体单元(10)的光纤(11、12)，构成为通过用光检测器(24)检测出从光源(22)入射到测定单元并从测定单元出射的光而对测定单元内的流体的浓度进行测定，在电气单元(20)中，与光纤(11、12)连接的光连接部(32、34)和光源(22)或者光检测器(24)一体地设置。
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公开(公告)号：CN112470093A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980043297.0
申请日：2019-07-16
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明的流量控制系统(1)的控制部(3)，具备：记录压力传感器(P)和温度传感器(T)的测量值的记录部(31)；存储与压力传感器(P)的测量值对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积的存储部(32)；和基于第一压力值(P1)和第一温度值(T1)、第二压力值(P2)和第二温度值(P2)以及与第二压力值(P2)对应的从第一阀(V1)到第二阀(V2)为止的容积值(V)对流量进行运算的运算部(33)，其中，第一压力值(P1)和第一温度值(T1)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第一阀(V1)和第二阀(V2)同时关闭，此后测量得到的第一压力值(P1)和第一温度值(P2)，第二压力值(P2)和第二温度值(T2)为：将第一阀(V1)和第二阀(V2)打开让气体流动，在气体流动的状态下将第二阀(V2)关闭，此后，经过规定时间(Δt)后，将第一阀(V1)关闭后测量得到的第二压力值(P2)和第二温度值(T2)。
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公开(公告)号：CN108027618B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201680027495.4
申请日：2016-09-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109074104A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780005089.2
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
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公开(公告)号：CN114270169A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080058213.3
申请日：2020-08-31
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有光源(22)以及光检测器(24)的电气单元(20)；具有测定单元(1)的流体单元(10)；用于将来自光源的光传输到测定单元的第一光传输部件(11)；用于将来自测定单元的光传输到光检测器的第二光传输部件(12)；设置于流体单元的透镜(3A)，其被配置为来自第一光传输部件的光入射到第一位置，光从第二位置向第二光传输部件出射；测定在测定单元中流动的流体的压力的压力传感器(5)；以及检测在测定单元中流动的流体的浓度的运算电路(28)，为了降低由流体的折射率引起的测定误差，基于光检测器的输出和与压力传感器输出的压力以及流体的浓度建立关联的补正因子来计算流体的浓度。
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公开(公告)号：CN113260850A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202080007907.4
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具备：具有供气体流动的流路的测定单元(4)；发出向测定单元的入射光的光源(1)；检测从测定单元出射的光的光检测器(7)；检测测定单元内的气体压力的压力传感器(20)；检测测定单元内的气体温度的温度传感器(22)；基于压力传感器的输出(P)、温度传感器的输出(T)、光检测器的输出(I)以及吸光系数(α)运算气体的浓度的运算电路(8)，运算电路(8)构成为：使用基于温度传感器(22)的输出而决定的吸光系数(α)来运算浓度。
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公开(公告)号：CN109074104B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201780005089.2
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种流体控制装置，其具备流体控制模块和外部控制模块，流体控制模块具有流路上的控制阀、驱动控制阀的阀驱动电路、流路上的流体测量器、处理从流体测量器输出的信号的第一处理器，外部控制模块具有第二处理器，该第二处理器处理第一处理器输出的信号，第二处理器根据从第一处理器输出的流体测量器的信号输出阀控制信号，阀控制信号不通过第一处理器，而是被直接输入到阀驱动电路，阀驱动电路根据来自第二处理器的阀控制信号，输出驱动控制阀的驱动电压。
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公开(公告)号：CN108139760A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680042129.6
申请日：2016-10-24
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种适用于通过控制节流部的上游侧的压力来控制流量的压力式流量控制装置的流量信号补正方法，其包括：基于设置于节流部的上游侧的压力传感器的输出而生成表示流量的一次信号的步骤；和以用一次信号的当前值和包含一次信号的单个或多个过去值的信息的值，导出通过规定的关系式补正过的当前值的方式，生成作为一次信号的补正信号的二次信号的步骤，在流量稳定期间将二次信号作为流量信号输出，在过渡变化期间不将二次信号作为流量信号输出。
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