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公开(公告)号：CN113847886B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111193022.0
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02015
Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。
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公开(公告)号：CN113878537A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111194455.8
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制装调装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调装置用于保证大批量装配的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。吊装盘组件、轮毂调节组件和光源组件从上到下依次安装在支架上，相机调节组件设置在吊装盘组件的正上方，吊装盘组件用于将镜筒吊装在相机调节组件和轮毂调节组件之间，光源组件发出的平行光经轮毂调节组件筛选后，经镜筒反射后聚焦于相机调节组件的相机成像平面上，根据相机所形成的光斑位置调节镜筒或者轮毂调节组件的轮毂。本发明避免了人为操作引入的不规范性，实现了装调的一致性和可靠性，保证了装配过程中镜片的低变形，节省人力，提高整体装调效率。
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公开(公告)号：CN113847886A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111193022.0
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。
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公开(公告)号：CN111536150B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202010421285.1
申请日：2020-05-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为了提供一种结构稳定性好、超高精度的流体静压轴承，本发明记载一种表面节流的流体静压轴承，包括轴套、主轴、上辐板和下辐板，轴套套设在主轴上，上辐板和下辐板分别位于轴套的上方和下方并均固定在主轴上，上辐板、下辐板与主轴承“工字型”结构，轴套与主轴之间上下设置有相互连通的环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ结构相同且相互对称，环形孔缝Ⅰ和环形孔缝Ⅱ的纵剖面均呈阶梯状结构；轴套上设置有进孔和出孔，进孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通，出孔与环形孔缝Ⅰ或环形孔缝Ⅱ连通。本发明润滑介质可以是液体或气体，本发明无需额外安装节流器，极大的提高了装配效率和可靠度，轴承结构简单可靠，易于加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105004286B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201510255809.3
申请日：2015-05-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 一种基于激光束衍射光斑特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量方法，其步骤如下：一、将激光器预热；二、将激光器、线性衰减片、小孔光阑、透镜、CCD相机调整在同一高度；三、将工件安装在回转工作台上，打开激光器，激光器输出的激光束依次经线性衰减片和小孔光阑后照射到工件表面，转动回转工作台以调整激光束的入射角度；四、激光束在工件表面发生衍射现象，产生衍射光斑，衍射光斑按照不同级次分布开，通过透镜后，被调整为平行光束；五、CCD相机采集衍射光斑图像，得到各级衍射光斑的强度和位置关系，再利用光栅方程计算出表面三维微观形貌的大小。本发明光路系统调整简单，对测量环境要求不严格，可以在加工现场使用该方法。
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公开(公告)号：CN106563970A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610988371.4
申请日：2016-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q17/00
CPC classification number: B23Q17/007 , B23Q17/00
Abstract: 本发明公开了一种液体静压导轨油腔压力分布的检测方法，所述检测方法为：一、通过液压站将液压油经过进油通道、节流器送入各个油腔，使导轨运动件浮起来；二、使导轨运动件运动到油腔压力测量位置，油腔内的压力油进入压力测量通道内，压力传感器以油压信号为输入，开始读出油腔内一定位置的压力值，经过信号处理并实时显示；三、此后使导轨运动件每次运动一个小位移后都记录对应位置的油腔压力，得到液体静压导轨油腔内的压力分布曲线；四、根据得到的压力分布曲线，研究油腔压力分布对液体静压导轨性能的影响。本发明通过在液体静压导轨上布置油腔压力测试点，有效地解决了液体静压导轨油腔内压力分布的检测问题。
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公开(公告)号：CN103258709B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201310177075.2
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法。它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一：圆盘形电极架外圆面上竖直设置有多片薄片形电极；步骤二：将待加工碳化硅密封环类零件装卡在地电极上；步骤三：使每片薄片形电极的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：控制所有薄片形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对那些表面微结构形状具有周期重复性的密封环类零件表面进行高精度、高效率的加工。
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公开(公告)号：CN105180825A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510255807.4
申请日：2015-05-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于可见光反射光谱特性的超精密车削加工表面三维微观形貌测量装置，由笔记本电脑、准直透镜、线性衰减片、小孔光阑、被测工件、回转工作台、透镜、光纤测头、电动位移台、光谱仪、钨卤素灯光源组成；被测工件安装在回转工作台上，光纤测头安装在电动位移台上，钨卤素灯光源提供的可见光通过光纤输出作为入射光，依次经准直透镜准直调整、线性衰减片强度调整、小孔光阑调制后照射到被测工件上，由于入射光在被测工件表面发生色散现象，被测工件表面的可见光反射光谱通过透镜变为平行光后被光纤测头测量，测量结果由光谱仪输入到笔记本电脑中。该测量装置光路调整方便，测量精度高，对测量环境要求不严格，具有便携性，可以在加工现场使用。
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公开(公告)号：CN103231418A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177067.8
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B26F3/06
Abstract: 模块化电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法，它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的步骤一：圆盘形电极架的面上设置有多个薄片形电极模块的安装孔；步骤二：待加工碳化硅密封环类零件装在地电极上；步骤三：薄片形电极模块的下端面都靠近待加工表面；步骤四：预热；步骤五：通入混合气体，启动射频电源；步骤六：控制薄片形电极模块的运动轨迹；步骤七、取出待加工碳化硅密封环类零件。本发明能对那些表面要求比较高的、加工难度比较大的、需要多个工序才能完成加工的密封环类零件表面进行先均匀的大去除、然后局部修琢的小去除、最后刻蚀微结构的高精度、高效率的加工。
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