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公开(公告)号：CN115194955A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210988689.8
申请日：2022-08-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种碳化硅陶瓷深小孔的超精密加工方法，属于机械加工技术领域，具体包括以下步骤：步骤一、将碳化硅陶瓷块固定在超声辅助磨削机床上；步骤二、在轴向超声振动作用下加工若干个与刀具同直径的深小孔Ⅰ，并留出余量Ⅰ；刀具进给速度为25‑35mm/min，主轴转速为6000‑10000rpm，在入口处降低进给速度至20mm/min，增大主轴转速至10000rpm；步骤三、在出口处降低进给速度至20mm/min，增大主轴转速至10000rpm，并留出余量Ⅱ；步骤四、在轴向超声振动作用下去除余量Ⅰ和余量Ⅱ，刀具进给速度为15‑20mm/min，主轴转速为8000‑10000rpm，获得碳化硅陶瓷深小孔Ⅱ。
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公开(公告)号：CN111595517B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010496833.7
申请日：2020-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/38
Abstract: 本发明公开了一种金刚石微径铣刀动平衡测试与修正系统，所述系统包括微磨削工作台和动平衡测量工作台两部分，其中：所述微磨削工作台包括精密气浮隔振平台、底座、精密运动台、压电陶瓷、电控旋转台、弹簧夹头、CCD相机、CCD安装架、竖直方向一维精密导轨、连接板、二维精密运动平台A、磨削轴安装架、高速磨削主轴、气动夹头A、砂轮磨头、二维精密运动平台B；所述动平衡测量工作台包括光电传感器、工控机、振动传感器、动平衡主轴、气动夹头B和动平衡仪。该系统可以对微铣刀进行动平衡的检测和不平衡量的处理，可以解决金刚石微铣刀在制备或磨损后由于动不平衡量导致微铣削加工过程中精度降低的难题。
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公开(公告)号：CN114034247A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111370970.7
申请日：2021-11-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于球坐标测量原理的高精度球度仪，属于球度精密测量技术领域。它提供一种检测精度高，检测全面的基于球坐标测量原理的高精度球度仪；该高精度球度仪，包括高精度卧式主轴、非接触式位移传感器及高精度气体静压转台；所述非接触式位移传感器通过夹具一安装在高精度卧式主轴上，所述被测工件通过夹具二安装在高精度气体静压转台上，所述高精度卧式主轴的回转轴和高精度气体静压转台的回转轴相互垂直设置，通过控制着两个相互垂直回转轴的旋转运动可以模拟出球面的成型轨迹，用于完成球面的完整测量。本发明具有更好的精度，无需担心测量角度的问题，能适应全球面检测，可以兼顾直径大小不同的工件。
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公开(公告)号：CN113511627A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110789807.8
申请日：2021-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、利用FIB技术加工金刚石探针针尖，在探针尖端加工出凸起阵列；步骤二、将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统中的扫描陶管上，在敲击模式下，探针在扫描陶管驱动下以探针谐振频率沿垂直方向振动敲击样品，使样品发生变形，通过扫描陶管控制探针在X‑Y平面运动，加工出纳米点阵。该方法利用结构化探针加工纳米点阵，一次压痕能够加工出多个纳米点，有效提高了加工效率，克服了相邻压痕挤压作用的影响，而且采用敲击模式实现纳米点的高效加工。
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公开(公告)号：CN112296368A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011269485.6
申请日：2020-11-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于压电陶瓷的宏微复合金刚石车刀高度调节刀架，涉及一种车刀刀架。柔性铰链整体为n形结构，两侧设有两个竖向支臂，中间位置顶部设有平板，平板与两个竖向支臂之间通过圆弧形柔性铰链部连接为一体，底板固定在两个竖向支臂底部，压电陶瓷固定在底板上且顶部与平板下表面接触，平板上固定金刚石车刀安装板，支撑板顶部设有水平翼并转动连接调高螺栓，其中一个竖向支臂顶部设有调高螺纹孔，调高螺栓与调高螺纹孔旋接配合，支撑板固定有锁紧T型块和导向块，其中一个竖向支臂设有T型槽和导向槽，支撑板底部固定刀架底座。简单方便，精度较高，有效控制超精密切削中金刚石车刀前刀面的高度调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110262309B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910368973.3
申请日：2019-05-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042 , B82B3/00 , B82Y40/00 , G01B7/02 , G01B7/28
Abstract: 本发明公开了一种适用于微纳检测加工模块的控制系统及方法，所述系统包括微纳双模检测加工模块、三坐标工作台、PZT驱动器、UMAC、电荷放大器、锁相放大器、XY压电扫描台、路由器、上位机、CCD、XY向位移传感器和Z向位移传感器。本发明选用UMAC作为控制核心，利用其高性能伺服环、可扩展性强、集成度高特点，实现宏‑微联动控制，采用模拟信号方式，保证信号处理、传输的实时性，满足设计需求。本发明通过对电容式位移传感器信号放大、锁相处理，作为闭环控制参考信号，该方式测试结果精确、对测试环境要求较低，可以实现μN级闭环控制。锁相放大器的使用排除了电容式位移传感器测试结果中的噪声信号，利于闭环精确控制。
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公开(公告)号：CN108253893B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810064688.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种大量程高精度微接触力位移测量装置及其控制方法，涉及一种高精度位移检测装置及控制方法。音圈电机的动子与气浮导轨移动部件一端连接，音圈电机的定子与气浮导轨基座连接，气浮导轨基座右上端设有中空腔，气浮导轨移动部件滑动设置在气浮导轨基座的中空腔内，光栅尺与气浮导轨移动部件连接，读数头与气浮导轨基座连接；压电陶瓷执行器首端与气浮导轨移动部件另一端连接，压电陶瓷执行器末端与微力传感探针连接，辅助监控显微镜与压电陶瓷执行器的固定基座连接。本发明用于大量程高精度微接触力位移测量，可对毫米尺度精密零件及装配体的尺寸及形状精度等几何量进行纳米精度的无损测量。
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公开(公告)号：CN108253893A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810064688.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种大量程高精度微接触力位移测量装置及其控制方法，涉及一种高精度位移检测装置及控制方法。音圈电机的动子与气浮导轨移动部件一端连接，音圈电机的定子与气浮导轨基座连接，气浮导轨基座右上端设有中空腔，气浮导轨移动部件滑动设置在气浮导轨基座的中空腔内，光栅尺与气浮导轨移动部件连接，读数头与气浮导轨基座连接；压电陶瓷执行器首端与气浮导轨移动部件另一端连接，压电陶瓷执行器末端与微力传感探针连接，辅助监控显微镜与压电陶瓷执行器的固定基座连接。本发明用于大量程高精度微接触力位移测量，可对毫米尺度精密零件及装配体的尺寸及形状精度等几何量进行纳米精度的无损测量。
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公开(公告)号：CN104596461B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510049200.0
申请日：2015-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于检测三轴金刚石车床定位精度的特征样件及方法。所述特征样件包括基座和固定在基座上端的特征主体，所述基座为扁圆柱体，所述基座的上表面外边缘周向均布十二个凹槽；所述特征主体包括五个同轴设置的扁圆柱体且从上至下直径递增，相邻两个扁圆柱体之间的边缘形成台阶，所述基座与特征主体同轴设置。测量方法：使用T形布局的三轴金刚石车床加工特征样件；加工完成后，采用三坐标测量机测量特征样件的台阶高度面、圆柱直径和凹槽中心线；根据检测结果，推断出三轴金刚石车床的定位精度。本发明所设计样件具有结构简单、加工方便、且能有效反映出定位精度等特点。
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公开(公告)号：CN105758343A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610145389.8
申请日：2016-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/27
CPC classification number: G01B11/27
Abstract: 基于双标准球的主轴回转中心标定装置及方法。机床上有X轴导轨和Z轴导轨，C轴有安有3R夹具的矩形支撑座和吸有标准球一的真空吸盘，过渡件与3R夹具和标准球二连接；测量传感器固定件在Y轴升降台前且安有白光共焦位移传感器。调节标准球一位置，驱动C轴和白光共焦位移传感器，对准标准球一球冠位置，记录位置PR(x,y)，设为标准球一回转中心位置；将3R夹具和标准球二安在支撑座上，执行标准球二球冠顶点扫描，调整白光共焦位移传感器位置，使得白光共焦位移传感器对准标准球二的球冠位置，记录位置PS(x,y)，设为标准球二参考中心位置；做差得到ΔP。本发明保障了在位检测装置的使用寿命并避免了加工过程中的机械部件干涉问题。
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