公开(公告)号：CN215494219U

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202120675493.4

申请日：2021-04-01

Applicant: 南京大学

Inventor： 姜校顺 ,  顾佳新 ,  李知轩

IPC: G02B6/125 ,  G02B6/122

Abstract: 本实用新型公开了一种片上集成波导的微盘腔。该微盘腔包括：氧化硅片；氧化硅片包括硅基衬底和氧化硅半导体层；氧化硅半导体层包括功能区和非功能区；功能区包括波导结构、微盘结构及位于微盘结构内的第一开口；非功能区包括第二开口；微盘结构与第一开口构成微盘腔；第一扩展腔和第二扩展腔；第一扩展腔由第一开口沿垂直于硅基衬底所在平面的方向延伸至硅基衬底内；第二扩展腔由第二开口沿垂直于硅基衬底所在平面的方向延伸至硅基衬底内；第一扩展腔与第二扩展腔连通；波导结构和微盘结构在硅基衬底的垂直投影位于第一扩展腔和第二扩展腔组成的连通结构内。本实用新型降低了光在波导结构中的传输损耗以及提高了微盘腔的品质因子。

公开(公告)号：CN209373172U

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201920269124.8

申请日：2019-03-04

Applicant: 南京大学

Inventor： 姜校顺 ,  顾佳新 ,  程欣宇 ,  李冠宇 ,  肖敏

IPC: G02B6/136 ,  G02B6/13

Abstract: 本实用新型提供一种用于干法蚀刻制备二氧化硅光学微盘腔的前驱体，所述前驱体包括由硅基底依次叠加的二氧化硅层、非晶硅或氮化硅层以及光刻胶层。通过所述前驱体制备得到的二氧化硅光学微盘腔尺寸大，且具有超高的品质因子。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN206788417U

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201720475108.5

申请日：2017-05-02

Applicant: 南京大学

Inventor： 姜校顺 ,  范会博 ,  张巽 ,  肖敏

IPC: G02B6/35 ,  G02B6/293

Abstract: 本实用新型实施例公开了一种光开关。光开关包括微腔结构、微光纤结构、至少一层吸光性薄膜以及调节结构；调节结构与微腔结构、微光纤结构和吸光性薄膜连接，调节吸光性薄膜与微腔结构、微光纤结构与微腔结构之间的距离；微腔结构呈环形设置，吸光性薄膜沿垂直于环形的微腔结构所在平面的方向与微腔结构相对设置，与微腔结构耦合，根据与微腔结构之间的距离，控制微光纤结构与微腔结构之间的耦合状态；微光纤结构位于环形的微腔结构所在平面内与微腔结构相对设置，与微腔结构耦合，根据与微腔结构之间的耦合状态，控制光开关的开关状态。通过本实用新型的技术方案，实现了光开关的开关功能，且形成的光开关易于集成，消光比大且灵敏度高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利