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公开(公告)号:CN209673693U
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201822104266.7
申请日:2018-12-14
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种机械密封式微型热导检测器,属于微电子机械系统领域。通过中心开槽的有机玻璃盖板与有机玻璃底座的螺栓固接,将位于其间的硅胶垫片、玻璃片、橡胶密封圈、硅基底压紧整合形成热导检测器的气体通路及微型热导池,并通过背部空气腔、大小橡胶圈形成的空气腔、悬空薄层氮化硅支撑层的设计最大化减小热敏电阻热损。同时,单一热导池中热敏电阻梳状结构的交错布置方式保证了电桥对角臂热敏电阻温度一致;螺栓连接密封规避了高温高压键合过程。从而使微型热导检测器设计在具有低功耗、高精度性能的基础上,简化了加工工艺,提高了稳定性及坚固性,有效节约了加工成本,提高了经济效益。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN209045535U
公开(公告)日:2019-06-28
申请号:CN201821350485.7
申请日:2018-08-21
Applicant: 华北电力大学(保定) , 北京工业大学
IPC: H01L23/427
Abstract: 微针肋簇阵列微通道微型换热器,属于于微电子技术强化换热领域。本装置结构包括依次堆叠封装在一起的封装片1),基板(2);封装片(1)上开有与外部管路连接的流体入口(3)和流体出口(4);基板正面加工微针肋簇阵列微通道(5)、入口储液池和出口储液池。微针肋簇阵列内微针肋簇单元顺列布置,X方向间距L和Y方向间距Lb,以及微针肋簇单元结构尺寸X方向La和Y方向H,均可根据实际需求通过优化设计经MEMS加工技术实现。本实用新型相比较一般微通道微型换热器,可满足更大功率电子芯片的散热,具有沸腾起始点壁面温度更低,流动沸腾压力降更低,芯片上温度分布均匀性更高等优点,使高热流电子器件实现更高效热管理。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN205079623U
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201520684676.7
申请日:2015-09-06
Applicant: 北京工业大学
IPC: F27D17/00
CPC classification number: Y02P10/265 , Y02P10/283
Abstract: 一种基于单螺杆膨胀机回收石灰窑废气余热的发电-供热联合系统,属于余热余压能源利用领域。石灰窑废气通过烟气进口进入沉降室、蒸发器,被低温水冷却后通过蒸发器烟气出口进入原有石灰窑废气烟道,通过除尘器和主抽风机从烟囱排出;通过给水泵泵入蒸发器的水吸收烟气余热后转化成高温高压蒸汽,蒸汽进入单螺杆膨胀机并带动发电机发电;热用户的低温水进入蒸发器吸收废气余热,供给热用户,转化为低温水,然后再次进入蒸发器完成循环。高温高压蒸汽通过单螺杆膨胀机膨胀后转化为低温低压汽水混合物,然后进入冷凝器冷却,再泵入蒸发器完成循环;冷凝器采用冷却塔和循环冷却水泵进行循环冷却。最终实现石灰窑废气余热发电与供热。
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公开(公告)号:CN2859806Y
公开(公告)日:2007-01-17
申请号:CN200620001679.7
申请日:2006-01-24
Applicant: 北京工业大学
Inventor: 夏国栋
Abstract: 流体横掠针肋阵列式微型换热器,属于微电子技术领域,涉及一种冷却装置。本装置包括有依次重叠封装在一起的过流片(1),出流导流片(2),入流导流片(3),传热片(4);过流片上开有与外部管路连接的流体入口(5)和流体出口(6);出流导流片上设有出流通道(7),流体入口(8)和流体出口(9),入流导流片(3)上在与过流片上的流体入口(5)相对应的位置也设有流体入口(10),其上还设有导流桥(11)、入流缝(12)和出流缝(13),传热片上设有入流通道(14)和针肋阵列(15)。本实用新型的微型换热器基于流体横掠针肋阵列对流换热理论,是强化发热器件表面散热、提高被冷却表面温度分布的均匀性的有效装置。
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