一种黑硅电池的制造方法和装置

    公开(公告)号:CN105957919A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610390399.8

    申请日:2016-06-02

    Inventor: 叶飞 蒋方丹 金浩

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/02168

    Abstract: 本发明公开了一种黑硅电池的制造方法和装置,其中,制造方法包括:包括:步骤1,对经过P扩散的P型金刚线硅片的背面进行刻蚀,去除所述P型金刚线硅片上的PSG和边缘pn结;步骤2,对所述P型金刚线硅片进行氧化,所述P型金刚线硅片的四周的O2流过的浓度的低于中心区域的O2流过的浓度;步骤3,对所述P型金刚线硅片的正面PECVD沉积两层减反射膜。所述黑硅电池的制造方法以及装置,通过在氧化过程中使得金刚线硅片的中心处沉积的氧化层的厚度高于四周的厚度,在后续的PECVD沉积两层减反射膜中,两层减反射膜的四周的厚度大于中心区域的厚度,这样使得金刚线硅片的表面的膜厚均匀,颜色均匀,改善了P型金刚线硅片的品质。

    一种背结晶硅异质结太阳电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN105932075A

    公开(公告)日:2016-09-07

    申请号:CN201610311943.5

    申请日:2016-05-12

    Applicant: 南昌大学

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/02168 H01L31/022441

    Abstract: 一种背结晶硅异质结双面太阳电池及制备方法,其结构从迎光面开始依次为:迎光面栅线状电极、高透过率减反射薄膜、重掺杂晶体硅背场层、硅片、本征非晶硅基薄膜钝化层、重掺杂非晶硅薄膜发射极、透明导电薄膜层,背光面栅线状电极。首先硅片制绒清洗,然后依次制备重掺杂晶体硅背场层、高透过率减反射薄膜、迎光面栅线状电极;硅片的背光面再次清洗,再制备本征非晶硅基薄膜钝化层、重掺杂非晶硅薄膜发射极、透明导电薄膜层、背光面栅线状电极制备。相对于双面异质结HIT结构,本发明可增大太阳电池的短路电流,减少串联电阻,获得更高转换效率,减少了至少一半甚至全部ITO用量,减少了部分银用量,与现行晶体硅太阳电池产线技术兼容。

    一种减反结构与石墨烯复合透明导电薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN105870260A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610375797.2

    申请日:2016-05-31

    CPC classification number: Y02P70/521 H01L31/1884 H01L31/02168

    Abstract: 本发明公开了一种减反结构与石墨烯复合透明导电薄膜的制备方法,涉及材料化学领域。具体通过在基底材料上制备具有纳米结构的减反射结构,并通过铜颗粒远程催化化学气相沉积方法直接在减反结构上可控生长高质量石墨烯,获得减反结构与石墨烯复合透明导电薄膜。通过此方法制备的新型复合透明导电薄膜,一方面保持了石墨烯本身的高导电性和高光学透过率、且化学性质稳定、柔韧好、导热性好、原料成本低等优势,另一方面通过与减反结构的复合,有效地减少太阳光在导电膜表面的反射损失,实现复合薄膜的高透光性和高导电性,制备的材料可用作太阳能电池窗口电极材料应用到光伏、导电等诸多领域。

    一种背结晶硅异质结双面太阳电池及制备方法

    公开(公告)号:CN105810771A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201610311944.X

    申请日:2016-05-12

    Applicant: 南昌大学

    Abstract: 一种背结晶硅异质结双面太阳电池及制备方法,其结构从迎光面开始依次为:迎光面栅线状电极、高透过率减反射薄膜、重掺杂晶体硅背场层、硅片、本征非晶硅基薄膜钝化层、重掺杂非晶硅薄膜发射极、透明导电薄膜层,背光面栅线状电极。先进行硅片的制绒清洗,然后依次制备重掺杂晶体硅背场层、高透过率减反射薄膜、迎光面栅线状电极;硅片的背光面再次清洗,再制备本征非晶硅基薄膜钝化层、重掺杂非晶硅薄膜发射极、透明导电薄膜层、背光面栅线状电极制备。相对于双面异质结HIT结构,本发明可增大太阳电池的短路电流,获得更高转换效率,减少了至少一半甚至全部ITO用量,减少了部分银用量,与现行晶体硅太阳电池产线技术兼容,减少了设备成本。

    太阳能电池及其制造方法
    80.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103296093B

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201210519515.3

    申请日:2012-12-06

    Abstract: 太阳能电池及其制造方法。根据本发明的实施方式的太阳能电池包括:第一导电类型的基板;与所述第一导电类型相反的第二导电类型的发射极区,其被设置在所述基板处;减反射层,其包括暴露所述发射极区的第一开口以及暴露所述发射极区并且彼此分离的多个第二开口;第一电极,其被设置在通过所述第一开口暴露的所述发射极区的第一部分上,并连接至所述第一部分;第一总线条,其被设置在通过所述多个第二开口暴露的所述发射极区的第二部分上,并连接至所述第二部分和所述第一电极;以及第二电极,其被设置在所述基板上,并连接至所述基板。

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