电子装置用构件和电子装置的制造方法、以及电子装置用构件

    公开(公告)号:CN103838037A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201310263488.2

    申请日:2013-06-27

    Abstract: 本发明涉及电子装置用构件和电子装置的制造方法、以及电子装置用构件,该制造方法包括如下的工序:层叠工序,将一对层叠体夹着第一密封材料和第二密封材料在减压下层叠,所述层叠体具有基板和可剥离地贴合于前述基板的加强板,所述基板具有用于形成电子装置的一个以上元件形成区域,所述第一密封材料配置于前述元件形成区域的周囲,所述第二密封材料配置于前述第一密封材料的聚集区域的外侧且具有框状形状;固化工序,将前述第一密封材料和前述第二密封材料固化;剥离工序,从前述基板剥离前述加强板。

    含氟共聚物的制造方法
    74.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103694397A

    公开(公告)日:2014-04-02

    申请号:CN201310415145.3

    申请日:2013-09-12

    Abstract: 本发明提供可高效地将从包含含氟共聚物和未反应单体的混合物中回收的未反应单体再次用于聚合的含氟共聚物的制造方法。该含氟共聚物的制造方法包括:(Ⅰ)在聚合引发剂的存在下将具有羧酸型官能团或磺酸型官能团的含氟单体与含氟烯烃在聚合介质中聚合,获得包含含氟共聚物、未反应单体和聚合介质的混合物的工序;(Ⅱ)将该混合物连续或间断地移送至带搅拌机的蒸发容器中的同时,在该蒸发容器中一边搅拌一边加热,从而使未反应单体和聚合介质蒸发并进行回收的工序;(Ⅲ)加热该回收混合液,对聚合引发剂进行分解处理的工序。

    板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置

    公开(公告)号:CN103630552A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201310372689.6

    申请日:2013-08-23

    Abstract: 本发明提供一种检查板状体的缺陷并且能够获取缺陷的产生和附着位置的板状体的缺陷检查方法以及缺陷检查装置。根据本发明,首先,将玻璃板以靠基座放置的方式搭载于基座。接着,获取坐标原点。即,获取对玻璃板的四个角部中的一个角部照射来自激光指针的点光的位置作为坐标原点。接着,使与基座相对置地配置的观察光学部沿着滑轨水平移动,并且使基座升降移动,通过观察光学部发现搭载于基座的玻璃板的缺陷。接着,从激光指针向由观察光学部发现的缺陷的位置照射点光。而且,通过控制部计算点光在玻璃板的表面上的照射位置的坐标位置并存储到RAM。

    EUV光刻用反射型掩模基板及EUV光刻用反射型掩模

    公开(公告)号:CN102089860B

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN200980127898.6

    申请日:2009-07-10

    CPC classification number: G03F1/24 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明提供来自掩模图案区域外侧的区域的反射光所造成的影响得到抑制的EUV掩模及用于该EUV掩模的制造的EUV掩模基板。EUV光刻(EUVL)用反射型掩模在衬底上具有掩模图案区域和位于该掩模图案区域的外侧的EUV光吸收区域,所述掩模图案区域中在所述衬底上具有反射EUV光的反射层,该反射层上存在包括吸收EUV光的吸收体层的部位和不包括所述吸收体层的部位,包括所述吸收体层的部位和不包括所述吸收体层的部位的配置形成掩模图案,该掩模的特征在于,来自所述吸收体层表面的EUV反射光的反射率为5~15%,来自所述EUV光吸收区域表面的EUV反射光的反射率在1%以下。

    光学玻璃、加压成形用预成形体及由预成形体制作的光学元件

    公开(公告)号:CN103570242A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310311006.6

    申请日:2013-07-23

    Inventor: 萱场德克

    CPC classification number: C03C3/068

    Abstract: 本发明涉及光学玻璃、加压成形用预成形体及由预成形体制作的光学元件。本发明涉及一种光学玻璃,其中,以基于氧化物的质量%计,含有:10~20%的B2O3、0.5~12%的SiO2、5~19%的ZnO、3~17%的Ta2O5、0.2~3%的Li2O、0.6~4.9%的ZrO2、6.1~20%的WO3、32.5~50%的La2O3、0.2%以上且小于1.5%的Y2O3,La2O3的含量相对于Y2O3的含量的质量百分率(La2O3/Y2O3)为40%以上,并且具有折射率nd为1.83~1.88、阿贝数νd为39~42的光学常数。

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