基于系统建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法

    公开(公告)号:CN105318847A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201510770217.5

    申请日:2015-11-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于系统建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法。本发明对实验干涉系统进行建模,对应不同环带的非球面位置建立多结构模型,基于多结构模型建立优化函数,以实际测得的各个环带波前Zernike系数同时作为优化目标,以模型中各个环带波前Zernike系数为因变量,以非球面全口径面形误差为自变量。以各个非球面环带对应的被测面位置作为约束条件,执行优化函数使得模型中各环带波前Zernike系数趋近于实际测量值,则认为模型中被测面全口径面形误差接近实际被测值,从而得到被测面全口径面形误差。本发明无需专门的形态拼接操作,并且不需要重叠区,减少了可能需要的子孔径数目,增加了拼接精度。

    一种微观缺陷三维尺度逆向标定及检测方法

    公开(公告)号:CN104833679A

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201510217110.8

    申请日:2015-04-29

    Abstract: 本发明公开了一种微观缺陷三维尺度逆向标定及检测方法。本发明具体步骤如下:1、通过FDTD仿真软件建立仿真缺陷模型和仿真缺陷暗场散射模型;对缺陷进行电磁场仿真;外推获得仿真缺陷模型在光学成像系统像面上的理想光强分布;提取理想光强分布特征;在理想光强分布中加高斯型光学系统像差模型;构建多维特征参数向量并创建仿真模型样本库。2、元件缺陷暗场散射成像,显微成像系统采集缺陷图像;提取缺陷图像中垂直于待测缺陷长度方向的灰度分布;提取灰度分布中的灰度分布特征。3、建立相似度评价函数;搜寻仿真模型样本库中特征参数向量;判断相似度是否达到要求。本发明易于操作且具有较高的检测效率,能够达到纳米量级的纵向分辨率。

    一种高光谱分辨率激光雷达装置

    公开(公告)号:CN103308926B

    公开(公告)日:2015-07-22

    申请号:CN201310244136.2

    申请日:2013-06-18

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: Y02A90/19

    Abstract: 本发明公开了一种高光谱分辨率激光雷达装置,本发明的锁频系统将基于视场展宽迈克尔逊干涉仪滤光器锁频至单频偏振脉冲激光器后,单频偏振脉冲激光器发射的光束经过扩束镜后,经反射镜a、b发射到被探测大气中;受大气分子和气溶胶粒子的散射,产生激光雷达回波信号;激光雷达回波信号由望远镜收集,通过光学滤波器滤除天空背景辐射后,经分光镜分光,一路信号被反射进入光电探测器a,另一路信号透射到偏振分光棱镜b后分为两路,S偏振信号被反射进入光电探测器b,P偏振信号透射到高光谱分辨率滤光器;P偏振信号经过基于视场展宽迈克尔逊干涉仪滤光器后被光电探测器c接收。本发明不受波长限制、视场角大、激光雷达回波信号搜集能力强。

    一种基于光通量约束的随机编码混合光栅

    公开(公告)号:CN104656173A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201510066327.3

    申请日:2015-02-09

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G02B5/18 G01J9/02 G02B5/1857

    Abstract: 本发明公开了一种基于光通量约束的随机编码混合光栅。本发明包括不透明掩膜S2和透明基底S1;掩膜S2覆盖在基底S1上的部分区域,使得光栅上每个面积为S的正方形区域的光通量满足 分布,其中为所述随机编码混合光栅的栅距,并且在各个面积为S的正方形区域内掩膜区块呈随机排布;另对基底S1上范围内且无掩膜覆盖区域的基底加以刻蚀,所述刻蚀深度使得通过刻蚀区域透光部分的光波相对于未刻蚀基底透光部分的光波超前π相位。本发明一方面省略了传统交叉光栅四波前横向剪切干涉中的级次选择窗口,简化系统结构的同时提高了系统稳定性,另一方面在形成的四波前横向剪切干涉图中也减少了其他衍射级次的干扰,提高了对待测波前的检测精度。

    一种FP干涉型光谱滤波器谐振频率锁定装置及方法

    公开(公告)号:CN103809167A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410025290.5

    申请日:2014-01-20

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G01S7/491 G01S17/95

    Abstract: 本发明公开了一种FP干涉型光谱滤波器谐振频率锁定装置及方法。本发明包括激光器分束系统、FP干涉型滤波器系统和光电探测系统;激光器分束系统包括激光器、准直扩束器、第一分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第二分光镜、第三反射镜;FP干涉型滤波器系统包括FP干涉滤波器和频率谐调设备;光电探测系统包括第三分光镜、第一透镜、第二透镜、第一光电倍增管、第二光电倍增管、第三光电倍增管、差分放大器、示波器;具体包括如下步骤:1.计算两束探针光束的入射角;2.调节两束探针光束的入射角;3.查看示波器,判断锁频状态。本发明实现简单,能够避免传统锁频方法对电路和光路的复杂要求,从而具有较强的系统稳定性和鲁棒性。

    非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准方法

    公开(公告)号:CN103776388A

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201410010751.1

    申请日:2012-03-02

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束,平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后,一部分入射光被反射,反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板;另一部分入射光被透射,透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回;返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉,形成干涉图,经成像系统后成像于探测器处;调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度,使探测器得到零条纹干涉图,移去对准平板,实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题,减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。

    用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法

    公开(公告)号:CN102589416B

    公开(公告)日:2014-05-07

    申请号:CN201210067757.3

    申请日:2012-03-15

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G01B9/02041 G01B9/02039 G01B11/2441 G01M11/005

    Abstract: 本发明公开了一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法,包括一套可调谐激光器作为光源,一个泰曼—格林干涉仪用于产生干涉条纹,一个平移台用于沿光轴扫描光程差,一个用于将干涉数据转为数字信号并传入计算机的图像卡,以及一个用于同步CCD相机和平移台动作的数据卡。与传统非球面测量方法不同的是,本干涉仪适用范围广,可以测量大非球面度的表面或波前,且无需补偿零位镜。另外,该方法无需复杂且通常较为昂贵的多维运动平台。

    非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法

    公开(公告)号:CN102591031A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210054455.2

    申请日:2012-03-02

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准装置与方法。它由激光器出射的细光束经准直扩束系统后被扩束为平行宽光束,平行光入射至镀有半反半透膜的分光板后,一部分入射光被反射,反射光束被平面参考镜反射后再次返回分光板;另一部分入射光被透射,透射光束向前传播入射至辅助对准平板后返回;返回的反射光和返回的透射光在分光板处相遇发生干涉,形成干涉图,经成像系统后成像于探测器处;调节对准平板与部分补偿透镜相对于入射光的倾斜度,使探测器得到零条纹干涉图,移去对准平板,实现部分补偿透镜的倾斜对准。本发明解决了非球面非零位干涉检测中部分补偿透镜对准误差问题,减少了其误对准对检测结果引入的调整误差。

    可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉系统

    公开(公告)号:CN101915556B

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201010224868.1

    申请日:2010-07-09

    Abstract: 本发明公开了一种可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉测量系统。由于实际抛光加工过程中光学球面的反射率低,高精度干涉检测系统需要具有条纹对比度可调的功能,以得到理想的干涉条纹对比度。本发明解决了在保证球面面形检测精度的同时,实现干涉条纹对比度可调的问题。本发明的技术特点在于:基于可实现高精度检测的点衍射干涉系统,通过引入偏振光学元件调整光束偏振态,建立可实现调节干涉条纹对比度的偏振点衍射干涉系统;通过对干涉系统中各元件的功能特点分析,提出了相应的结构设计及系统误差校正方法,以实现高精度的球面面形检测。本发明为低反射率光学球面面形的高精度检测提供了一种可行的检测方法。

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