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公开(公告)号：CN104932100B
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201510324738.8
申请日：2015-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种非零位检测凹抛物面镜的部分补偿透镜体系与设计方法。本发明由多个部分补偿透镜组成，总补偿范围覆盖常用被测抛物面镜参数；设计方法包括：对F数小于1.2的被测抛物面镜计算部分补偿透镜初始结构；设定约束条件，在检测路模型中优化部分补偿透镜结构参数；改变被测抛物面镜参数，调整被测抛物面镜与部分补偿透镜之间的距离确定被测抛物面镜参数边界，做出补偿范围D‑R图；对不可补偿区中F数小于1.2的被测抛物面镜设计新的部分补偿透镜，直至多个部分补偿透镜覆盖常用被测抛物面镜参数范围；筛选多个部分补偿透镜构建补偿能力数据库。本发明解决了部分补偿透镜补偿范围分析和体系设计问题，实现了抛物面镜的通用化检测。
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公开(公告)号：CN105352453A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510772781.0
申请日：2015-11-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法。本发明利用实验获得的非球面沿光轴的不同位置处检测波前像差系数，配合光线追迹软件的逆向优化，解出非球面的初定位位置和顶点球曲率半径。避免了传统零位检测方法中在猫眼和齐焦点的精确定位过程，解决了在非球面非零位干涉检测中被测面定位，曲率半径误差和被测面面形之间相互影响而不能准确测定的矛盾。该方法直接适用于非零位检测系统，避免了对面形误差与顶点曲率半径分别测量的复杂程序，不依赖于非球面绝对定位精度，利用光线迭代追迹代替了复杂的计算过程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104932100A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510324738.8
申请日：2015-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B27/00
CPC classification number: G02B27/0012 , G02B27/0025
Abstract: 本发明公开了一种非零位检测凹抛物面镜的部分补偿透镜体系与设计方法。本发明由多个部分补偿透镜组成，总补偿范围覆盖常用被测抛物面镜参数；设计方法包括：对F数小于1.2的被测抛物面镜计算部分补偿透镜初始结构；设定约束条件，在检测路模型中优化部分补偿透镜结构参数；改变被测抛物面镜参数，调整被测抛物面镜与部分补偿透镜之间的距离确定被测抛物面镜参数边界，做出补偿范围D-R图；对不可补偿区中F数小于1.2的被测抛物面镜设计新的部分补偿透镜，直至多个部分补偿透镜覆盖常用被测抛物面镜参数范围；筛选多个部分补偿透镜构建补偿能力数据库。本发明解决了部分补偿透镜补偿范围分析和体系设计问题，实现了抛物面镜的通用化检测。
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公开(公告)号：CN104930971A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510325905.0
申请日：2015-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法。本发明包括激光器、准直扩束系统、分光板、对准板、成像系统、探测器、参考平面反射镜、遮光板、部分补偿透镜、被测面；被测面可沿与干涉仪光轴平行的直线导轨移动；调整部分补偿透镜的倾斜，使其前后表面反射的光斑同心，且与干涉条纹同心，调整部分补偿透镜的偏心，使光斑和干涉条纹中心与对准板的像中心对准；夹持被测面，沿导轨移动被测面靠近和远离部分补偿透镜，调整被测面的位姿，使由被测面返回的光斑中心始终与对准板的像中心对准。本发明简单、迅速，无需额外设计和加工光机元件，能有效提高对准效率、降低成本，实现部分补偿透镜和被测面的高精度、通用化对准。
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公开(公告)号：CN105352453B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510772781.0
申请日：2015-11-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法。本发明利用实验获得的非球面沿光轴的不同位置处检测波前像差系数，配合光线追迹软件的逆向优化，解出非球面的初定位位置和顶点球曲率半径。避免了传统零位检测方法中在猫眼和齐焦点的精确定位过程，解决了在非球面非零位干涉检测中被测面定位，曲率半径误差和被测面面形之间相互影响而不能准确测定的矛盾。该方法直接适用于非零位检测系统，避免了对面形误差与顶点曲率半径分别测量的复杂程序，不依赖于非球面绝对定位精度，利用光线迭代追迹代替了复杂的计算过程。
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公开(公告)号：CN104930971B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510325905.0
申请日：2015-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法。本发明包括激光器、准直扩束系统、分光板、对准板、成像系统、探测器、参考平面反射镜、遮光板、部分补偿透镜、被测面；被测面可沿与干涉仪光轴平行的直线导轨移动；调整部分补偿透镜的倾斜，使其前后表面反射的光斑同心，且与干涉条纹同心，调整部分补偿透镜的偏心，使光斑和干涉条纹中心与对准板的像中心对准；夹持被测面，沿导轨移动被测面靠近和远离部分补偿透镜，调整被测面的位姿，使由被测面返回的光斑中心始终与对准板的像中心对准。本发明简单、迅速，无需额外设计和加工光机元件，能有效提高对准效率、降低成本，实现部分补偿透镜和被测面的高精度、通用化对准。
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公开(公告)号：CN105318847A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510770217.5
申请日：2015-11-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于系统建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法。本发明对实验干涉系统进行建模，对应不同环带的非球面位置建立多结构模型，基于多结构模型建立优化函数，以实际测得的各个环带波前Zernike系数同时作为优化目标，以模型中各个环带波前Zernike系数为因变量，以非球面全口径面形误差为自变量。以各个非球面环带对应的被测面位置作为约束条件，执行优化函数使得模型中各环带波前Zernike系数趋近于实际测量值，则认为模型中被测面全口径面形误差接近实际被测值，从而得到被测面全口径面形误差。本发明无需专门的形态拼接操作，并且不需要重叠区，减少了可能需要的子孔径数目，增加了拼接精度。
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