非零位检测凹抛物面镜的部分补偿透镜体系与设计方法

    公开(公告)号:CN104932100B

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201510324738.8

    申请日:2015-06-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种非零位检测凹抛物面镜的部分补偿透镜体系与设计方法。本发明由多个部分补偿透镜组成,总补偿范围覆盖常用被测抛物面镜参数;设计方法包括:对F数小于1.2的被测抛物面镜计算部分补偿透镜初始结构;设定约束条件,在检测路模型中优化部分补偿透镜结构参数;改变被测抛物面镜参数,调整被测抛物面镜与部分补偿透镜之间的距离确定被测抛物面镜参数边界,做出补偿范围D‑R图;对不可补偿区中F数小于1.2的被测抛物面镜设计新的部分补偿透镜,直至多个部分补偿透镜覆盖常用被测抛物面镜参数范围;筛选多个部分补偿透镜构建补偿能力数据库。本发明解决了部分补偿透镜补偿范围分析和体系设计问题,实现了抛物面镜的通用化检测。

    一种ICF靶丸内冰层折射率与厚度的测量方法及装置

    公开(公告)号:CN107449756A

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:CN201710481895.9

    申请日:2017-06-22

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明涉及一种ICF靶丸内冰层折射率与厚度的测量方法及装置。本发明包括光源(可以为激光器或LED)、扩束器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、待测靶丸、波前传感器、透镜、CCD图像传感器和电脑。通过装置将光路分为两路,结合这两条光路,已知冰层平均厚度,求出冰层平均折射率;已知冰层平均折射率,求出冰层平均厚度;得到靶丸冰层折射率与厚度。本发明提出基于光程差和光线偏折的双光路系统装置和方法,实现ICF靶丸冰层的折射率与厚度的同时测量。能快速、非接触式测量,且测量精度高;还能得出靶丸冰层的折射率分布。

    一种ICF靶丸内冰层折射率与厚度的测量方法及装置

    公开(公告)号:CN107449756B

    公开(公告)日:2019-12-10

    申请号:CN201710481895.9

    申请日:2017-06-22

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明涉及一种ICF靶丸内冰层折射率与厚度的测量方法及装置。本发明包括光源(可以为激光器或LED)、扩束器、分束镜、第一反射镜、第二反射镜、待测靶丸、波前传感器、透镜、CCD图像传感器和电脑。通过装置将光路分为两路,结合这两条光路,已知冰层平均厚度,求出冰层平均折射率;已知冰层平均折射率,求出冰层平均厚度;得到靶丸冰层折射率与厚度。本发明提出基于光程差和光线偏折的双光路系统装置和方法,实现ICF靶丸冰层的折射率与厚度的同时测量。能快速、非接触式测量,且测量精度高;还能得出靶丸冰层的折射率分布。

    一种自由曲面子孔径拼接干涉检测中被测面定位匹配方法

    公开(公告)号:CN105937885B

    公开(公告)日:2018-08-14

    申请号:CN201610283390.7

    申请日:2016-04-29

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种自由曲面子孔径拼接干涉检测中被测面定位匹配方法。本发明包括自由曲面旋转匹配、自由曲面轴向初定位和自由曲面位姿误差精密匹配三个部分;其中自由曲面旋转匹配主要利用莫尔条纹定位;自由曲面轴向初定主要利用连续测量离焦曲线匹配方法;自由曲面位姿误差精密匹配主要利用子孔径波前系数计算全口径位姿误差,再行修正模型位姿的正向计算方法。从而自由曲面模型与实际自由曲面位姿的一致性匹配。本发明避免了实际的机械调整过程,替代以调整系统模型的位姿向实验靠近,最终保证模型与实际实验的被测面定位匹配。

    非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法

    公开(公告)号:CN104930971A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201510325905.0

    申请日:2015-06-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法。本发明包括激光器、准直扩束系统、分光板、对准板、成像系统、探测器、参考平面反射镜、遮光板、部分补偿透镜、被测面;被测面可沿与干涉仪光轴平行的直线导轨移动;调整部分补偿透镜的倾斜,使其前后表面反射的光斑同心,且与干涉条纹同心,调整部分补偿透镜的偏心,使光斑和干涉条纹中心与对准板的像中心对准;夹持被测面,沿导轨移动被测面靠近和远离部分补偿透镜,调整被测面的位姿,使由被测面返回的光斑中心始终与对准板的像中心对准。本发明简单、迅速,无需额外设计和加工光机元件,能有效提高对准效率、降低成本,实现部分补偿透镜和被测面的高精度、通用化对准。

    一种自由曲面非常规子孔径拼接干涉检测装置与方法

    公开(公告)号:CN105783780B

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201610287098.2

    申请日:2016-04-29

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种自由曲面非常规子孔径拼接干涉检测装置与方法。目前大多数光学自由曲面在光学系统中的承担的作用主要是提供或矫正部分轴上或轴外像差的特点。本发明使用非零位干涉系统出射的非球面波前作为参考,将自由曲面的检测干涉图根据其形状特征划分为非常规的子孔径形状,同时根据模型中子孔径划分参数配置实验机构参数,进而根据子孔径形状推导正交多项式进行波前拟合,最终通过同步逆向优化重构算法拼接全口径面形。本发明避免了传统圆形或环形子孔径造成的分辨率浪费,减少了子孔径数目,可以实现自由曲面的非常规子孔径拼接。

    非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN105352453B

    公开(公告)日:2017-12-15

    申请号:CN201510772781.0

    申请日:2015-11-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法。本发明利用实验获得的非球面沿光轴的不同位置处检测波前像差系数,配合光线追迹软件的逆向优化,解出非球面的初定位位置和顶点球曲率半径。避免了传统零位检测方法中在猫眼和齐焦点的精确定位过程,解决了在非球面非零位干涉检测中被测面定位,曲率半径误差和被测面面形之间相互影响而不能准确测定的矛盾。该方法直接适用于非零位检测系统,避免了对面形误差与顶点曲率半径分别测量的复杂程序,不依赖于非球面绝对定位精度,利用光线迭代追迹代替了复杂的计算过程。

    非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法

    公开(公告)号:CN104930971B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201510325905.0

    申请日:2015-06-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法。本发明包括激光器、准直扩束系统、分光板、对准板、成像系统、探测器、参考平面反射镜、遮光板、部分补偿透镜、被测面;被测面可沿与干涉仪光轴平行的直线导轨移动;调整部分补偿透镜的倾斜,使其前后表面反射的光斑同心,且与干涉条纹同心,调整部分补偿透镜的偏心,使光斑和干涉条纹中心与对准板的像中心对准;夹持被测面,沿导轨移动被测面靠近和远离部分补偿透镜,调整被测面的位姿,使由被测面返回的光斑中心始终与对准板的像中心对准。本发明简单、迅速,无需额外设计和加工光机元件,能有效提高对准效率、降低成本,实现部分补偿透镜和被测面的高精度、通用化对准。

    基于系统建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法

    公开(公告)号:CN105318847A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201510770217.5

    申请日:2015-11-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于系统建模的非球面非零位环形子孔径拼接方法。本发明对实验干涉系统进行建模,对应不同环带的非球面位置建立多结构模型,基于多结构模型建立优化函数,以实际测得的各个环带波前Zernike系数同时作为优化目标,以模型中各个环带波前Zernike系数为因变量,以非球面全口径面形误差为自变量。以各个非球面环带对应的被测面位置作为约束条件,执行优化函数使得模型中各环带波前Zernike系数趋近于实际测量值,则认为模型中被测面全口径面形误差接近实际被测值,从而得到被测面全口径面形误差。本发明无需专门的形态拼接操作,并且不需要重叠区,减少了可能需要的子孔径数目,增加了拼接精度。

    一种自由曲面子孔径拼接干涉检测中被测面定位匹配方法

    公开(公告)号:CN105937885A

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201610283390.7

    申请日:2016-04-29

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: G01B11/2441

    Abstract: 本发明公开了一种自由曲面子孔径拼接干涉检测中被测面定位匹配方法。本发明包括自由曲面旋转匹配、自由曲面轴向初定位和自由曲面位姿误差精密匹配三个部分;其中自由曲面旋转匹配主要利用莫尔条纹定位;自由曲面轴向初定主要利用连续测量离焦曲线匹配方法;自由曲面位姿误差精密匹配主要利用子孔径波前系数计算全口径位姿误差,再行修正模型位姿的正向计算方法。从而自由曲面模型与实际自由曲面位姿的一致性匹配。本发明避免了实际的机械调整过程,替代以调整系统模型的位姿向实验靠近,最终保证模型与实际实验的被测面定位匹配。

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