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公开(公告)号：CN110275154A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910604877.4
申请日：2019-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S7/481
Abstract: 本发明涉及一种激光雷达偏振探测光学调节机构，属于激光技术领域。所述激光雷达偏振探测光学调节机构包括1/4波片调节机构、镜筒、偏振片调节机构、偏振片调节把手和遮光板；所述1/4波片调节机构设置于所述镜筒的一端；所述偏振片调节机构设置于所述镜筒的内部；所述偏振片调节机构的首端朝向1/4波片调节机构；所述偏振片调节机构的尾端朝向镜筒的另一端；所述偏振片调节机构的尾端安装有偏振片调节把手；所述镜筒内部设有遮光板。所述激光雷达偏振探测光学调节机构能够有效提高激光雷达偏振调节的高效性和探测的稳定性。
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公开(公告)号：CN108356608B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201810134950.1
申请日：2018-02-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明公开了一种确定性抛光Wolter‑I型光学芯轴的方法，所述方法包括如下步骤：(1)确定去除高度和弹性球体的球径；(2)确定接触区域半径并计算出接触正压力；(3)确定Preston系数；(4)计算弹性球体球心的运动轨迹和各个抛光点处的驻留时间；(5)编写数控加工程序，实现弹性球体运动轨迹的控制，并通过数控延时指令对弹性球体在抛光点处的驻留时间进行控制；(6)在弹性球体表面贴附抛光布，选择合适的抛光液按照预先计算的抛光参数进行芯轴表面抛光。本发明的抛光方法可将球形抛光工具集成到车削加工设备中，实现芯轴车削和抛光加工的一次完成，提高芯轴加工精度和加工效率。
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公开(公告)号：CN106066923B
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201610458140.2
申请日：2016-06-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法，涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比gn为：第n级磁开关的环形磁芯体积Voln为：磁脉冲压缩网络的最佳脉冲压缩级数mopt为：mopt＝2lnG，根据获得的最佳脉冲压缩级数mopt确定磁脉冲压缩网络的级数，根据第n级磁开关的磁芯体积Voln确定磁开关的体积，根据脉冲压缩比确定磁开关的饱和电感。本发明适用于获得磁脉冲压缩网络的电路参数。
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公开(公告)号：CN106054537B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201610378019.9
申请日：2016-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP EUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分：预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分：右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。
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公开(公告)号：CN105895497B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201610378862.7
申请日：2016-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者螺纹连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105892240B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201610437955.2
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
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公开(公告)号：CN104619105B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510084937.6
申请日：2015-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05G2/00
Abstract: Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室，涉及极紫外(EUV)光源技术。它为了解决常规的放电室结构放电性能和冷却性能不够好的问题。本发明中的主脉冲电源的高压极与预脉冲电源的地极共用一个电极，位于外壳的右端面上，预脉冲高压电极和共用电极均设置在外壳内部，且预脉冲高压电极和共用电极的位置沿轴向可调，使得预脉冲高压电极与主脉冲地电极的距离及共用电极与主脉冲地电极的距离均可调，提高了主脉冲电源和预脉冲电源的放电性能。预脉冲高压电极和共用电极内部设置有水冷系统。本发明具有良好的绝缘性能、放电性能、冷却性能和真空性能，适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。
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公开(公告)号：CN104619104B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201510084923.4
申请日：2015-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源系统，涉及一种13.5nm的极紫外光源。它为了解决常规的高功率EUV光源体积庞大、价格昂贵，不适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源的问题。本发明中，主脉冲电源采用磁脉冲压缩网络对脉冲进行压缩陡化，主脉冲电源的高压电极和预脉冲电源的地电极共用一个电极，利用水冷系统对预脉冲高压电极和共用电极进行制冷，光学收集系统采用内嵌式Wolter I型收集系统，该系统包括10层收集镜，每层收集镜包括一个回转椭球面和一个回转双曲面，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共几何焦点。本发明体积小，真空度高，且价格低，适合用作EUV光刻机各种部件的检测光源。
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公开(公告)号：CN106078088A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610437954.8
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B23P15/00 , G02B19/0095 , G03F7/2004
Abstract: 放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜直接车削方法，涉及光学及精密加工领域，为了解决现有对收集镜进行加工的方法，加工工艺要求非常高，增加了加工成本的问题。该方法为：毛坯成型，粗车加工，预车加工，镀镍磷合金层，精车加工，人工抛光处理，面型检测，车削边沿，完成收集镜的制作。本发明采用直接车削的方法，加工时间短，大幅度的降低了成本，适用于车削加工放电等离子体光刻光源中极紫外光收集镜。
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公开(公告)号：CN106054537A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610378019.9
申请日：2016-05-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G03F7/70033 , H05G2/00
Abstract: 一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPP EUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分：预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分：右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。
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