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公开(公告)号：CN105867075B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201610444231.0
申请日：2016-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。
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公开(公告)号：CN105867075A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610444231.0
申请日：2016-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2004 , G03F7/2008 , G03F7/70033 , G03F7/70175
Abstract: 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105892240A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610437955.2
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70825 , G03F7/2004 , G03F7/70016
Abstract: 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
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公开(公告)号：CN105865758A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610437953.3
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 极紫外光收集镜系统的检测装置及应用该检测装置对极紫外光收集镜系统进行装配的方法，涉及光收集系统检测领域。解决了现有的极紫外光收集镜系统的集成性差、获得极紫外光的功率低的问题。它包括光源出射器和收集镜系统支撑架、CCD传感器、传感器支撑架和计算机；收集镜系统支撑架上固定有极紫外光收集镜系统，CCD传感器位于传感器支撑架上，且CCD传感器和传感器支撑架均位于收集镜系统支撑架下方，CCD传感器的数据信号输出端与计算机的数据信号输入端连接，光源出射器出射面光经极紫外光收集镜系统掠入射反射后，汇聚至CCD传感器，计算机用于测量CCD传感器接收到的光斑和记录光斑信息。用于对极紫外光收集镜系统进行性能检测。
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公开(公告)号：CN105892240B
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201610437955.2
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。
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公开(公告)号：CN106152969A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610437986.8
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 收集镜片面型的简便检测装置及基于该装置的检测方法，涉及毛细管放电Z箍缩极紫外光源收集镜片面型的简便检测技术。为了解决现有检测装置无法检测轴长比较长的大口径收集镜片的内表面面型的问题。半导体激光器出射的激光入射至毛玻璃，由毛玻璃的小圆孔透射的光经收集镜片汇聚至CCD传感器；计算机用于测量CCD传感器接收到的光斑和记录光斑信息。调整第一五维调整台使半导体激光器出射激光的光轴与毛玻璃上小圆孔的轴线重合；调节收集镜片支撑件，使收集镜片的轴线与所述光轴重合；调节第二五维调整台及可升降套筒使CCD传感器接收到光束；根据计算机得到光斑信息，判断收集镜片是否符合要求。本发明适用于检测收集镜片的内表面面型。
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公开(公告)号：CN205670210U
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201620599404.1
申请日：2016-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，涉及收集镜片的装配技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。一个支撑杆与一个压板相配合；轮缘为圆环，圆环的环形内设有多根辐条；辐条上开有N个凹槽，多根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，圆环上均匀固定多个支撑杆，支撑杆上可拆卸地固定与其相配合的压板，压板将卡合在凹槽中的收集镜片压紧；基座为L架，L架底板的上表面是与轮缘的外表面相配合的弧面，轮缘固定在基座上。本实用新型的结构简单，适用于装配收集镜。
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