公开(公告)号：CN206408285U

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201720005833.6

申请日：2017-01-04

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  倪志强 ,  聂忠辉 ,  黎遥 ,  何亮 ,  王学锋

IPC: C23C14/28 ,  C30B23/02 ,  G01N23/227

Abstract: 先进材料的生长测试一体化系统，包括光源产生系统，真空传输系统，材料生长系统以及时间和自旋分辨的电子能谱测试系统；所述光源产生系统包括极紫外超短脉冲激光系统，光学参量转换系统，极紫外超短脉冲激光转换系统，时间同步装置，泵浦光和探测光合束器；所述时间和自旋分辨的电子能谱测试系统包括：合束输入窗口；真空测试腔；样品固定架；半球电子能谱分析仪，扫描电子显微镜；所述材料生长系统包括：第一和第二分子束外延生长系统；第一和第二脉冲激光沉积系统；真空传输系统包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空管道，通过超高真空管道，在生长腔室与能谱探测腔之间来回传递；实现不同先进材料的生长和制备。

公开(公告)号：CN206692720U

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201720229355.7

申请日：2017-03-10

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  何亮 ,  刘文卿 ,  赖柏霖

IPC: C23C14/30 ,  C23C14/54 ,  C30B23/00

Abstract: 超高真空系统中的电子束蒸发源，包括棒状金属源材料即金属源棒、正高压电源、遮板(8)和生长速率计(9)的组合体、离子收集片(7)、灯丝(5)、定位孔柱(4)、金属源棒(3)外围为冷却水罩(6)，灯丝支架的金属柱(1)以及线性驱动器(2)，正高压电源施加金属源棒正高压，阴极灯丝发射的热电子；金属源棒被热电子轰击加热到足够高的温度后以非常低的速率发射出金属源原子束成为蒸发源，蒸发源上设有一个遮板(8)，在停止蒸发的时候遮挡蒸发束，遮板上设有一个同心孔，在遮板打开薄膜生长的时候让蒸发束通过；定位孔柱来活络限定源棒在轴向的进动，并使源棒在调整位置的时候也始终在蒸发源竖直中心上，蒸发源发射路径上有一个离子收集片。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN206573468U

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201720005827.0

申请日：2017-01-04

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  黄大威 ,  吴竞 ,  何亮 ,  刘文卿 ,  陆显扬 ,  张晓倩

IPC: G01N21/21 ,  G01N21/01

Abstract: 集成生长与测量的分子束外延生长系统，包括分子束外延生长腔室、样品操纵杆、可倾斜的样品台、入射光、反射光、一对电磁铁、偏振片、检偏器、激光二极管、光电探测器、分子束外延的生长源；分子束外延生长腔室上设有一对视窗，这对视窗是分子束外延生长系统上激光入射光和出射光的高透明、对光低散射的视窗；原位磁光表征系统安装在分子束外延生长系统的腔室上；原位磁光表征系统包含产生S型线偏振光的激光二极管、调节线偏振光的起偏偏振片；所述起偏偏振片产生激光入射光射至样品表面，所述检偏器对出射光检偏；原位磁光表征系统包含光电探测器，探测器将出射光的信号输入到锁相放大器；样品台侧设有电磁铁。样品操纵杆与可倾斜的样品台固定。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利