-
公开(公告)号：CN105784643B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201610128583.5
申请日：2016-03-07
Applicant: 华中科技大学 , 武汉四方光电科技有限公司
IPC: G01N21/51
Abstract: 本发明公开了一种降低气体拉曼光谱荧光背景的装置及其方法；本发明在分析气体样品时，偏振调制装置对散射光进行周期性的偏振调制；具有良好偏振特性的气体样品拉曼信号的强弱会随之周期性变化，而来源于气体样品、样品室或者光学元件等的荧光信号的偏振方向与激发光偏振方向相关性很小，探测器上的荧光信号强弱基本上不随偏振调制装置的旋转而变化；利用锁相放大方法，可在荧光背景中检测出气体拉曼散射信号；本发明能降低荧光背景的影响，提高装置对微弱气体成分的检测能力；装置结构布局简明，操作方便，具有很强的实用性。
-
公开(公告)号：CN105376919B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201510751138.X
申请日：2015-11-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡，阻拦屏和旋转圆面屏的阻挡和选通作用，产生周期性的锡液滴，通过电极对，在激光的作用下产生极紫外光。本装置通过让激光作用在的锡液滴而非作用在电极上的液态锡膜上，解决了传统旋转放电圆盘电极液体锡靶供应装置中工作频率不高、电极寿命短的问题，简化了装置的设计精度，方便了靶材的补充，提高了装置连续工作的寿命和稳定性。
-
公开(公告)号：CN103744197B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310740490.4
申请日：2013-12-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第一透镜、第二透镜、风扇和热交换器；第一透镜、第二透镜为两个相同的ZnSe透镜，真空腔上开有两个正对的观察窗，用于激光的输入和输出；真空腔的两个观察窗的中心，与第一透镜、第二透镜的中心在一条直线上，且两透镜间的距离为2f，f为透镜的焦距。本发明与现有等离子体开关的优势是在缩短脉宽的同时，保证了较高的激光透过率，从而使输出脉冲有较高的峰值功率，并提高了装置的重复率。
-
公开(公告)号：CN105376919A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510751138.X
申请日：2015-11-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡，阻拦屏和旋转圆面屏的阻挡和选通作用，产生周期性的锡液滴，通过电极对，在激光的作用下产生极紫外光。本装置通过让激光作用在的锡液滴而非作用在电极上的液态锡膜上，解决了传统旋转放电圆盘电极液体锡靶供应装置中工作频率不高、电极寿命短的问题，简化了装置的设计精度，方便了靶材的补充，提高了装置连续工作的寿命和稳定性。
-
公开(公告)号：CN102980739B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210423106.3
申请日：2012-10-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种基于四象限探测器的脉冲气体激光器腔内流场测量装置，包括探测光源、探测光接收系统以及信号处理系统，探测光源发出的光束与脉冲气体激光器的光轴方向平行；探测光接收系统包括四象限光电探测器，其光敏面面向探测区域并与探测光束垂直，用于接收探测激光光束；四象限光电探测器的信号经信号处理系统处理后获得激波的传播特性参数。本发明结构简单，操作方便，采用四象限光电探测器简化了实验装置，通过其光斑中心的移动来判断激波的扰动大小和传播方向，提高了探测的灵敏度；同时采用双色镜将探测光束与脉冲气体激光器的激光相分离，激光振荡同时获得实时的测试结果，避免了无激光谐振腔测试放电区热沉积偏高的缺陷。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103063324B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201210533664.5
申请日：2012-12-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明公开了一种分子气体激光器腔内气体温度监控装置及其方法。该装置包括收集镜、光谱仪、CCD相机以及计算机；CCD相机接驳在光谱仪上，CCD相机和光谱仪均与计算机电连接，光谱仪的狭缝上安装有光纤探头，计算机用于对光谱数据依次进行位置校正、强度校正、归一化、拟合曲线对比，获取并记录气体温度。方法通过探测放电等离子体发光监控气体温度，直接获得放电中心区域的温度。本发明是一种非接触式温度监控装置，特别适合分子气体激光器这种对气密性与气体成分纯度要求比较高的放电装置的温度监控，可实现远距离监控。
-
公开(公告)号：CN103025042B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210524027.1
申请日：2012-12-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明提供了一种空芯光纤射频放电系统，包括射频放电装置和气配装置；射频放电装置包括射频电源、匹配网络、电极和空芯光纤，电极包括内电极和外电极，内电极与外电极均为空芯圆柱体金属电极，内电极的外径小于外电极的内径；内电极位于外电极的内部，空芯光纤缠绕于内电极的外表面，空芯光纤的两端分别与气配装置连接；工作时，射频电源在内电极和外电极之间产生交变电场，交变电场驱动空芯光纤中的气体所含的电子往复运动，电子在运动过程中与其它粒子碰撞产生放电等离子体。本发明提供的空芯光纤射频放电系统可以在微米量级的空芯光纤绕成的类螺线管状的结构中通过射频放电的方式产生等离子体；具有方法简单、噪音低、能量损耗小、装置结构紧凑、效率高等优点。
-
公开(公告)号：CN103257531A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310145818.8
申请日：2013-04-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器，包括高压腔体、电加热器、热电阻、振杆、气源控制器、压力变送器、喷嘴、冷却风机和冷却水套；电加热器用于使腔体内的固态锡材融化成为液态，通过两端具有压强差的空腔环形结构喷嘴射出形成空心液滴或者空心柱状液滴流。提空腔环状的喷嘴所包含的辐射所需EUV光子能量的原子数目是最多的，并且吸收效率高；气源控制器和压力变送器所构成的加压系统用来给储液容器加高压；通过将靶室内抽真空，并充入氢气或氩气，以减少对EUV的吸收和降低高温高压的等离子体对收集镜的损害。本发明喷射距离远，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，成本低廉，更适合工业上大规模生产。
-
公开(公告)号：CN103246176A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310112297.6
申请日：2013-04-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于激光技术应用领域，涉及一种用于隔离激光等离子体极紫外光源碎屑的隔离腔。它包括整流栅与腔体，腔体由中间圆柱形部分与两侧矩形部分连接组成。其中，圆柱形部分用于装接EUV椭球收集镜，两侧为水平方向的矩形流道，腔体矩形部分和圆柱形部分为曲线连接，整流栅放置在所述腔体的气流入口位置，用于调节流动截面上的气流分布，并规整流经腔体的缓冲气流。整流栅包括水平栅片和竖直栅片，水平栅片能够在竖直移动以调节气流竖直方向的压强分布。用于通入所述腔体内的缓冲气体为氢气和氩气的混合气体。本发明使用的设备简单、易于操作控制。可有效隔离等离子体碎屑对收集镜的污染，对提高光学系统寿命和发展极紫外光刻技术有重要意义。
-
公开(公告)号：CN103166613A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310034366.6
申请日：2013-01-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁开关压缩脉冲电源复位电路，它包括两级磁开关复位电路，一级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第一耦合线圈、直流偏置电流源、第一电感和第二耦合线圈，第一耦合线圈绕组用于在一级磁开关的环形磁芯上；第二耦合线圈绕组用于绕制在变压器的环形磁芯上；二级磁开关复位电路包括依次串联并构成回路的第三耦合线圈、第二电感和第四耦合线圈，第三耦合线圈绕组用于在可饱和变压器的环形磁芯上，第四耦合线圈绕组用于在二级磁开关的环形磁芯上。本发明解决现有准分子激光电源中磁压缩开关电路中的复位电路设计复杂的问题，利用在高压部分提供的一种无源复位电路，可以获得低延时分散性的高压脉冲输出。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
93
records
(took 0.027 seconds)
