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公开(公告)号：CN105376919B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201510751138.X
申请日：2015-11-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡，阻拦屏和旋转圆面屏的阻挡和选通作用，产生周期性的锡液滴，通过电极对，在激光的作用下产生极紫外光。本装置通过让激光作用在的锡液滴而非作用在电极上的液态锡膜上，解决了传统旋转放电圆盘电极液体锡靶供应装置中工作频率不高、电极寿命短的问题，简化了装置的设计精度，方便了靶材的补充，提高了装置连续工作的寿命和稳定性。
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公开(公告)号：CN105376919A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510751138.X
申请日：2015-11-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明提出一种激光诱导液滴锡靶放电产生等离子体极紫外光源的装置，包括储锡池、旋转圆盘、锡液、温度控制器、阻拦屏、旋转圆面屏、电极对和激光器等。该装置通过将旋转圆盘部分浸入液态锡中，利用了高速圆周离心力作用产生逃逸的液态锡，阻拦屏和旋转圆面屏的阻挡和选通作用，产生周期性的锡液滴，通过电极对，在激光的作用下产生极紫外光。本装置通过让激光作用在的锡液滴而非作用在电极上的液态锡膜上，解决了传统旋转放电圆盘电极液体锡靶供应装置中工作频率不高、电极寿命短的问题，简化了装置的设计精度，方便了靶材的补充，提高了装置连续工作的寿命和稳定性。
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公开(公告)号：CN105307371A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510751105.5
申请日：2015-11-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: H05G2/00
Abstract: 本发明提出一种用于激光作用的液滴锡靶产生装置。本发明结合锡液滴和旋转圆盘的技术特点，利用旋转圆盘离心力产生锡液滴，实现了液态锡靶在高重复频率下的连续供应。该技术方案一方面克服了现有喷嘴振动法对装置性能的较高要求，另一方面避免了传统旋转圆盘电极法对圆盘转速的限制以及激光作用在圆盘上带来的隐患。这种液滴锡靶产生装置既可应用于激光等离子体(LPP)装置，也可以用于激光诱导放电等离子体(LDP)的装置。基于该液滴锡靶，本发明还提出了一种产生等离子体的装置。
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