-
公开(公告)号：CN118393817A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410428173.7
申请日：2024-04-10
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了光刻机设备技术领域的一种光刻机三工位双工件台，包括底座、设置于底座上移动组件、设置于移动组件上的工作台，工作台设置有两组、设置于工作台上的晶圆台、设置于工作台和移动组件之间的卡接组件，以及设置于工作台上的微动组件，通过移动组件和微动组件的配合能够实现工作台长行程高精度运动，通过正交轨道设计实现XY运动误差解耦，并与无摩擦的微动单元和柔顺单元的配合结合，实现长行程高精度运动，通过校准工位‑曝光工位‑校准工位的三工位设计，重心低、运动质量小、无累积误差，可以实现双工件台并行作业，结构简单，不需要设计额外的换台机构，有利于提高光刻机性能和产能。
-
公开(公告)号：CN118100485A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202311749044.X
申请日：2023-12-19
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K1/27 , H02K1/278 , H02K1/2791
Abstract: 本发明涉及一种降低极频电磁振动的电机转子结构及永磁电机，电机转子为表贴式转子，包括转子铁芯以及若干圈永磁体层，若干圈永磁体层沿转子铁芯的轴向依次紧密分布，每圈所述永磁体层由交替贴装在转子铁芯外周面的N极永磁体和S极永磁体组成，N极永磁体和S极永磁体的外侧面均为中间低两端高的结构，N极永磁体所占的极弧角度与S极永磁体所占的极弧角度不同；通过对电机转子的永磁体整形，采用中间低两侧高的形状，并采用轴向分层结构，每圈N极永磁体和S极永磁体采用不等极弧角度，这样就能改善每个永磁体产生的主磁场的径向电磁力的波峰和波谷，进而降低极频电磁力谐波幅值，实现有效地降低永磁电机极频电磁振动，提升电机的运行性能。
-
公开(公告)号：CN117118110B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311389448.2
申请日：2023-10-25
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种大电感无齿槽推进电机，包括转子组件、定子组件和机壳，所述定子组件包括定子铁芯、环形绕组和定子护套，定子铁芯包括轭部、内齿和外齿，其中，内齿均为假齿，外齿包含部分假齿，环形绕组径向绕在定子铁芯的轭部，每一内侧线圈和外侧线圈的两端分别由内齿和外齿隔离和固定，定子护套包括内护套和外护套，分别安装内齿和外齿上，假齿和定子护套均为不导磁结构，机壳为导磁结构。本发明增加了电机电感，降低了推进系统滤波装置体积，提高了控制性能，实现了推进电机谐波抑制和静音巡航。
-
公开(公告)号：CN107959361B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201610906992.3
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供一种永磁力矩电机的定子，通过密封材料将各定子齿间的槽口密封，使定子齿部呈环形整体结构，定子轭部呈另一整体结构，二者彼此可分离，因此在定子装配工艺中，将各电枢绕组装配在相应的定子齿上后可通过卡槽插合或者扣合直接将二者连接在一起，工艺简单，成本低、效率高，便于模块化生产。另外，当定子铁心选用纳米晶软磁合金材料或高牌号硅钢材料时有利于降低电机损耗；当转子永磁体为铁心支撑，切向充磁永磁体和径向充磁永磁体交替设置在铁心的工作气隙侧表面时，有利于提高电机转矩密度。
-
公开(公告)号：CN116780850B
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311071660.4
申请日：2023-08-24
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K41/03 , H02K3/28 , H02P25/022 , H02P25/064
Abstract: 本发明提供了初级模块化二次偏置结构永磁同步直线电机及其优化方法，包括：步骤S1，沿支撑背铁长度方向将各电机单元划分为第一动子模块和第二动子模块，针对每一对两两相邻的电机单元，于两个电机单元之间进行一次偏置处理，并于两个模块之间进行二次偏置处理；步骤S2，控制初级模块化二次偏置结构永磁同步直线电机运行；步骤S3，获取磁阻力波形；步骤S4，处理得到磁阻力值；步骤S5，处理得到总削弱磁阻力值作为优化结果。有益效果是本发明能够充分削弱磁阻力，并有效提高推力波动的减小效果，以及能够获取电机的磁阻力具体削弱效果，为磁阻力的后续削弱调整工作提供数据支撑，能够减少调整的次数以及辅助调整到位提高永磁同步电机工作效率。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117118110A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202311389448.2
申请日：2023-10-25
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种大电感无齿槽推进电机，包括转子组件、定子组件和机壳，所述定子组件包括定子铁芯、环形绕组和定子护套，定子铁芯包括轭部、内齿和外齿，其中，内齿均为假齿，外齿包含部分假齿，环形绕组径向绕在定子铁芯的轭部，每一内侧线圈和外侧线圈的两端分别由内齿和外齿隔离和固定，定子护套包括内护套和外护套，分别安装内齿和外齿上，假齿和定子护套均为不导磁结构，机壳为导磁结构。本发明增加了电机电感，降低了推进系统滤波装置体积，提高了控制性能，实现了推进电机谐波抑制和静音巡航。
-
公开(公告)号：CN116846182A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310559026.9
申请日：2023-05-15
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K41/035 , H02K1/34
Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆检测的Z轴制动音圈电机，包括两个E型铁芯、两个线圈以及竖直板，两个E型铁芯相对设置，两个线圈分别绕设在两个E型铁芯上；竖直板上设置有在水平方向上磁性相反的第一磁钢和第二磁钢，第一磁钢、第二磁钢以及竖直板沿竖向可活动的配合在两个E型铁芯之间；竖直板的下端连接有在竖直方向上磁性相反第三磁钢和第四磁钢，当两个线圈同时通入正向电流时，竖直板能够上升至第二高度位置并稳定不动；当两个线圈同时通入反向电流时，竖直板能下降至初始位置并稳定不动。本发明公开的一种用于晶圆检测的Z轴制动音圈电机，实现竖直方向上是稳定驱动，并且能够在两个高度位置之间灵活切换，实现晶圆检测的高度精确控制。
-
公开(公告)号：CN116780850A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202311071660.4
申请日：2023-08-24
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K41/03 , H02K3/28 , H02P25/022 , H02P25/064
Abstract: 本发明提供了初级模块化二次偏置结构永磁同步直线电机及其优化方法，包括：步骤S1，沿支撑背铁长度方向将各电机单元划分为第一动子模块和第二动子模块，针对每一对两两相邻的电机单元，于两个电机单元之间进行一次偏置处理，并于两个模块之间进行二次偏置处理；步骤S2，控制初级模块化二次偏置结构永磁同步直线电机运行；步骤S3，获取磁阻力波形；步骤S4，处理得到磁阻力值；步骤S5，处理得到总削弱磁阻力值作为优化结果。有益效果是本发明能够充分削弱磁阻力，并有效提高推力波动的减小效果，以及能够获取电机的磁阻力具体削弱效果，为磁阻力的后续削弱调整工作提供数据支撑，能够减少调整的次数以及辅助调整到位提高永磁同步电机工作效率。
-
公开(公告)号：CN114229657B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202111638569.7
申请日：2021-12-29
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波甬磁科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种直线电机模组及电梯门机，所述直线电机模组包括机架、第一导向机构和直线电机，第一导向机构包括第一导轨和滑块，第一导轨固定于下侧支座上且沿水平方向延伸设置，滑块滑动设置于第一导轨上，沿第一导轨水平方向左右往复滑动；直线电机包括直线电机定子和直线电机动子，直线电机定子固定于上侧支座上，直线电机动子与滑块固定连接，且直线电机定子和直线电机动子均沿水平方向设置且两者之间设置有间隙，滑块在直线电机动子的驱动下沿第一导轨做水平方向的直线运动。本发明的直线电机模组通过合理的设计使其导向机构使用单条导轨就能满足需求，具有结构简单紧凑、成本低等优点。
-
公开(公告)号：CN114229658B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202111638610.0
申请日：2021-12-29
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 宁波甬磁科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种直线电机驱动的电梯门机，包括直线电机模组、连杆机构、门刀机构、左侧轿门挂板、右侧轿门挂板、导向机构和联动装置。直线电机模组通过连杆机构与门刀机构相连；门刀机构固定在左侧轿门挂板上；左侧轿门挂板、右侧轿门挂板通过联动装置相连，在直线电机模组的驱动下沿着导向机构同步相向或背向运动。本发明通过连杆机构将直线电机和门刀机构相连，将直线电机的线性运动转化为门刀机构上曲柄的转动，从而解决了直线电机驱动电梯门机门刀机构动作的问题。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
113
records
(took 0.079 seconds)
