一种基于柔性电感结构的无源无线风速传感器

    公开(公告)号:CN113687097A

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202110966499.1

    申请日:2021-08-23

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 易真翔 程星全

    Abstract: 本发明公开了一种基于柔性电感结构的无源无线风速传感器,包括读数端和传感器端;传感器端包括第一平面螺旋电感和第二平面螺旋电感;第一平面螺旋电感为柔性平面螺旋电感,并固定在受风形变的柔性基底表面;第二平面螺旋电感所在的基底受风不发生形变,第一平面螺旋电感和第二平面螺旋电感形成串联回路;读数端包括第三平面螺旋电感,第三平面螺旋电感与第二平面螺旋电感保持近磁场耦合,第三平面螺旋电感的输出端连接LCR测试仪。本发明实现了基于互感电路原理的能量信息无线传输与风速测量,解决了现有风速传感器由于需要电池和走线无法满足物联网技术中小型化、高能效、适用环境灵活等应用需求的技术问题。

    一种基于混合编码的电流舵型数模转换器

    公开(公告)号:CN111900990A

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN202010577806.2

    申请日:2020-06-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于混合编码的电流舵型数模转换器,属于基本电子电路的技术领域。该数模转换器包括译码电路、电流源模块、比较器模块、负载电阻模块与反馈电阻模块,译码电路将二进制码的数字输入信号转换为高位部分温度计码与低位部分二进制码混合编码的数字控制信号,采用混合编码的数字控制信号控制电流源模块,将传统的电流值成二进制倍数关系的电流源阵列转换为电流值相同的电流源,电阻值和电流值均为单一值,使得电流失配相对比较小,进而有效提高的数模转换器的转换精度。

    一种高灵敏硅二维风速计及其制作方法

    公开(公告)号:CN109188015B

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN201810644616.0

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及一种高灵敏硅二维风速计,包括衬底(1)、绝缘隔热层(2)、正四棱台(3)和四个测量组;基于本发明所设计的技术方案,构成高灵敏硅二维风速计,同时设计了与之对应的高灵敏硅二维风速计制造方法,整个技术方案是一种迎风结构,任何时候总有一个或两个斜坡面面对来风的方向,对风速计的安装要求低,且可提高整个器件的灵敏度;风速计的矩形块状加热件(4)和测温元件(5)都制作在正四棱台(3)的斜坡面上,有效降低了芯片体积;如此,风速计设置在斜坡面上,迎风和背风的传感器受凸台隔离,降低了交叉敏感,提高了器件的灵敏度。

    基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器

    公开(公告)号:CN109580981B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201811423034.6

    申请日:2018-11-27

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了基于柔性电感‑硅基电感结构的风速传感器,涉及MEMS器件,属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构,所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔,硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块,结构轻便,响应速度快,利用伯努利效应及线圈互感效应实现风速检测,电感自身热损耗小,降低了传感器功率。

    一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法

    公开(公告)号:CN105319387B

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201510883889.7

    申请日:2015-12-03

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种交流自加热式风速风向传感器及其测量方法,该传感器包括砷化镓衬底,生长在砷化镓衬底表面上的用于产生热量的发热电阻和用于感知温差的半导体热电偶。将四个风速传感器进行正交排列,形成交流自加热式风速风向传感器。其检测方法为发热电阻产生热量,当风吹过时,会改变半导体热电偶冷、热两端形成的温差,改变冷、热两端产生的直流电压,通过检测四个直流电压的大小最终实现风速风向的同时检测。

    基于双层透镜结构的风速传感器

    公开(公告)号:CN109298205B

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201811423015.3

    申请日:2018-11-27

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 易真翔

    Abstract: 本发明公开了基于双层透镜结构的风速传感器,涉及MEMS器件,属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性透镜和硅基上的固定透镜组成的双层透镜结构,柔性透镜与硅基上固定透镜之间留有足够空气腔,当有风流过时,根据伯努利效应,柔性透镜向固定透镜移动,自柔性透镜上方垂直照射宽波长光波,可根据反射波的波长测量风速大小。本发明依据伯努利效应及光学效应实现了非侵入式测量,无需引线,同时也降低了传感器的功率。

    一种高灵敏硅二维风速计及其制作方法

    公开(公告)号:CN109188015A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201810644616.0

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及一种高灵敏硅二维风速计,包括衬底(1)、绝缘隔热层(2)、正四棱台(3)和四个测量组;基于本发明所设计的技术方案,构成高灵敏硅二维风速计,同时设计了与之对应的高灵敏硅二维风速计制造方法,整个技术方案是一种迎风结构,任何时候总有一个或两个斜坡面面对来风的方向,对风速计的安装要求低,且可提高整个器件的灵敏度;风速计的矩形块状加热件(4)和测温元件(5)都制作在正四棱台(3)的斜坡面上,有效降低了芯片体积;如此,风速计设置在斜坡面上,迎风和背风的传感器受凸台隔离,降低了交叉敏感,提高了器件的灵敏度。

    一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计

    公开(公告)号:CN105486884B

    公开(公告)日:2018-09-18

    申请号:CN201510882324.7

    申请日:2015-12-03

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计,该传感器包括衬底,共面波导传输线、微机械耦合器、终端电阻、半导体热电偶以及测试块部分。共面波导传输线生长在衬底表面上,悬臂梁耦合器悬于共面波导传输线的上方,中间为绝缘介质层和空气,与共面波导的信号线形成微机械耦合器。悬臂梁的锚区位于另外一段共面波导的中心信号线上,将悬臂梁耦合的微波信号传输到两个终端电阻。该结构可以实现风速检测,不仅结构简单,灵敏度高,更无需消耗直流功耗。

    一种基于双检测模式的宽量程流量传感器及测量方法

    公开(公告)号:CN107796456A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201710958511.8

    申请日:2017-10-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于双检测模式的宽量程流量传感器,包括衬底,设于衬底上的中心加热电阻以及中心加热电阻两侧对称分布的若干电阻元件,若干所述电阻元件均可分时复用为加热电阻或测温电阻,距离中心加热电阻较近的一对为内侧电阻元件,距离中心加热电阻较远的一对为外侧电阻元件,所述内侧电阻元件距离中心加热电阻的距离相等,所述外侧电阻元件距离中心加热电阻的距离相等,所述内侧电阻元件分别与外侧电阻元件之间的距离远小于内侧电阻元件分别到中心加热电阻的距离,还公开了其测量方法。本发明的基于双检测模式的宽量程流量传感器及测量方法,利用该流量传感器测量流速,可以达到宽量程的效果,且测量准确,流速测量范围广。

    热温差型风速传感器及其制备方法和检测方法

    公开(公告)号:CN106829850A

    公开(公告)日:2017-06-13

    申请号:CN201710034158.4

    申请日:2017-01-18

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: B81B7/02 B81B2201/02 B81C1/00023 G01P5/12

    Abstract: 本发明公开一种热温差型风速传感器,其特征在于:包括玻璃衬底、发热元件、至少两组感温元件和两组测温元件;其中,发热元件包括加热电感线圈和发热金属块,通过对加热电感线圈施加交流电使发热金属块发热。还公开了这种热温差型风速传感器的制备方法,以及基于这种热温差型风速传感器的风速检测方法。通过这种结构的热温差型风速传感器,实现正面感风的风速检测,提高风速传感器的灵敏度并降低功耗,同时还能避免采用键合线技术和衬底通孔技术,成本低,易于产业化生产。

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