形成碳纳米管的方法
    62.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1853006A

    公开(公告)日:2006-10-25

    申请号:CN200380107266.6

    申请日:2003-11-21

    Abstract: 使用等离子体化学淀积方法在基材表面上形成碳纳米管。在纳米管已经生长以后,在新近形成的纳米管结构上实施处理步骤。该后处理可从生长的纳米管的壁上除去石墨及其他碳粒子控制纳米管层的厚度。在相同基材温度下,用等离子体实施后处理。对于该后处理,含氢气体用作等离子体源气体。在从纳米管生长停止转变到后处理步骤期间,等离子体处理室中的压力用上述纯化气体稳定,而不关闭该室中的等离子体。这消除了清除和抽空该等离子体处理室的需要。

    形成碳纳米管的方法
    64.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1729317A

    公开(公告)日:2006-02-01

    申请号:CN200380107267.0

    申请日:2003-11-21

    Abstract: 使用等离子体化学淀积方法在基材表面形成碳纳米管。纳米管生长之后,在新近形成的纳米管结构上进行纯化步骤。纯化可从生长的纳米管的壁上除去石墨及其他碳粒子,控制该纳米管层的厚度。在相同的基质温度下,用等离子体实施纯化。对于纯化,加入到等离子体化学淀积源气体中的作为辅助气体的含氢气体用作等离子源气体。因为纯化等离子体的源气体作为辅助气体加入到化学等离子体沉积的源气体中,通过与持留在等离子体处理室中的连续等离子体反应而纯化生长的碳纳米管。这消除了清除和抽空等离子体处理室,以及用纯化等离子体源气体稳定压力的必要。因此,在等离子体处理室中可以在不关闭等离子体的情况下进行生长和纯化。

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