沉积掩模
    63.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103966545A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201310674417.1

    申请日:2013-12-11

    Inventor: 韩政洹

    Abstract: 本发明公开一种沉积掩模。该沉积掩模包括:本体部分,该本体部分包括第一表面、第二表面和多个开口部分,第一表面与沉积基板相接触,第二表面面对第一表面,多个开口部分穿透第一表面和第二表面形成;以及碳层,至少设置在第一表面上,并且碳层包括碳纳米管和石墨烯中的至少一种。该沉积掩模的强度可得到提高,并且可减少了起弧现象。

    热处理方法
    68.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101512023A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200780032870.5

    申请日:2007-09-14

    CPC classification number: C23C26/00 C21D1/70 C23C4/01 C23C8/04 C23C8/10

    Abstract: 本发明涉及对于尾筒(1)的外壁(1b)涂布硅树脂(7),所述尾筒(1)是将树脂(4)填塞到其内壁(1a)的冷却孔(2a)中而实施了隔热涂覆的,然后,用大气炉加热尾筒(1)使树脂(4)燃烧或分解而除去。此后,硅树脂(7)的一部分或分解或蒸发,另一部分残留在外壁(1b)上对外壁(1b)进行保护,由于用这样的硅树脂(7)对外壁(1b)进行了保护,可降低外壁(1b)的氧化或因氧化导致的色斑。因此,可大幅度缩短在尾筒(1)中的灰化处理后为改善尾筒(1)的外观所需要的处理时间。尚且,本发明的热处理方法不只限于尾筒(1)中的灰化处理,还可以适用于需要热处理的所有制品。

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