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公开(公告)号：CN1438468A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03114760.7
申请日：2003-01-05
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明是一种非接触的测量技术，等矢高系数比较法数字化无损检测系统特别适用于各类宽范围大曲率半径的测量。用激光偏振干涉体系产生非接触的牛顿环，并与CCD图象处理技术相结合的测量方法，可测量的曲率半径为1－25米，具有很宽的测量范围，非接触测量不会损坏高精度表面，并可测试任意反射率的凹、凸球面，而测试体系结构都非常紧凑。干涉条纹经计算机数据处理可自动、快速获得测量结果。
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公开(公告)号：CN108663822B
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN201810359717.3
申请日：2018-04-20
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米线波导的点衍射光源。本发明同时解决了针孔衍射波前能量较低以及光纤衍射波前数值孔径较小的问题。本发明的技术特点在于通过纳米线波导获得强限制的光场，进而在端面衍射产生近理想球面波。利用纳米线波导的极小截面获得更大数值孔径的衍射波前，具有更大的测量范围。采用单模光纤作为纳米线波导和空间光之间的纽带，在获得较强的光能量的同时，光纤的单模传输性质使衍射波前形状稳定，不会因为入射波前像差而影响衍射波前质量，具有更好的可重复性。并且由于纳米线波导的包层在微米量级，从而使两干涉波前的剪切率很小，不至于产生过密的干涉条纹。本发明结构灵活，为波前检测提供了一种方便可靠的高精度点衍射光源。
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公开(公告)号：CN107193096B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201610326815.8
申请日：2016-05-17
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种高次曲面空间位置自动定中系统和方法。本发明的技术特点在于对高次曲面光学元件顶点曲率半径以及顶点曲率中心位置坐标进行测量，实现待测高次曲面光学元件检测姿态的初始化调整与参数测量。高次曲面自动定中系统包括高次曲面定中单元和空间位置调整机构，自动定中方法通过建立高次曲面自动定中计算模型，得出自动定中系统的平移机构和摆动机构的精确调整量，进行各个机构对应量的调整，实现元件光轴、定中单元光轴、自旋机构转轴三轴轴系一致，最后驱动高次曲面定中单元沿Z向扫描，得到元件顶点的曲率中心坐标，从而为高次曲面子孔径扫描拼接操作提供了一种高精度的定位方法。
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公开(公告)号：CN106018414B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201610326803.5
申请日：2016-05-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种高次曲面光学元件表面缺陷的定量检测方法。本发明包括如下步骤：优化子孔径扫描路径并确定子孔径空间位置分布；基于显微散射暗场成像原理采集平面子孔径图像；通过高次曲面三维子孔径矫正重构子孔径高次曲面三维图像；利用正投影变换和全口径拼接得到全口径高次曲面二维投影图像，提取低倍下缺陷特征；准确定位缺陷并进行高倍检测，提取高倍下缺陷特征；统计分析特征信息，生成评价数据。本发明实现了高次曲面光学元件表面缺陷的自动化定量检测，极大地提高了检测效率和检测精度，为高次曲面光学元件的加工与使用提供客观可靠的数值依据，为提高先进光学制造超精密加工技术、研究各种超精密加工工艺提供有力手段。
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公开(公告)号：CN105783780B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201610287098.2
申请日：2016-04-29
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面非常规子孔径拼接干涉检测装置与方法。目前大多数光学自由曲面在光学系统中的承担的作用主要是提供或矫正部分轴上或轴外像差的特点。本发明使用非零位干涉系统出射的非球面波前作为参考，将自由曲面的检测干涉图根据其形状特征划分为非常规的子孔径形状，同时根据模型中子孔径划分参数配置实验机构参数，进而根据子孔径形状推导正交多项式进行波前拟合，最终通过同步逆向优化重构算法拼接全口径面形。本发明避免了传统圆形或环形子孔径造成的分辨率浪费，减少了子孔径数目，可以实现自由曲面的非常规子孔径拼接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105651189B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201610075214.4
申请日：2016-02-03
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种用于手机盖板中油墨层厚度测量的无损在线检测设备。本发明包括点光源、柱面透镜、狭缝、显微物镜、双胶合透镜、CCD相机和图像处理模块；点光源投射的准直光线通过柱面透镜形成发散的线光源，线光源经过狭缝以及显微物镜后，在待测手机盖板表面汇聚成亮度很高并且宽度很细的直线光；并且该细长的直线光穿过油墨层和非油墨层相交的区域，将显微物镜对焦在相交的区域，从而观察直线光穿过该区域后的弯曲变化程度。本发明油墨层与非油墨层之间存在高度差，入射光在两个表面分别形成反射光并进入显微物镜中，通过在CCD相机的成像表面形成不同的亮线，间接地计算出当前样品表面待检测位置的油墨高度变化，真正地实现无损检测。
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公开(公告)号：CN105352453B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201510772781.0
申请日：2015-11-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种非零位干涉检测系统中非球面顶点球曲率半径测量方法。本发明利用实验获得的非球面沿光轴的不同位置处检测波前像差系数，配合光线追迹软件的逆向优化，解出非球面的初定位位置和顶点球曲率半径。避免了传统零位检测方法中在猫眼和齐焦点的精确定位过程，解决了在非球面非零位干涉检测中被测面定位，曲率半径误差和被测面面形之间相互影响而不能准确测定的矛盾。该方法直接适用于非零位检测系统，避免了对面形误差与顶点曲率半径分别测量的复杂程序，不依赖于非球面绝对定位精度，利用光线迭代追迹代替了复杂的计算过程。
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公开(公告)号：CN104930971B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510325905.0
申请日：2015-06-12
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明公开了一种非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法。本发明包括激光器、准直扩束系统、分光板、对准板、成像系统、探测器、参考平面反射镜、遮光板、部分补偿透镜、被测面；被测面可沿与干涉仪光轴平行的直线导轨移动；调整部分补偿透镜的倾斜，使其前后表面反射的光斑同心，且与干涉条纹同心，调整部分补偿透镜的偏心，使光斑和干涉条纹中心与对准板的像中心对准；夹持被测面，沿导轨移动被测面靠近和远离部分补偿透镜，调整被测面的位姿，使由被测面返回的光斑中心始终与对准板的像中心对准。本发明简单、迅速，无需额外设计和加工光机元件，能有效提高对准效率、降低成本，实现部分补偿透镜和被测面的高精度、通用化对准。
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公开(公告)号：CN106018414A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610326803.5
申请日：2016-05-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N2021/8887
Abstract: 本发明公开了一种高次曲面光学元件表面缺陷的定量检测方法。本发明包括如下步骤：优化子孔径扫描路径并确定子孔径空间位置分布；基于显微散射暗场成像原理采集平面子孔径图像；通过高次曲面三维子孔径矫正重构子孔径高次曲面三维图像；利用正投影变换和全口径拼接得到全口径高次曲面二维投影图像，提取低倍下缺陷特征；准确定位缺陷并进行高倍检测，提取高倍下缺陷特征；统计分析特征信息，生成评价数据。本发明实现了高次曲面光学元件表面缺陷的自动化定量检测，极大地提高了检测效率和检测精度，为高次曲面光学元件的加工与使用提供客观可靠的数值依据，为提高先进光学制造超精密加工技术、研究各种超精密加工工艺提供有力手段。
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公开(公告)号：CN105911715A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610480069.8
申请日：2016-06-23
Applicant: 浙江大学
IPC: G02B27/28
CPC classification number: G02B27/283
Abstract: 本发明公开了一种高消光比的偏振分光装置。本发明解决了偏振分光棱镜消光比低的困难，极大地消除了偏振串扰，并得到高质量的偏振分光效果。本发明包括偏振分光棱镜和偏振片。偏振片分别处于偏振分光棱镜的反射通道和透射通道。位于反射通道的偏振片透过垂直偏振光，抑制平行偏振光；位于透射通道的偏振片透过平行偏振光，抑制垂直偏振光。本发明可以提高反射通道和透射通道的消光比，极大地消除偏振串扰。本发明可以得到更好的偏振分光效果，使得反射通道与透射通道出射光的强度比更加接近于入射光中包含的垂直偏振分量和平行偏振分量的光强比。本发明成本很低，结构简单，加工方便，易于量化生产。
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