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公开(公告)号：CN105157617B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510536104.9
申请日：2015-08-27
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种应用于球面光学元件表面缺陷检测的球面自动定中方法。本发明包括如下步骤：初始化球面定中单元，然后将球面光学元件移动至初始位置；Z方向进行扫描，并在扫描的过程中利用图像熵清晰度评价函数找到最清晰的十字叉丝像；其次判断十字叉丝为表面像还是球心像；若为表面像，沿Z向扫描找出球心像，并测量球面光学元件的曲率半径。若是球心像，则通过移动使球面光学元件的光轴与球面定中单元的光轴重合；最后通过最小二乘法最佳圆拟合方法拟合十字叉丝像的中心得到运动轨迹，完成十字叉丝像最大偏差的计算，并对最大偏差进行判断，从而完成轴系一致性调整。本发明实现了球面光学元件自动定中，极大地提高了定中效率及定中精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107193096B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201610326815.8
申请日：2016-05-17
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种高次曲面空间位置自动定中系统和方法。本发明的技术特点在于对高次曲面光学元件顶点曲率半径以及顶点曲率中心位置坐标进行测量，实现待测高次曲面光学元件检测姿态的初始化调整与参数测量。高次曲面自动定中系统包括高次曲面定中单元和空间位置调整机构，自动定中方法通过建立高次曲面自动定中计算模型，得出自动定中系统的平移机构和摆动机构的精确调整量，进行各个机构对应量的调整，实现元件光轴、定中单元光轴、自旋机构转轴三轴轴系一致，最后驱动高次曲面定中单元沿Z向扫描，得到元件顶点的曲率中心坐标，从而为高次曲面子孔径扫描拼接操作提供了一种高精度的定位方法。
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公开(公告)号：CN106018414B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201610326803.5
申请日：2016-05-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种高次曲面光学元件表面缺陷的定量检测方法。本发明包括如下步骤：优化子孔径扫描路径并确定子孔径空间位置分布；基于显微散射暗场成像原理采集平面子孔径图像；通过高次曲面三维子孔径矫正重构子孔径高次曲面三维图像；利用正投影变换和全口径拼接得到全口径高次曲面二维投影图像，提取低倍下缺陷特征；准确定位缺陷并进行高倍检测，提取高倍下缺陷特征；统计分析特征信息，生成评价数据。本发明实现了高次曲面光学元件表面缺陷的自动化定量检测，极大地提高了检测效率和检测精度，为高次曲面光学元件的加工与使用提供客观可靠的数值依据，为提高先进光学制造超精密加工技术、研究各种超精密加工工艺提供有力手段。
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公开(公告)号：CN106018414A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610326803.5
申请日：2016-05-17
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/8851 , G01N2021/8887
Abstract: 本发明公开了一种高次曲面光学元件表面缺陷的定量检测方法。本发明包括如下步骤：优化子孔径扫描路径并确定子孔径空间位置分布；基于显微散射暗场成像原理采集平面子孔径图像；通过高次曲面三维子孔径矫正重构子孔径高次曲面三维图像；利用正投影变换和全口径拼接得到全口径高次曲面二维投影图像，提取低倍下缺陷特征；准确定位缺陷并进行高倍检测，提取高倍下缺陷特征；统计分析特征信息，生成评价数据。本发明实现了高次曲面光学元件表面缺陷的自动化定量检测，极大地提高了检测效率和检测精度，为高次曲面光学元件的加工与使用提供客观可靠的数值依据，为提高先进光学制造超精密加工技术、研究各种超精密加工工艺提供有力手段。
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公开(公告)号：CN107193096A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201610326815.8
申请日：2016-05-17
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种高次曲面空间位置自动定中系统和方法。本发明的技术特点在于对高次曲面光学元件顶点曲率半径以及顶点曲率中心位置坐标进行测量，实现待测高次曲面光学元件检测姿态的初始化调整与参数测量。高次曲面自动定中系统包括高次曲面定中单元和空间位置调整机构，自动定中方法通过建立高次曲面自动定中计算模型，得出自动定中系统的平移机构和摆动机构的精确调整量，进行各个机构对应量的调整，实现元件光轴、定中单元光轴、自旋机构转轴三轴轴系一致，最后驱动高次曲面定中单元沿Z向扫描，得到元件顶点的曲率中心坐标，从而为高次曲面子孔径扫描拼接操作提供了一种高精度的定位方法。
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公开(公告)号：CN105157617A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510536104.9
申请日：2015-08-27
Applicant: 浙江大学
IPC: G01B11/255
Abstract: 本发明公开了一种应用于球面光学元件表面缺陷检测的球面自动定中方法。本发明包括如下步骤：初始化球面定中单元，然后将球面光学元件移动至初始位置；Z方向进行扫描，并在扫描的过程中利用图像熵清晰度评价函数找到最清晰的十字叉丝像；其次判断十字叉丝为表面像还是球心像；若为表面像，沿Z向扫描找出球心像，并测量球面光学元件的曲率半径。若是球心像，则通过移动使球面光学元件的光轴与球面定中单元的光轴重合；最后通过最小二乘法最佳圆拟合方法拟合十字叉丝像的中心得到运动轨迹，完成十字叉丝像最大偏差的计算，并对最大偏差进行判断，从而完成轴系一致性调整。本发明实现了球面光学元件自动定中，极大地提高了定中效率及定中精度。
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