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公开(公告)号：CN105922124B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201610351953.1
申请日：2016-05-24
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种半导体基片的流体动压抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘和待抛光件，所述第一转轴和第二转轴相互平行，且所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动，所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上，所述工件盘固定安装于所述第二转轴上，待抛光件的下底面与所述抛光盘的上表面相接触；所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构，所述抛光液覆盖于所述抛光盘的上表面上。并且提供一种抛光方法，包括以下步骤：1)将抛光盘、待抛光件和工件盘进行安装；2)启动第一转轴和第二转轴进行抛光加工，并且不断向抛光盘的上表面加入抛光液，直至抛光完成；3)抛光完成。本发明具有抛光均匀、加工效率高和使用方便的有益效果。
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公开(公告)号：CN105881185B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201610219339.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明提供了一种自增压高速磨粒磁流孔内表面抛光方法，该方法是通过高速流动的磁流变抛光液在移动的磁性体产生的磁场作用下磁流变抛光液中的铁磁粒子将磨料微粒包裹、约束在工件孔的内表面，形成高速流动的柔性抛光磨刷，对被加工的工件孔内表面进行往复运动摩擦去除毛刺和降低孔内表面的粗糙度，实现了各类型的孔内表面去毛刺和确定性抛光。本发明还提供了一种自增压高速磨粒磁流孔内表面抛光装置，该装置由抛光机构、磁性体、夹持机构、滑动导轨和驱动电机构成，通过驱动电机驱动磁性体使抛光液在孔内高速往复运动来实现抛光打磨。本发明能够解决特殊孔难抛光以及抛光效率低的问题，具有精度高、加工效率高、损伤小、成本低的优点。
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公开(公告)号：CN106932267A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710090937.6
申请日：2017-02-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: G01N3/04
CPC classification number: G01N3/04 , G01N2203/04
Abstract: 本发明公开一种复合加载模式的材料微观力学性能测试夹持装置，夹持装置包括可固定于工作台顶面的底座、与底座顶部相连的下连接主轴、与下连接主轴顶部相连的下扇形法兰盘、位于下扇形法兰盘上方且与下扇形法兰盘分离的上扇形法兰盘、与上扇形法兰盘相连的上连接主轴；夹持装置还包括用于夹持试件的夹持结构。相对于现有技术，本发明的复合加载模式的材料微观力学性能测试夹持装置通过上连接主轴与上扇形法兰盘、下连接主轴与下扇形法兰盘的通孔栓接位置变换，以及配用不同夹持方式的试件夹持结构，试验人员即可便捷地完成拉伸断裂、剪切断裂、撕裂断裂、拉伸剪切复合断裂、拉伸撕裂断裂等不同类型的材料断裂性能测试。
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公开(公告)号：CN105922125A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610352311.3
申请日：2016-05-24
Applicant: 广东工业大学
CPC classification number: B24B37/107 , B24B31/102 , B24B37/30 , B24B37/34 , C09G1/02
Abstract: 本发明公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置，包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件，所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动，所述磁性体设于所述抛光盘的下方，所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上，所述工件盘固定安装于所述第二转轴上，待抛光件与所述抛光盘相接触；所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构，所述抛光液覆盖于所述抛光盘的上表面上。并且提供一种抛光方法，包括以下步骤：1)将抛光盘、待抛光件和工件盘进行安装；2)启动第一转轴和第二转轴进行抛光加工，并且不断向抛光盘的上表面加入抛光液，直至抛光完成；3)抛光完成。本发明具有抛光均匀、加工效率高和使用方便的有益效果。
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公开(公告)号：CN104191313A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410425021.8
申请日：2014-08-26
Applicant: 广东工业大学
IPC: B23Q17/09
CPC classification number: B23Q17/099
Abstract: 本发明涉及一种金属板材圆盘剪分切加工三向力测量装置及其方法，本发明的测量装置包括有上圆盘刀、下圆盘刀、上传动轴、下传动轴、机架、三向力测量平台，本发明通过伺服电机控制系统实现上传动轴和下传动轴同步反向旋转实现圆盘剪分切加工，三向力测量平台实时测取加工过程的力信号，本发明适用于0.1-3mm厚度的各类金属板材在不同工艺参数下的圆盘剪分切三向力测量，适用于新材料圆盘剪分切工艺分析、圆盘剪纵向分切机结构优化设计等，也可用于测量分断辊压迫分离作用力。本发明的测量装置结构简单，操作方便，解决了现有技术中金属板材圆盘剪分切加工三向力难以测量的问题，填补了分断辊滚压分离加工三向力在线测量的空白。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103192297A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201210304530.6
申请日：2012-08-24
Applicant: 广东工业大学
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明是一种单晶碳化硅晶片的化学集群磁流变加工方法。本发明将单晶碳化硅晶片通过粘结剂粘结在抗磁工具头上，抗磁工具头安装在电机主轴上，抗磁工具头和抛光盘绕各自的轴线旋转的同时，抗磁工具头相对抛光盘做一定幅度的摆动，本发明的方法基于磁流变效应，将磨料及酸碱化学试剂混入磁流变液作为抛光工作液，以磁性体作为基体形成磁流变效应小磨头约束聚集游离磨料，运用集群作用原理由多点磁流变效应小磨头的阵列组合构成柔性抛光膜，控制工件与抗磁抛光盘之间的间距及工件与抛光盘之间的相对转速，减小单晶碳化硅晶片的表面缺陷和损伤层，获得超光滑高质量的表面。本发明发挥了集群磁流变的机械高效率和化学抛光的化学催化优点，抛光效率高。
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公开(公告)号：CN100999061A
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200610132495.9
申请日：2006-12-31
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于磁流变效应的研磨抛光方法，在磁流变液中加入游离磨料作为研磨抛光液注入磁性体与工件表面之间，在磁场作用下磁流变液中的铁磁粒子成串排列将磨料微粒包裹、约束在磁性体端面，形成磁性研磨刷，构成研磨工具，对工件表面进行研磨抛光加工；本发明还公开了基于磁流变效应的研磨抛光方法所使用的研磨抛光装置，装置由安装在连接电机的主轴上的研磨工具和用于安装工件的工作台构成，所述研磨工具由若干小尺寸磁性体排列组合为平面或曲面研磨工作面、在由磁流变液和游离磨料组成的研磨抛光液中构成点阵式磁流变效应研磨刷，磁性体由永久磁铁或电磁铁制成；本装置能够达到高效率高精度研磨加工超光滑表面的效果。
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公开(公告)号：CN202184613U
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201120334411.6
申请日：2011-09-07
Applicant: 广东工业大学
IPC: A47J27/08
Abstract: 本实用新型是一种高压锅定压调节阀。包括套装在锅盖的喷气嘴上的柱套及装设在柱套外侧的限压阀外壳，限压阀外壳上装设有档位调节装置，其中限压阀外壳上装设有至少2个档位调节装置，限压阀外壳的圆柱体侧面上开有至少2个螺纹孔和排气孔，柱套上开有与螺纹孔相通的通孔；至少两个档位调节装置分别装设在螺纹孔上，档位调节装置包括有档位弹簧、档位螺栓、档位半球体，其中档位弹簧装设在档位螺栓与档位半球体之间，档位弹簧的一端与档位螺栓的一端连接，档位弹簧的另一端与档位半球体的一端连接，档位半球体的另一端穿过柱套上所设的通孔顶在喷气嘴上。本实用新型设计巧妙，结构及原理简单，操作方便，具有极强的实用性和推广价值。
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公开(公告)号：CN201026588Y
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200620155637.9
申请日：2006-12-31
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种磁流变效应曲面研磨抛光装置，该研磨抛光装置的技术方案是，工件安装在工作台上，X向进给系统、Y向进给系统分别与工作台和数控系统连接，数控系统连接电脑，Z向进给系统安装在机身台架上并与数控系统连接，实现研磨工具与工件之间的插补运动；机身台架下端安装研磨工具主轴电机，上述研磨工具主轴电机安装有研磨工具，由研磨抛光液喷嘴加注研磨抛光液到研磨工具与工件之间；本装置利用磁流变液在磁场作用下将游离磨料约束、团聚形成磁流变效应研磨刷，研磨刷具有的硬度对工件表面产生研抛压力、磨料微粒对工件表面产生研磨加工作用，可以产生曲面形状修正的作用，达到高效率高精度研磨加工超光滑表面的效果。
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公开(公告)号：CN206862757U
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201720151495.7
申请日：2017-02-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: G01N3/04
Abstract: 本实用新型公开一种复合加载模式的材料微观力学性能测试夹持装置，夹持装置包括可固定于工作台顶面的底座、与底座顶部相连的下连接主轴、与下连接主轴顶部相连的下扇形法兰盘、位于下扇形法兰盘上方且与下扇形法兰盘分离的上扇形法兰盘、与上扇形法兰盘相连的上连接主轴；夹持装置还包括用于夹持试件的夹持结构。相对于现有技术，本实用新型的复合加载模式的材料微观力学性能测试夹持装置通过上连接主轴与上扇形法兰盘、下连接主轴与下扇形法兰盘的通孔栓接位置变换，以及配用不同夹持方式的试件夹持结构，试验人员即可便捷地完成拉伸断裂、剪切断裂、撕裂断裂、拉伸剪切复合断裂、拉伸撕裂断裂等不同类型的材料断裂性能测试。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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