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公开(公告)号：CN105698679B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610145388.3
申请日：2016-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 适用于超精密机床加工零件的非接触在位检测装置及方法。机床上有与主轴连接的X轴导轨和与Y轴升降台连接的Z轴导轨，主轴有安有3R快换夹具的支撑座和吸有标准球一的真空吸盘，过渡件与3R快换夹具和标准球二连接；测量传感器固定件设在Y轴升降台前且有测量传感器。主轴上固定有工件，将在位检测机构安在Z轴导轨上，将3R快速夹具固定于主轴上；驱动主轴及Y轴升降台，对标准球二执行球冠顶点扫描操作，找到标准球二的位置P2(x,y)；驱动主轴和Y轴升降台，找出ΔP进行二维截面或三维模式检测，系统处理后得到测量结果。本发明可实现位移传感器在高度方向上的精密调节，具备实现多种球面典型的特征结构的三维表面重构的能力。
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公开(公告)号：CN107385504A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710524891.4
申请日：2017-06-30
CPC classification number: C25F7/00 , B23H3/00 , B23H3/04 , B81B7/04 , B81C1/00373 , B81C2201/0185 , B81C2201/0191 , B82Y40/00 , C25F3/02
Abstract: 基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。本发明涉及一种基于电化学约束刻蚀的阵列电极及其加工方法。所述的主控制系统将控制信号发送给电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统，所述的电化学工作站、阵列电极控制与运动控制系统再将信号反馈给主控制系统。本发明用于基于电化学约束刻蚀的阵列电极。
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公开(公告)号：CN104596465B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201510053028.6
申请日：2015-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于检测三轴金刚石车床轴系误差的特征样件及方法。所述特征样件由基座和特征主体两部分构成，特征主体设置在基座顶部端面上且与其同轴设置，所述特征主体的整体形状为圆柱体，所述圆柱体高度方向的中间位置设置有环状内凹曲面。所述检测方法如下：一、使用T形布局的三轴金刚石车床加工特征样件；二、加工完成后采用圆柱度仪测量特征样件的外圆柱面，采用圆柱度仪测量特征样件的端面以及环状内凹曲面；三、根据步骤二的检测结果，推断出三轴金刚石车床的轴系误差。本发明所设计样件具有结构简单、加工方便、且能有效反映出轴系误差等特点，为三轴金刚石车床误差检测及机床验收提供了一种新方法。
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公开(公告)号：CN105347299B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201510877456.0
申请日：2014-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题，且方法简单，装置及加工实现成本相对较低。
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公开(公告)号：CN104128783B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410341803.3
申请日：2014-07-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P15/34
Abstract: 一种单刃金刚石微铣刀的制造方法，它涉及一种微铣刀的制造方法。本发明为了解决现有的制造技术主要用于钨钢微铣刀的成型加工，当加工金刚石微铣刀时存在制造精度低、和加工效率低的问题。本发明的方法是步骤一、制造刀柄：利用激光加工技术，对钨钢刀柄的端部进行微小孔加工，将小颗粒金刚石晶体放入刀柄端部的微小孔中，并放入银铜钛钎焊粉料，银铜钛钎焊粉料足以掩埋小颗粒金刚石晶体，然后把钨钢刀柄竖直放入真空热处理炉中真空钎焊；步骤二、刃磨刀头：采用机械刃磨技术，按照铣刀头的几何参数，完成金刚石微铣刀的回转半径减磨、干涉面的刃磨和单铣刀刃的成型刃磨，至此，完成单刃金刚石微铣刀的制造。本发明用于单刃金刚石微铣刀的制造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103759941B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201410042639.6
申请日：2014-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M13/02
Abstract: 一种精密主轴回转精度检测方法，属于精密主轴回转误差测量技术领域。包括原子力显微镜AFM(1)、平面样品(2)、手动二维调整台(3)、二维电动位移台(5)和精密主轴控制器(6)，其中，AFM与平面样品(2)配合使用获得刻划形貌图，平面样品(2)固定在手动二维调整台(3)的上部，手动二维调整台(3)的底部与被测精密主轴(4)的上端连接，被测精密主轴(4)的下端与二维电动位移台(5)连接，其特征在于，包括：在平面样品(2)的表面做标记，通过手动二维调整台(3)调整平面样品(2)的位置使得平面样品(2)的标记与被测精密主轴(4)的回转中心重合；本发明，操作简单，并且可以使测量精度达到纳米量级，同时可检测精密主轴的径向和轴向回转误差，提高了精密主轴回转误差的精度。
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公开(公告)号：CN104596465A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510053028.6
申请日：2015-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于检测三轴金刚石车床轴系误差的特征样件及方法。所述特征样件由基座和特征主体两部分构成，特征主体设置在基座顶部端面上且与其同轴设置，所述特征主体的整体形状为圆柱体，所述圆柱体高度方向的中间位置设置有环状内凹曲面。所述检测方法如下：一、使用T形布局的三轴金刚石车床加工特征样件；二、加工完成后采用圆柱度仪测量特征样件的外圆柱面，采用圆柱度仪测量特征样件的端面以及环状内凹曲面；三、根据步骤二的检测结果，推断出三轴金刚石车床的轴系误差。本发明所设计样件具有结构简单、加工方便、且能有效反映出轴系误差等特点，为三轴金刚石车床误差检测及机床验收提供了一种新方法。
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公开(公告)号：CN104528632A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410813219.3
申请日：2014-12-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种利用三棱锥微探针轨迹运动加工微结构的装置及方法。所述装置由支座、z向粗动定位台、三维压电位移台、三棱锥微探针、光学显微镜、二维调平台和二维工作台构成，其中：二维工作台固定在支座上，二维调平台固定在二维工作台，三棱锥微探针位于二维调平台上方并与三维压电位移台刚性连接，三维压电位移台与z向粗动定位台连接，光学显微镜固定在支座上，用于观测三棱锥微探针与金属样品间的距离。本发明通过采用几何非对称的三棱锥探针进行圆周公转轨迹运动，可以使得在每一次的旋转切削中刀具的前角不断变化，控制确定的进给方向进行加工，能够在金属样品表面加工得到毛刺较小的微结构。
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公开(公告)号：CN104150433A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410385711.5
申请日：2014-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的装置及方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题，且方法简单，装置及加工实现成本相对较低。
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公开(公告)号：CN103837708A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201210492775.6
申请日：2012-11-27
Abstract: 本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括：宏微位移平台；位移台，固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上，可在该X-Y平面上进行位移，电解池与该位移台相对静止；探针电极，固设于宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中，距离电解池内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极连接至探针电极，其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中，控制工作电极电位恒定，检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
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