-
公开(公告)号：CN104849861A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510292686.0
申请日：2015-06-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G02B27/00
CPC classification number: G02B27/0012
Abstract: 本发明公开了一种用于制备高性能光学薄膜的方法，首先，按照光学薄膜性能需要，设计初始膜系，并采用物理气相沉积技术制备光学薄膜；使用分光光度计或者椭偏仪对光学薄膜性能进行表征；建立光学薄膜结构模型，实现膜料特征参数与光学薄膜性能关联；对光学薄膜实测特性数据进行反演，通过多参数拟合确定膜料特征参数，同时获取物理气相沉积技术制备光学薄膜过程中膜料物理厚度控制的系统误差和延迟误差校正因子；依据获得的膜料特征参数，按照光学薄膜性能要求，重新优化光学薄膜膜系设计，结合膜料物理厚度控制误差修正，采用物理气相沉积技术制备高性能光学薄膜。本发明能全面优化光学薄膜设计，提高膜料物理厚度控制精度，适用于各种高性能光学薄膜制备。
-
公开(公告)号：CN104726842A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201510189587.X
申请日：2015-04-21
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: C23C14/54
Abstract: 本发明公开了一种用于镀膜机中控制膜料沉积角分布的方法，真空镀膜过程中，膜料以蒸发或溅射方式在真空环境中传输，并在光学元件上沉积形成薄膜。为优化薄膜分布，光学元件在镀膜机内做旋转运动。旋转运动使得光学元件上任意位置处膜料沉积角均具有较宽的分布范围，并且不同位置上膜料沉积角分布存在显著差异。通过在蒸发或溅射源与光学元件间放置开孔挡板，真空镀膜过程中，膜料穿过开孔挡板沉积到光学元件上。优化开孔形状，实现对光学元件上膜料沉积角分布控制，降低膜料沉积角及其分布范围，提高薄膜性能。与传统的真空镀膜相比，本发明能制备出吸收和散射损耗小、环境稳定性好的薄膜，特别适用于真空紫外/深紫外薄膜制备。
-
公开(公告)号：CN104332806A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410608396.8
申请日：2014-11-02
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: H01S3/036
Abstract: 本发明提供一种用于延长准分子激光器激光工作气体寿命的气体管理方法，准分子激光器工作期间由于激光腔内卤素气体含量的减少和杂质含量的增加，激光器输出脉冲能量不断下降。通过激光腔内部分置换激光工作气体方式，可以有效补充激光腔内消耗的卤素气体，同时阻止杂质的积累。气体管理方法通过分析部分换气前后激光腔内卤素气体含量及杂质含量的变化，控制部分换气剂量和卤素气体注入剂量，使得每次部分换气后激光腔内卤素气体含量和杂质含量保持不变，维持恒脉冲能量输出模式下工作的准分子激光器在一定工作电压变化范围内或者恒工作电压模式下工作的准分子激光器在一定脉冲能量变化范围内长时间不间断工作。本发明能够有效延长准分子激光器工作气体寿命，提高准分子激光器工作效率。
-
公开(公告)号：CN102732844B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201210241071.1
申请日：2012-07-12
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: C23C14/24
Abstract: 一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法，通过建立真空环境中的镀膜模型，研究行星转动夹具上平面或球面光学元件镀膜后薄膜厚度分布。通过将行星转动夹具中光学元件的镀膜过程等效成简单转动夹具中的镀膜过程，设计行星转动夹具中镀膜均匀性修正挡板的初始形状。利用计算机优化修正挡板弧长放大倍数直至薄膜厚度均匀性达到最优结果，获得球面光学元件薄膜厚度均匀性修正挡板的实际形状。本发明可以实现大口径、大口径/曲率半径比的球面光学元件薄膜厚度均匀性的控制，从而获得大口径、大口径/曲率半径比的球面光学元件多层膜光谱特征的均匀性。
-
公开(公告)号：CN103616164A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310631614.5
申请日：2013-11-28
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于脉冲激光光源的反射率/透过率综合测量方法，步骤为：一束脉冲激光光束被分束为参考光束和探测光束，参考光束被聚焦到光电探测器直接探测，探测光束注入光学谐振腔。在测量反射率大于99%的光学元件时采用脉冲光腔衰荡技术，分别测量初始光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ0和加入待测光学元件后测试光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ1，计算得到待测光学元件反射率R。在R值小于99%时采用分光光度技术测量待测光学元件的反射率。移走光学谐振腔的输出腔镜，从待测光学元件反射的探测光被聚焦到光电探测器探测，记录探测光束和参考光束光强信号比值，通过定标获得待测光学元件反射率R。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102644052B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201210133624.1
申请日：2012-05-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，与常规真空镀膜机相比，除了热蒸发镀膜功能配置外，多装备了紫外光照射清洁模块；紫外光照射清洁模块主要由紫外光光源、冷却水循环系统和金属外套组成，紫外光照射清洁模块固定到支架上放置于真空镀膜室中，实现对光学元件的紫外光照射清洁功能。紫外光照射清洁模块的功能由真空镀膜机软件控制，也可以手动操作。本发明能快速清除真空镀膜机内放置的光学元件上的碳氢根污染物，有效提高所制备的光学薄膜元件的性能。本发明配置有紫外光照射清洁模块的真空镀膜机主要适用于深紫外/真空紫外波段光学元件镀膜。
-
公开(公告)号：CN102644052A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210133624.1
申请日：2012-05-03
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 一种配置紫外光照射清洁功能的真空镀膜机，与常规真空镀膜机相比，除了热蒸发镀膜功能配置外，多装备了紫外光照射清洁模块；紫外光照射清洁模块主要由紫外光光源、冷却水循环系统和金属外套组成，紫外光照射清洁模块固定到支架上放置于真空镀膜室中，实现对光学元件的紫外光照射清洁功能。紫外光照射清洁模块的功能由真空镀膜机软件控制，也可以手动操作。本发明能快速清除真空镀膜机内放置的光学元件上的碳氢根污染物，有效提高所制备的光学薄膜元件的性能。本发明配置有紫外光照射清洁模块的真空镀膜机主要适用于深紫外/真空紫外波段光学元件镀膜。
-
公开(公告)号：CN102183308B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201010623883.3
申请日：2010-12-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 一种可调谐激光器波长变化量的测量方法，根据光腔衰荡光谱技术原理，待测激光器输出光束入射到稳定光学谐振腔，光学谐振腔内充入在待测激光器波长调谐范围内有至少两条吸收谱线的气体，通过波长控制器调谐激光器输出波长，使其扫过两条完整的气体吸收谱线。记录下在不同波长控制器输出量时的光腔衰荡信号，进而可得在不同波长控制器输出量下的衰荡时间曲线，将该曲线的与充入光学谐振腔内气体的吸收谱线对比，即可得到波长控制器变化量与输出波长变化量之间的关系。本发明提出了测量可调谐激光器波长变化量的新方法，其适用于各类可调谐激光器，并且可以对从紫外到中远红外的所有可调谐激光器进行测量，具有结构简单，系统移植性强等优点。
-
公开(公告)号：CN102128715B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201010593093.5
申请日：2010-12-08
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 双波长高反射镜反射率测量方法，将光强周期性调制的两个不同波长的连续激光同时注入由两块或三块双波长高反射镜构成的稳定初始光学谐振腔，当初始光学谐振腔输出信号幅值高于设定阈值时，关断入射激光束，记录光腔衰荡信号；或者在调制信号的下降沿记录光腔衰荡信号，并利用同时测量法或分光探测法或交替测量法得到初始光学谐振腔在两激光波长处的衰荡时间τ01、τ02，计算出腔镜在两波长处的平均反射率R01、R02；同样，在初始光学谐振腔内根据使用角度加入待测双波长高反射镜构成稳定的测试光学谐振腔，利用同时测量法或分光探测法或交替测量法得到测试光学谐振腔情况下两激光波长的衰荡时间τ1、τ2，得到待测双波长高反射镜在两波长处的反射率R1、R2。
-
公开(公告)号：CN102231469A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110132526.1
申请日：2011-05-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: H01S3/036
Abstract: 一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法，所述装置包括准分子激光器、监测和控制模块、用于控制激光工作气体流向的可控电磁阀门、用于配比不同浓度激光工作气体的注气罐、用于排放激光工作气体的卤素气体处理装置和真空泵、用于监测激光工作气体压强的压力传感器。所述方法通过监测准分子激光器工作参数，如工作电压、脉冲能量、谱线线宽、波长，根据实验测得的准分子激光器工作参数与激光工作气体浓度的定量关系，估算激光工作气体的消耗量，采用压力监测和信号反馈的方法，控制激光腔内激光工作气体压强的变化以及可控电磁阀门的开启和关闭，完成向激光腔内注入精确量值的激光工作气体。本发明能够提高准分子激光器输出激光脉冲的稳定性，有效延长激光工作气体寿命，减少激光器换气次数。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
113
records
(took 0.036 seconds)
