基于氧化物薄膜晶体管阵列制备的复合叠层电极

    公开(公告)号:CN102208453A

    公开(公告)日:2011-10-05

    申请号:CN201110146555.3

    申请日:2011-06-02

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于氧化物薄膜晶体管阵列制备的复合叠层电极。本器件依次由源漏电极(1)、氧化物有源层(2)、绝缘层(3)、栅电极(4、5),基板(6)构成。各结构层采用真空蒸发方法和磁控溅射方法制备。本发明氧化物薄膜晶体管结构中,铝/镍(Al/Ni)金属电极为复合叠层电极。采用这种基于氧化物薄膜晶体管阵列制备的复合叠层电极,可实现制备工艺过程中,消除各种化学试剂对电极的影响,使氧化物薄膜晶体管能在阵列制备过程中不受伤害且制备好的阵列在器件性能上不受影响,使得其在电路中实现应用价值成为可能。

    蓝色有机发光器件
    63.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1728906A

    公开(公告)日:2006-02-01

    申请号:CN200510027743.9

    申请日:2005-07-14

    Applicant: 上海大学

    Inventor: 蒋雪茵 张志林

    Abstract: 一种蓝色有机发光器件,包含在透明基板上层层向上依次叠置的透明导电层,空穴注入层,空穴传输层,蓝色有机发光层,有机薄膜层,电子传输层和负电极层。其特点是在蓝色有机发光层与电子传输层之间置有有机薄膜层。提高了发光的稳定性,不仅延长了器件的半亮度寿命,还抑制了老化过程中电压的升高。

    有机三极管及其制备方法
    64.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1588665A

    公开(公告)日:2005-03-02

    申请号:CN200410053100.7

    申请日:2004-07-23

    Applicant: 上海大学

    Inventor: 张志林 蒋雪茵

    Abstract: 一种有机三极管及其制备方法,有机三极管是垂直型的结构。主要特点是置于发射电极的发射面上含有栅孔的两层绝缘层之间夹有控制栅极的栅网。制备方法是首先在发射电极的发射面上制作栅网;然后再在栅网上制作有机半导体层和接收电极。本发明的控制栅极与发射电极之间仅隔一层可以薄到纳米量级的绝缘层,因此,控制栅极与发射电极之间只要加很低的电压就可以引发发射电极的场发射载流子。所以,控制栅极电压既能够实现场发射,又能够实现场抑制。放大倍率和反应速度都比现有技术的大有提高。本发明的有机半导体层还可以制成包含有机发光层的复合层,因此,本发明的有机三极管还可以发光。

    面蒸发源蒸镀装置
    65.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212152426U

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN201822058879.1

    申请日:2018-12-10

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种面蒸发源蒸镀装置。它是由可卷绕的柔性金属箔带作为蒸发料薄膜层的承载件,承载件上用波峰涂方法涂有蒸发料薄膜层,构成载有蒸发料膜层的面蒸发源;在此面蒸发源两端有一对加热电极,通过瞬间加热把承载件上蒸发料薄膜层瞬间全部均匀地蒸发到半成品基板上。从而大大提高了蒸发料的利用率。而且最后得到的蒸发薄膜层的材料成分、薄膜厚度、均匀度均由面蒸发源的蒸发料薄膜层来控制。使得此蒸镀装置不再需要蒸发速率和膜厚控制、多蒸发源控制,均匀性控制等复杂的机构,降低了设备成本、缩短了蒸镀节拍,提高了设备的利用率。

    制作有机电致发光薄膜用的真空蒸发加热装置

    公开(公告)号:CN2632980Y

    公开(公告)日:2004-08-11

    申请号:CN03255630.6

    申请日:2003-07-16

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本实用新型提供的真空蒸发加热装置属于真空薄膜技术和发光显示的领域,其中的一种由金属珠(1)、石英坩埚(2)、高频感应线圈(3)、升华型OEL材料(4)、陶瓷线圈骨架(5)和隔热材料(6)构成,采用高频感应加热蒸发;另一种由金属珠(1′)、石英坩埚(2′)、铜质电极(3′)和升华型OEL材料(4′)构成,采用交流工频电压加热蒸发。采用本实用新型提供的任何一种真空蒸发加热装置加热蒸发,均可以避免真空加热蒸发时升华型OEL材料(4)的跳跃和飞溅现象,从而防止了真空室的污染以及跳跃和飞溅出来的微小颗粒粘着在基板上的可能,保证了成膜质量和产品的成品率。

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